5.2 Элементы оборудования, необходимые для обеспечения безопасности.

Система доставки суспензии полностью соответствует мировым стандартам безопасности. Основные средства обеспечения безопасности:

1. Две сливные линии с отсечными и/или обратными клапанами для защиты от поступления каких-либо химических реагентов из другого оборудования. Они функционируют в качестве самотечного слива из пробоотборника и напорного слива для опорожнения технологических трубопроводов, соответственно.

2. Пылевой фильтр поддерживает чистоту воздуха внутри стоек.

3. Вытяжная система поддерживает вентиляцию внутри стоек.

4. Регулируемые металлические ножки стоек обеспечивают устойчивость установки.

5. Предохранительные датчики стоек обеспечивают безопасность оператора. При открытой дверце датчики останавливает режим перекачки (если только оператор заранее не заблокировал их с помощью соответствующего кода доступа).

6. Два емкостных датчика следят за утечками химических реагентов внутри стоек. В случае аварийной ситуации, включается сигнализация и система заглушается.

7. Манометр, оснащенный двумя реле давления расположенный на входе вытяжной системы, следит за давлением в блоке (требуется некоторое разрежение).

8. Система двойного трубопровода (рисунок 5.1)

Все химические реагенты в системе доставки суспензии находятся под давлением. Это может привести к тому, что при неисправности системы давление превысит критическое значение, что может спровоцировать прорыв магистральных трубопроводов с угрозой попадания химического реагента внутрь чистого помещения или на человека. Для уменьшения вероятности этого явления была разработана система двойного трубопровода. Особенность данной системы заключается в расположении основной магистрали с химическим реагентом внутри защитного прозрачного кожуха, разделенного на отсеки по 10 м для локализации места прорыва.

Рисунок 5.1 – Строение двойного трубопровода.

9. На случай попадания реагента на человека, на предприятии предусмотрены экстренный душ и экстренный умывальник (рисунки 5.2 и 5.3).

Рисунок 5.2 – Экстренный душ.

Рисунок 5.3 – Экстренный умывальник.

10. Конструкция загрузочного шкафа.

Прямое взаимодействие человека с химическим реагентом возникает при установке и присоединении бочки с химическим реагентом к системе доставки суспензии. Для устранения фактора взаимодействия была использована система закрытого приемочного шкафа. Запечатанная емкость с химическим реагентом помещается в герметичный шкаф, в котором и происходит распаковка и присоединение бочки к системе доставки суспензии. Оператор контролирует весь процесс соединения через прозрачную стенку шкафа, в которую встроены герметичные перчатки, благодаря которым оператор не взаимодействует с химическим реагентом.

Рисунок 5.4 – Конструкция загрузочного шкафа

5.3 Токсикологическая характеристика производства

Технологический процесс изготовления интегральных микросхем связан с применением ряда токсических веществ, влияющих на организм человека.

Таблица 5.3 - Токсикологическая характеристика веществ.

Выделяемые вещества при обработке пластин	Характер токсического действия на организм	Класс опасности	ПДК вредных веществ в рабочей зоне, мг/м
Фосфорная кислота	Вызывают атрофические процессы в слизистой носа. воспалительные заболевания кожи.	II	1
Соляная кислота	Вызывают сильные ожоги слизистых оболочек, удушье, разрушают зубы и т.д.	II	5
Плавиковая кислота	Вызывает болезненные ожоги, разрушение зубов и ногтей.	I	0,1
Серная кислота	Поражают дыхательные пути, кожу, слизистые оболочки, вызывают затруднение дыхания, кашель, нередко- ларингит, трахеит, бронхит и т.д.	II	1
Перекись водорода	Воспаление кожи, вызывает раздражение слизистых, заболевание бронхов.	III	1.4
Гидроксид аммония	Едкое воздействие на кожу и слизистые оболочки	IV	20
Гидроксид калия	Действует на ткани прожигающим образом Вызывает язвенные болезни кожи	II	0,5
Изопропиловый спирт	Действует на ткани при втирание отравляюще При приеме внутрь смертельное отравление	II	0,6
Дипропиленгликоля	Малотоксичен при вдыхание Мало раздражающее действие на кожу	IV	ЛД50(14,5 г/кг)