5. Производственно-экологическая безопасность

Обеспечение производственно-экологической безопасности при основных этапах технологического процесса химико-механической планаризации в производстве интегральных микросхем.

Выполнил: Мкртичян Р.Ю.

Группа: ЭКТ-55

Консультант: _____Рябышенков А. С.

Введение

Техника безопасности при выполнении любой работы с химическими реагентами требует повышенного внимания ввиду того, что любое химическое вещество таит в себе потенциальную опасность в зависимости от сочетания различных факторов и условий. Система доставки суспензии полностью отвечает мировым стандартам безопасности и сводит к минимуму угрозу возникновения каких-либо чрезвычайных ситуаций при следовании как условий эксплуатации системы, так и индивидуальных соблюдений технических норм и правил.

Система доставки суспензии позволяет исключить главный фактор повышенной опасности производства - непосредственный контакт человека с химическим реагентом. Процесс практически полностью автоматизирован, за исключением ряда действий, таких как регулярный контроль исправности системы или замена емкости с химическим реагентом. Наибольший риск возникновения экстренной ситуации несет в себе человеческий фактор. На предприятии ОАО «НИИМЭ и Микрон» организован ряд социально-экономических, организационных, технических и санитарно-гигиенических мероприятий с целью максимально обеспечить безопасность труда и сохранение жизни и здоровья работников на предприятии.

5.1 Микроклиматические условия

В соответствии с требованиями ведомственных нормативных документов, на всех участках требования к воздуху рабочей зоны связаны с требованиями к качеству выпускаемой продукции. Микроклиматические условия на участке транспортировки суспензии SSW 2000 представлены в таблице 5.1

Таблица 5.1 - Технологические требования, предъявляемые к качеству воздуха.

Концентрация аэрозолей, част./м3 с размерами, равными или превышающими, мкм
0,1	0.2	0,3	0,5
100	24	10	4

Условия эксплуатации системы: окружающая рабочая температура – от 15^оС до 25^оС, максимальная влажность – максимум 80%. Любые отклонения температуры и влажности от указанного диапазона могут отрицательно сказаться на работе оборудования.

Параметры технического обеспечения указаны в таблице 5.2

Таблица 5.2 Максимальное потребление материалов и энергоносителей.

Пункт	Макс. расход	Характеристики
Деионизованная вода	20 л/мин	2-5 бар изб.
Сжатый воздух	32,3 Нм3/ч	6-10 бар изб.
Сверхчистый азот	9,5 Нм3/ч	5 бар изб.
Вытяжка из емкости с суспензией	155 Нм3/ч	3-кратное обновление воздуха в стойке за минуту
Свободный слив	30 л/мин	-
Напорный слив	30 л/мин	5 бар изб.