Процес контролю виробництва структур тонкоплівкових мікросхем

Варіанти технології

Р перемінні, грн./шт.

Р постійні, грн./рік

1. Контроль вакууму в камері

• термопарным вакуумметром

• іонізованим вакуумметром

0,02

0,03

100

80

2. Контроль порціонного тиску і залишкових газів

0,02

40

3. Контроль температури підкладок

• термопарами

• термісторами

0,06

0,08

100

60

3. Контроль товщини і швидкості росту плівок

• резистивным методом

• іонізаційним методом

0,02

0,025

80

60

3. Контроль структур

• вимір параметрів у ручну

• автоматичним виміром

0,1

0,006

40

60

Варіанти технології

Р перемінні, грн./шт.

Р постійні, грн./рік

1. Нанесення фоторезистора

• центрифугированием

• розпиленням

0,05

0,04

100

120

2. Сушіння фоторезистора

• в електропечах

• у променях інфрачервоної лампи

0,07

0,09

50

40

3. Поєднання фотошаблону з підкладкою

• базове

• візуальне

0,05

0,04

80

100

4. Травлення

• у парогазовых сумішах

• електронно-променеве

0,065

0,06

60

80

5. Зняття фоторезистора і контроль

0,052

25

Варіанти технології

Р перемінні, грн./шт.

Р постійні, грн./рік

1. Нарізка стрічки заданої ширини

• за допомогою дискової пилки

• за допомогою стрічкової пилки

0,6

0,5

120

150

2. Знежирення стрічки

• за допомогою ультразвуку

• в органічному розчині

1,1

0,6

100

150

3. Нанесення ізоляційного шару

• зануренням

• електрофорезним методом

0,4

0,8

80

60

4. Наливка сердечника і просочення лаками

• на токарському верстаті

• за допомогою спеціальної наливкової установки

1,2

1,0

300

350

5. Різання сердечника

• на спеціальній установці

• на горизонтально-фрезерному верстаті

1,0

0,8

120

140

Варіанти технології

Р перемінні, грн./шт.

Р постійні, грн./рік

1. Нарізка заготівок

• за допомогою дискової пилки

• на фрезерному верстаті

0,2

0,4

4

4

2. Згинання заготівок

• с заповненням легкоплавким сплавом

• без заповнення внутрішнього простору

0,9

0,2

15

11

3. Покриття сріблом внутрішньої поверхні

• методом хімічного осадження

• електрохімічним методом

4,0

3,8

10

4

4. Полірування внутрішніх поверхонь

• пневматичним поліруванням

• пастою ГОІ

1,5

1,5

6

7

Варіанти технології

Р перемінні, грн./шт.

Р постійні, грн./рік

1. Виготовлення вільних масок

• методом електролітичного осадження

• методом променевої обробки

0,1

0,32

46

46

2. Одержання плівок

• термовакуумним запорошенням

• електролітичним оксидуванням

0,2

0,2

35

23

3. Припасування номіналів плівкових елементів

• повітряно-абразивна

• лазерним методом

0,1

0,15

13

26

4. Захист тонкоплівкових матеріалів

0,2

4

Варіанти технології

Р перемінні, грн./шт.

Р постійні, грн./рік

1. Методи контролю питомого поверхневого опору

• чотиризоний

• вольт-фарадний

0,3

0,3

4

6

2. Контроль товщини електричного шару

• методом ІК-еліпсометрії

• методом виміру розмірів дефектів упакування

0,5

0,7

8

12

3. Методом контролю профілю розподілу концентрації домішок

• вимір опору розтікання

• металографічний

0,9

0,5

13

25

4. Контроль кількості придатної поверхні

• візуальний перегляд у розсіяному світлі

• перегляд під мікроскопом

0,01

0,02

1,9

2,8

5. Візуальний контроль відповідності контуру рельєфу заданої топології

0,3

3