- •Введение
- •Пзс устройства функциональной электроники
- •Лазерные и световые диоды
- •Оптические волокна
- •Датчики физических величин
- •Уравнения Максвелла
- •Темп генерации электронно-дырочных пар в объеме полупроводника
- •Интерференция света в тонких пленках
- •Интерференционные слои
- •Электрические функциональные свойства материалов
- •Теория Друде-Зоммерфельда
Интерференция света в тонких пленках
Требуется определить амплитуду световой волны, отраженной от плоскопараллельной, не поглощающий свет, пластины и амплитуду световой волны прошедшей через нее. Толщина пластины d, диэлектрическая проницаемость ε. Пусть электромагнитная волна распространяется в направлении z.
Напряженность поля электромагнитной волны находится из решения волнового уравнения
(51)
где к=ω(εε0μ0)1/2=(ω/c)(ε)1/2 – волновой вектор внутри пластины и к0=ω/c – вне пластины.
Параметр ε в (51) представляет собой диэлектрическую проницаемость материала (в общем случае это комплексное число). При этом коэффициент преломления материала равен n=(ε0ε)1/2, где ε0 – диэлектрическая проницаемость вакуума.
Решение уравнения (50) вне пластины со стороны падающей волны имеет вид
(52)
где Е0 – амплитуда падающей на поверхность пластины волны, А – амплитуда отраженной от поверхности пластины световой волны.
Решение (50) внутри пластины
(53)
За пластиной имеется только прошедшая волна с комплексной амплитудой D
(54)
Граничные условия (непрерывность тангенциальных составляющих напряженностей электрического поля и их производных) дает следующую систему уравнений для определения напряженности поля:
. (55)
Решая систему уравнений (55), получаем
, (56)
где , - соответственно коэффициент отражения и прохождения света в случае полубесконечного образца.
Используя полученные выражения, получаем коэффициент отражения электромагнитных волн от плоскопараллельной пластины
(57)
Коэффициент отражения равен нулю, если
. (58)
Интерференционные слои
Проектирование многослойного интерференционного покрытия осуществляется методом анализа, когда в качестве параметров рассматривается собственно конструкция этого покрытия. Задаются число слоев, их оптические постоянные и их толщины, диапазон рассматриваемых длин световых волн, их поляризация. В настоящее время задача анализа всегда решается без особых математических трудностей, исходя из принципов электродинамики. Определение спектров прохождения или отражения света от интерференционных покрытий сводится к решению граничной задачи с соответствующими граничными условиями.
Для практики гораздо больший интерес представляет решение второй задачи, которая называется задачей синтеза покрытия. Она состоит в нахождении конструктивных параметров многослойного покрытия с последующим технологическом обеспечении его реализации.
рис.8. Схема интерференционного покрытия.
Для расчета оптических свойств системы тонких пленок наиболее удобным методом является матричный метод описания оптических свойств многослойных оптических свойств (рис.8). В случае, когда интерференционное покрытие состоит из чередующихся слоев с одинаковыми показателями преломления света и с одинаковой толщиной каждого слоя взаимодействие электромагнитных волн в пленочной системе может быть представлено произведением характеристических матриц каждого рассматриваемого слоя. В этом случае компоненты E и H векторов в среде, из которой падает свет, связан с компонентами E и H векторов в среде, в которую свет распространяется, связаны соотношением
, (59)
где M1 – M2 - матрицы интерференции слоев многослойной системы вида:
, (60)
где
. (61)
Учитывая граничные условия на нулевой и (l-1)-границах раздела:
. (62)
Амплитудные коэффициенты отражения и поглощения интерференционной системы равны:
. (63)