VI.2 Вывод результатов моделирования на график
ANSYS Main Menu > TimeHist Postpro > Graph Variables...
В появившемся окне Graph Time-History Variables (рис. VI.3) в пункте 1st variable to graph указывается номер переменной 2 > OK.
Рис. VI.3
На графике строится амплитудно-частотная характеристика моделируемого микрокантилевера (см. рис. VI.4).
Рис. VI.4
VI.3 Просмотр результата в логарифмических координатах
Для более детального рассмотрения результатов моделирования удобно представить значения амплитуды в логарифмическом виде.
Utility Menu > PlotCtrls > Style > Graphs > Modify Axis
В появившемся окне Axes Modifications for Graph Plots (см. рис. VI.5) в пункте Y-axis scale устанавливается тип шкалы – Logarithmic > OK.
Для просмотра измененного графика необходимо обновить окно результатов:
Utility Menu > Plot > Replot
Рис. VI.5
VI.4 Просмотр результата в табличном виде
Для более детального изучения результаты моделирования могут быть представлены в табличном виде:
ANSYS Main Menu > TimeHist Postpro > List Variables…
В появившемся окне List Time-History Variables в пункте 1st variable to list устанавливается значение переменной 2 > OK.
Сохраните полученные результаты в соответствии с пунктом II.4.
VII Получение копии изображения модели
Utility Menu - PlotCtrls - Capture Image
Появляется отдельное окно с копией рабочего окна. Изображение сохраняется в рабочую папку под оригинальным именем: File -> Save As.
VIII Выход из программы
File - > Exit… - > Quite - No Save! - > OK
4 СОСТАВ ОТЧЕТА И ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ
Отчет о работе должен содержать следующие элементы:
Цель работы;
Задание на лабораторную работу;
Результаты расчета модуля Юнга и коэффициента Пуассона
Изображения полученной конструкции микрокантилевера;
Изображения графических зависимостей амплитудно-частотных характеристик в линейных и логарифмических системах координат;
Значения резонансных частот микрокантилевера.
5 ВАРИАНТЫ ЗАДАНИЙ
Таблица 2. Варианты заданий на моделирование микрокантилевера
|
|
|
||
№ варианта |
Контрольные точки |
Угол поворота, , º |
||
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
1 |
X Y Z |
0 0 0 |
2,0E-4 2,0E-5 1,0E-6 |
0 |
2 |
X Y Z |
0 0 0 |
2,5E-4 2,0E-5 1,0E-6 |
15 |
3 |
X Y Z |
0 0 0 |
3,0E-4 2,0E-5 1,0E-6 |
30 |
4 |
X Y Z |
0 0 0 |
3,5E-4 2,0E-5 1,0E-6 |
45 |
5 |
X Y Z |
0 0 0 |
4,0E-4 2,0E-5 1,0E-6 |
60 |
6 |
X Y Z |
0 0 0 |
2,0E-4 1,5E-5 1,0E-6 |
75 |
7 |
X Y Z |
0 0 0 |
2,0E-4 2,5E-5 1,0E-6 |
90 |
8 |
X Y Z |
0 0 0 |
2,0E-4 3,0E-5 1,0E-6 |
105 |
9 |
X Y Z |
0 0 0 |
2,0E-4 2,0E-5 2,0E-6 |
120 |
10 |
X Y Z |
0 0 0 |
2,5E-4 2,5E-5 2,0E-6 |
135 |
11 |
X Y Z |
0 0 0 |
2,5E-4 2,0E-5 1,5E-6 |
150 |
12 |
X Y Z |
0 0 0 |
4,0E-4 3,0E-5 2,0E-6 |
165 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
13 |
X Y Z |
0 0 0 |
2,2E-4 2,0E-5 1,0E-6 |
180 |
14 |
X Y Z |
0 0 0 |
2,5E-4 2,0E-5 1,0E-6 |
195 |
15 |
X Y Z |
0 0 0 |
3,2E-4 2,0E-5 1,0E-6 |
210 |
16 |
X Y Z |
0 0 0 |
3,5E-4 2,0E-5 1,0E-6 |
225 |
17 |
X Y Z |
0 0 0 |
2,8E-4 2,0E-5 1,0E-6 |
240 |
18 |
X Y Z |
0 0 0 |
3,0E-4 1,5E-5 1,0E-6 |
255 |
19 |
X Y Z |
0 0 0 |
4,0E-4 4,0E-5 1,0E-6 |
270 |
20 |
X Y Z |
0 0 0 |
3,0E-4 3,0E-5 1,0E-6 |
285 |
21 |
X Y Z |
0 0 0 |
3,0E-4 3,0E-5 1,0E-6 |
300 |
22 |
X Y Z |
0 0 0 |
3,5E-4 2,5E-5 2,5E-6 |
315 |
23 |
X Y Z |
0 0 0 |
2,5E-4 2,5E-5 1,5E-6 |
330 |
24 |
X Y Z |
0 0 0 |
4,0E-4 4,0E-5 2,0E-6 |
345 |
25 |
X Y Z |
0 0 0 |
2,0E-4 2,0E-5 1,5E-6 |
360 |
Плотность монокристаллического кремния = 2329 кг/м3
Литература
В.Л. Миронов Основы сканирующей зондовой микроскопии: Уч. пособие для студентов старших курсов высших учебных заведений. – Н. Новгород: Инст-т физики микроструктур, 2004. – 110 с.
Интернет-сайт компании "НТ-МДТ": http://www.ntmdt.ru/
В.А. Быков Микромеханика для сканирующей зондовой микроскопии и нанотехнологии // Нано- и микросистемная техника, №1, 2000. с. 21-33.