1. Назвать основные виды загрязнений.
Механические, органические, химические
2. Назвать основные методы жидкостной и сухой очистки.
Жидкостная: обезжиривание, промывка деионизованной водой, кислотное травление, промывка аммиачным раствором.
Сухая: отжиг, ионное травление, газовое травление, плазмо-химическое травление
3. Что собой представляют методы физического обезжиривания?
???Для удаления неполярных органических загрязнений используют такие неполярные органические растворители, как толуол, четыреххлористый углерод, фреоны, для удаления полярных органических загрязнений используют такие полярные органические растворители, как ацетон, спирты.
Физическое обезжиривание основано на отрыве молекул жира от поверхности при ее взаимодействии с органическими растворителями. Отрыв вызывается собственными колебаниями молекул жира и притяжением их молекулами растворителя. Для этого пластины (подложки) погружают в резервуар (ванну) с растворителем. После отрыва молекулы жира равномерно распределяются по всему объему ванны, что приводит к загрязнению растворителя и обратному процессу - адсорбции молекул жира очи поверхностью. Во избежание последнего требуется постоянное освежение растворителя. В качестве растворителей наиболее часто применяют четыреххлористый углерод, бензол, толуол, изопропиловый спирт, фреон и др., в которых эффективно растворяется большинство жировых загрязнений. Определяющими параметрами процесса являются температура и время. Растворимость жиров увеличивается с повышением температуры. Поэтому обезжиривание осуществляют в горячих или кипящих растворителях. Несмотря на высокую эффективность очистки в органических растворителях, технология такого обезжиривания связана с определенными трудностями (многократная очистка, большой расход, высокая стоимость и токсичность большинства растворителей). Исключительными особенностями обладает фреон, который не токсичен и обеспечивает высокую эффективность очистки.
4. Каков механизм химического обезжиривания?
Кинетика
жидкостного травления полупроводников
в обобщенной форме описывается химической
реакцией взаимодействия жидкого
травителя с твердой подложкой :
Где ST, XЖ, AЖ, BЖ — соответственно вещество подложки, травитель и жидкие продукты реакции.
Процесс травления протекает в три последовательные стадии:
а) подвод химического травителя Х к поверхности S (диффузионный поток JSДИФ);
б) гетерогенная химическая решения на поверхности S (химические потоки JSХИМ, JХХИМ, JАХИМ, JВХИМ для всех участников реакции S,X,A,B);
в) отвод продуктов реакции A, В от поверхности S (диффузионные потоки JAДИФ, JBДИФ ).
5. Как получают особо чистую деионизованную воду?
Вода, проходя через колонну, наполненную катионито- вой смолой, отдает положительно наряженные ионы металлов (Me+) (Fe2+ Cu2+,Na+ и др) путем замещения ими протонов H+ , входящих в состав смолы:
(R -Н) + Me+ ->(R- Me) +H+ проходя через вторую колонну, наполненную анионитовой смолой, отдает отрицательно заряженные анионы (И -) хлоридов, сульфидов, бикарбонатов и т.д. путем замещения ими гидроксильной группы (OH-), входящей в состав анионитовой смолы:(R-OH) + И- ->(R - И) + ОН-. Протоны и гидроксильные группы соединяются в молекулы воды: H++OH-H2O.