- •Курсовая работа по предмету: Вакуумная и плазменная электроника Вариант №21
- •Содержание
- •1 Расчёт электрических характеристик кремниевого интегрального n-канального мдп транзистора
- •Задание
- •1.2.1. Технология изготовления мдп-структур
- •Рассчитаем малосигнальные параметры эквивалентной схемы, показанной на рисунке по рис.1.6:
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Курсовая работа по предмету: Вакуумная и плазменная электроника Вариант №21
Выполнил: Чекамеев И. Г. группа ЭКТ-44
Проверила: Титова И. Н.
МОСКВА
2011
Содержание
1 |
Расчёт электрических характеристик кремниевого интегрального n-канального МДП-транзистора.................................................................. |
3
|
1.1 |
Исходные данные. Задание....................................................................... |
3,4 |
1.2 |
Структура и топология МДП-транзистора.............................................. |
5 |
1.3 |
Расчет и корректировка порогового напряжения транзистора............. |
8 |
1.4 |
Расчёт ВАХ в рамках идеализированной модели.................................. |
10 |
1.5 |
Расчёт ВАХ с учётом неоднородности ОПЗ под затвором................... |
12 |
1.6 |
Малосигнальная эквивалентная схема и ее параметры......................... |
15 |
1.7 |
Факультативное задание: Расчёт и корректировка порогового напряжения с учётом эффектов короткого и узкого канала.................. |
16 |
1.8 |
Факультативное задание: Расчёт реальной ВАХ, зависящей от ... |
17 |
1.9 |
Факультативное задание: Расчёт параметров эквивалентной схемы... |
21 |
1 Расчёт электрических характеристик кремниевого интегрального n-канального мдп транзистора
-
Исходные данные. Задание
Исходные данные. Вариант №21
1 |
Материал затвора |
N+-Si* |
2 |
Длина канала L, мкм |
3 |
3 |
Ширина канала W, мкм |
10 |
4 |
Толщина подзатворного диэлектрика (SiO2) d, мкм |
0,03 |
5 |
Концентрация примеси в подложке , см-3 |
1016 |
6 |
Подвижность электронов в канале n, см2/В.с |
600 |
7 |
Плотность поверхностных состояний , см-2 |
6*1010 |
8 |
Концентрация примеси в n+- слоях, см-3 |
1020 |
9 |
Глубина залегания стока , мкм |
0.6 |
ОБЩИЕ ДАННЫЕ
e = 1.62*10-19 Кл – заряд электрона,
ε0 = 8.85*10-14 Ф/см диэлектрическая проницаемость вакуума,
ε = 11.9 – относительная проницаемость Si,
εd = 3.4 – относительная проницаемость диэлектрика,
Еs = 1.5*104 В/см – продольное электрическое поле в канале,
Vt = 1 В – пороговое напряжение.