- •Оглавление
- •Глава 1. Эксилампа барьерного разряда. Особенности конструкции и работы
- •1.1.Классификация эксиламп барьерного разряда
- •1.2. Оптимальные условия возбуждения эксиламп барьерного разряда
- •1.3. Рабочие среды и спектры излучения эксиламп барьерного разряда
- •1.4. Конструкции облучающих модулей на основе эксиламп барьерного разряда
- •1.5. Влияние формы импульса возбуждения
- •Глава 2. Объекты и методика исследования
- •2.1. Источники питания эксиламп барьерного разряда
- •2.2. Описание схемы источника питания эксилампы
- •2.3. Принцип работы резонансного источника питания гармонического напряжения
- •2.4. Конструкция эксилампы барьерного разряда
- •Глава 3. Эксперимент и обработка результатов
- •3.1 Описание экспериментальной установки
- •3.2 Методика измерения мощности излучения эксилампы
- •3.3 Порядок выполнения и результаты эксперимента
- •Заключение
- •Список использованной литературы
1.3. Рабочие среды и спектры излучения эксиламп барьерного разряда
В эксилампах используются рабочие среды, состоящие из инертных газов или их смесей с галогенами. Особенностью данных сред является характер релаксации энергии по электронным состояниям эксимерных или эксиплексных молекул, образуемых в среде в процессе ее возбуждения, и относительно большая энергия фотона, излучаемого при переходе молекулы в основное состояние [10].
Наличие ионизованных и возбужденных состояний, связанных между собой многочисленными пересечениями кривых потенциальной энергии, приводит к тому, что в процессе релаксации среды последовательно безызлучательно заселяются состояния с верхних возбужденных к нижним состояниям[8].
Рис. 4. Нижние термы молекулы, состоящей из атома инертного газа и атома
галогена, и интенсивные излучательные переходы между ними [10].
Дальнейший переход с нижних возбужденных состояний для эксиплексных молекул (B, C, D, рис.3) к основному (разлётное A и слабосвязанное или разлётное X состояния) осуществляется за счет излучения, при этом энергетический зазор между нижним возбужденным и основным состояниями молекулы весьма большой. Этим объясняются, во-первых, высокая эффективность преобразования энергии, вводимой в среду, в излучение; во-вторых, наличие вэмиссионном спектре лишь указанной группы переходов, относящихся к УФ или ВУФ диапазонам. При этом наиболее интенсивным является B-X переход.
В спектре могут присутствовать более слабые полосы D-X, B-A, C-A переходов, а также полосы молекул галогенов (Табл. 1 и 2).
Таблица 1.
Длины волн основных переходов эксиплексных молекул [31].
R - атом инертного газа |
Y - атом галогена |
Длины волн на различных переходах молекулы RY*, нм | |||
D1/2 → X1/2 |
B1/2→ X1/2 |
C3/2→ A3/2 |
B1/2→ A1/2 | ||
Ne |
F |
106 |
108 |
110 |
111 |
Ar |
F |
185 |
193 |
203 |
204 |
Ar |
Cl |
|
175 |
|
195 |
Ar |
Br |
|
165 |
172 |
183 |
Kr |
F |
220 |
248 |
275 |
272 |
Kr |
Cl |
200 |
222 |
240 |
235 |
Kr |
Br |
|
207 |
222 |
228 |
Kr |
I |
|
190 |
195 |
225 |
Xe |
F |
264 |
351 |
460 |
410 |
Xe |
Cl |
236 |
308 |
345 |
340 |
Xe |
Br |
221 |
282 |
300 |
325 |
Xe |
I |
203 |
253 |
265 |
320 |
Таблица 2
Длины волн переходов эксимерных молекул и гомоядерных молекул галогенов[21].
R2*,Y2* |
Длина волны, нм |
Ar2* |
126 |
Kr2* |
146 |
Xe2* |
172 |
F2* |
158 |
Cl2* |
259 |
Br2* |
289 |
I2* |
342 |
Образование эксимерных и эксиплексных молекул в рабочей среде происходит по разным каналам [10]. Эксимерные молекулы возникают в реакции ассоциации:
(3)
где R*, R – атомы инертного газа в возбужденном и основном состоянии
соответственно.
Рис.5. Изменение спектра излучения ксенона при различных давлениях, возбуждаемого барьерным разрядом. 1 – 37 Торр, 2 – 52 Торр, 3 – 75 Торр, 4 – 510 Торр.
Скорость реакции (1) пропорциональна квадрату концентрации атомов в основном состоянии. Этим объясняется сильная зависимость интенсивности и вида спектра излучения инертного газа от давления. На рис.5 показаны изменения спектра излучения ксенона при различных давлениях, возбуждаемого барьерным разрядом[8]. Резонансная линия доминирует при низком давлении.
При увеличении давления в спектре наблюдаются две широкие полосы, условно называемые "первым" и "вторым" континуумами. К первому относят переходы с высоко лежащих колебательных уровней. Данный континуум прилегает к длинноволновой стороне резонансной линии. Второй континуум формируется переходами из нижних колебательных уровней возбужденного состояния и, соответственно, располагается на большем удалении от резонансной линии, в длинноволновую область. При давлении 100 Тор и более в спектре доминирует излучение второго континуума[8].
Эксиплексные молекулы формируются за счет так называемых "гарпунных" реакций (2) с участием возбужденного атома инертного газа и галогеносодержащей молекулы, или в процессе ион-ионной рекомбинации положительного атомарного или молекулярного иона инертного газа (R+, R2+) с отрицательным ионом галогена Y−(3)[8]:
(4)
(5)
где TY, Y2– галогеносодержащие молекулы, Y – атом галогена, M – третья частица, уносящая избыток энергии. В качестве частицы M могут выступать атомы рабочего или "буферного" инертного газа
Наиболее эффективными оптическими средами являются ксенон (эффективность излучения η молекул Xe2* до 60%, длина волны λ = 172 нм; смесиKr-Cl2,Xe-Cl2(молекулыKrCl*, λ ~ 222 нм,XeCl*, λ ~ 308 нм, η ~ 25 %);Xe-Br2(XeBr*, λ ~ 282 нм, η ~ 15 %);Xe–I2(XeI*, λ ~ 253 нм, η ~ 20 %). Здесь длина волны указана для максимума излучения В-Х перехода. Излучение на этих длинах волн хорошо пропускается кварцем, в том числе и на λ = 172 нм (кварц типа GE 021SUPER), что позволяет создавать отпаянные излучатели с большим сроком службы и обеспечивает их широкое применение[8].
Рис 6-9. Спектры излучения эксиплексных молекул KrCl*, XeCl*, XeBr*, XeI*
(длина волны в нм).
Спектры излучения эксиплексных молекул KrCl*, XeCl*, XeBr*, XeI* изображены на рис. 6 и 7 [8]. Видно, что вклад излучательного перехода В-Х (второй континуум) в оптимальных условиях составляет основную долю (70-85%) всей энергии излучения эксимерных молекул.
Спектры излучения совокупности эксиплексных молекул при определенных условиях могут состоять из нескольких полос соответствующих молекул одновременно. Кроме того, в этих спектрах присутствуют не только континуумы эксиплексных молекул, но и атомарные линии. В условиях барьерного разряда низкого давления XeI2смеси (менее 100 mbar) был получен спектр, состоящий из ярко выраженных линий I*(λ= 183 нм, λ = 206 нм) и молекулярных полос KrI*(переход B-X: λ = 191 нм, переход B-A: λ = 225 нм) и I2*(λ = 342 нм).
Авторы [12] исследовали поперечный объёмный разряд в смеси газов Ar:Kr:Xe:Cl2при давлении 2-30 кПа. Было показано, что данный разряд является многоволновым источником УФ и ВУФ излучения с максимумами примерно равной интенсивности излучения на λ=175, 222, 236, 258 и 308 нм на переходах ArCl*(B-X), KrCl*(D-X), XeCl*(D-X), Cl2*(D'-A') и XeCl*(B-X) соответственно.
Спектр излучения, наряду с ресурсом и энергетическими параметрами является одной из основных характеристик эксилампы, как источника оптического излучения. Особенностью эксиламп является наличие в эмиссионном спектре лишь отдельных узких полос соответствующих молекул в УФ или ВУФ области длин волн. С помощью барьерного разряда могут быть одновременно получены линии и полосы излучения нескольких атомов и молекул.