Лекция ВАКУУМ (РЛ-6) (2015) студентам
.pdf
Вакуумные ловушки
Вакуумные ловушки
Вакуумные ловушки
Водоохлаждаемые
Вакуумные ловушки
Термоэлектрические ловушки используют элементы Пельтье. Такие элементы позволяют охлаждать ловушки до Температуры: – 20оС … -70оС.
Вакуумные ловушки
Жалюзийная азотная ловушка
1 – корпус; 2 – защитные поверхности; 3 – медный хладопровод; 4 – сосуд Дьюара
Вакуумные ловушки
1 – защитные поверхности ловушки, охлаждаемые водой;
2 – защитные поверхности ловушки, охлаждаемые жидким азотом
Вакуумные ловушки
Адсорбционная ловушка
1– корпус; 2 – фланец; 3 – трубка для нагревателя; 4 – адсорбент; 5 – маслоотражатель; 6 – сетка; 7 - фланец
Вакуумные ловушки
Каталитические ловушки
Принцип действия каталитических ловушек основан на каталитическом разложении паров масел на металлических поверхностях с образованием легко откачиваемых продуктов химической реакции (СО2, Н2О).
При нагреве защитного активного слоя ловушки до 250оС пары масла сначала адсорбируются, а затем окисляются:
СnН2n + 1,5nО2 |
nСО2 + nН2О |
В процессе откачки кислород, адсорбированный в защитном слое, расходуется. Заполнение кислородом происходит при вскрытии камеры и напуске атмосферного воздуха.
Вакуумные ловушки
Каталитические ловушки ЛК-10, ЛК-40
Геттеро-ионные вакуумные насосы
-магниторазрядные (НОРД – насос орбитронный разрядный диодный);
-геттерно – ионные насосы (ГИН);
- сорбционные титановые охлаждаемые насосы (СТОН).