Лекция ВАКУУМ (РЛ-6) (2015) студентам
.pdfСтепени вакуума:
1.Низкий вакуум НВ (105-102 Па);
2.Средний вакуум СВ (102-10-1 Па);
3.Высокий вакуум ВВ (10-1-10-5 Па);
4.Сверхвысокий вакуум СВВ (P<10-5 Па).
Единицы измерения давления вакуумной среды
Международная единица - 1 Па (Паскаль)
1 Па =1 Н м –2
Внесистемная единица – 1 Торр
1 Торр = 1мм рт. ст. = 0,001 м 13595,1 кг м-3 9,80665 м с –2 = 133,322 Н м –2
1Торр = 133,3 Па
1 Па = 0,0075 Торр
Согласно ГОСТ 8.417-81: 1Па=1Н/м2;1бар=105Па [Н/м2] = 750 мм рт. ст. =750 Торр; 1Торр=133,3Па.
Характеристики вакуумной системы
Основные параметры вакуумной системы
-Быстрота откачки объекта So [м3/с].
-Быстрота действия насоса Sн [м3/с].
-Производительность насоса Q [м3 · Па / с].
-Проводимость трубопровода U – количество газа,
протекающего через трубопровод в единицу времени при разности давлений на концах трубопровода, равной единице
[м3/с]:
U = Q /(PО – PH).
Основное уравнение вакуумной техники
1 1 1
SO SН U
Скорости теплового движения
При стационарном состоянии, когда газ находится при температуре стенок сосуда, устанавливается определённое распределение скоростей между отдельными молекулами – распределение, установленное Максвеллом и Больцманом.
Объем газа, ударяющегося в единицу времени
о единицу поверхности
Число соударений молекул в единицу времени о
единицу поверхности:
Объем газа, ударяющегося в единицу времени о единицу
поверхности:
При нормальных условиях (М = 29; Т = 293 К) средняя
арифметическая скорость равна va = 462,5 м/с. Тогда объем
газа, ударяющегося в единицу поверхности в единицу
времени будет равен:
Величина V1 не зависит от давления Р и определяет
максимальную теоретическую быстроту действия вакуумных
насосов.
Длина свободного пробега
где va – средняя арифметическая скорость молекулы;
ν– число столкновений молекулы с другими частицами.
Длина свободного пробега
Определим длину свободного пробега молекул газа:
где va – средняя арифметическая скорость молекулы;
ν– число столкновений молекулы с другими частицами.
где σ – диаметр молекулы;
n – концентрация молекул.