Лекция ВАКУУМ (РЛ-6) (2015) студентам
.pdf
Вращательные механические вакуумные насосы
Насос винтовой
Вращательные механические вакуумные насосы
Насос спиральный
Вращательные механические вакуумные насосы
1
2
pâï |
pâûï |
3 |
Насос Рутса (двухроторный)
Пароструйные вакуумные насосы
Эжекторное сопло
S V1 |
F V1 |
|
(D 2 |
d 2) |
|
к |
|
с |
|||
|
|
|
|
||
|
|
|
4 |
Диффузионное сопло |
|
Параметры рабочих жидкостей диффузионных
насосов
Рабочая |
Рнас., Па |
Р’, Па |
, кг/м3 |
r, кДж/моль |
жидкость |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ВМ-1 |
1 10-6 |
2 10-4 |
887 |
115 |
|
|
|
|
|
ВМ-5 |
2 10-7 |
1 10-6 |
885 |
119 |
|
|
|
|
|
Алкарен-24 |
5 10-8 |
8 10-7 |
915 |
132 |
|
|
|
|
|
ПЭС-В-1 |
5 10-6 |
2 10-4 |
970 |
103 |
|
|
|
|
|
ПФМС-2/5л |
5 10-5 |
2,5 10-4 |
1050 |
108 |
|
|
|
|
|
ФМ-1 |
5 10-9 |
1 10-7 |
1095 |
118 |
|
|
|
|
|
ФМ-2 |
1 10-10 |
5 10-8 |
1105 |
144 |
|
|
|
|
|
r – теплота парообразования жидкости
Пароструйные вакуумные насосы
Молекулярные вакуумные насосы
(изобретен в 1911г. инженером Геде)
Главная идея молекулярного насоса - придание всем молекулам откачиваемого газа, движущимся в произвольных направлениях дополнительной составляющей скорости в
направлении к выпускному патрубку.
1-всасывающий патрубок;
2-выхлопной патрубок;
3-ротор;
4-статор (корпус); Dr – диаметр ротора;
nr – частота вращения ротора;
vr - линейная скорость движений ротора
Молекулярные вакуумные насосы
Суммарная (средняя) скорость отраженных молекул:
V3 V2 Vr
Для того, чтобы молекулы после
удара о ротор |
заметно |
|
отклонились |
от |
нормали |
необходимо |
|
выполнение |
условия: |
|
|
Vr Va
Молекулярные вакуумные насосы
S |
Г Fвп V1 |
Насос турбомолекулярный |
|
Молекулярные вакуумные насосы