2 3 4 5 6 7 8 9 10

Рис. 10. На рисунке представлено изображение УЗЗМ.1-вольфрамовая заготовка; 2-электрод; 3-винт "перемещение по вертикали"; 4-видеокамера; 5-подвижный светодиодный осветитель; 6-основание; 7-держатель зонда; 8-ванночка для щелочи 9-переключатель "Управление двигателем" 10-кнопка "Травление"

УЗЗМ работает следующим образом: заготовка из вольфрамовой проволоки закрепляется в держателе, который перемещается по вертикали вручную при помощи винта "Перемещение по вертикали", или, при помощи шагового двигателя, под управлением программы. Электрод может быть выполнен как в виде кольца из проволоки (электрод №l), так и в виде параллельных металлических пластин с отверстием в центре (электрод №2).

Рис. 11. Виды электродов использующихся в устройстве автоматического травления. Слева Электрод№1, справа Электрод№2

На электрод навешивается капля 5-ти процентного раствора KOHилиNaOH. После установки заготовки в нужном положении, относительно электрода, начинают процесс переравливания. Он может происходить как в ручном режиме, так и в автоматическом, под управлением программы. В процессе перетравливания проволоки образуется острая игла. Оператор наблюдает за процессом травления на видеоизображении, выводимом на экран компьютера. Освещение обеспечивается подвижным светодиодным осветителем.

После окончания травления, электрод отводится от получившегося зонда, а сам зонд, вместе с держателем, вынимают из УЗЗМ.

Таблица 1. Технические характеристики

Типичный радиус закругления кончика иглы	0,1 мкм
Материал заготовки	вольфрамовая проволока 0,15 мм
Диапазон перемещения по вертикали	15 мм
Источник постоянного и переменного напряжения	5 В
Увеличение видеокамеры	х 20
Время травления иглы	от 40сек до 5 мин
Время срабатывания автоматического отключения	0,06 сек

4. Методические указания

Прежде чем приступить к работе на сканирующем зондовом микроскопе NanoEducator следует изучить руководство пользователя прибора.

5. Техника безопасности

Прибор управляется напряжением 220В. Эксплуатацию сканирующего зондового микроскопа NanoEducator производить в соответствии с ПТЭ и ПТБ электроустановок потребителей напряжением до 220 В.

6. Задание

Часть 1

1 Изготовление вольфрамовой заготовки

1.1. Выпрямите проволоку на длину примерно 3 см

1.2. Вставьте проволоку до упора в металлический капилляр со стороны мерной канавки устройства.

1.3. Загните проволоку приблизительно на 180 градусов, прижимая её к капилляру.

1.4. Вытащите проволоку из капилляра. Вложите проволоку загнутым концом в мерную канавку до упора.

1.5. Прижмите проволоку пальцем к мерной канавке.

1.6. Отрежьте проволоку ножницами, упираясь режущей плоскостью ножниц в торец капилляра. Важно обеспечить длину 18 мм

1.7. Для формирования угла, вставьте проволоку загнутой стороной в отверстие расположенное в центре приспособления

1.8. Протащите проволоку через отверстие.

1.9. Длинной стороной заготовки вставьте её в капилляр, отмеченный красной точкой.

1.10. Загните проволоку приблизительно на 90 градусов, прижимая её пальцем.

1.11. Загнутым концом вставьте заготовку в держатель зонда.