Руководство пользователя (NV8200P)

5. Подача и транспортировка полупроводниковых пластин

Возобновление операции на приемной станции

Введение

После переключения подачи и транспортировки полупроводниковых пластин на паузу можно возобновить подачу и транспортировку полупроводниковых пластин из любого экрана. Тем не менее, соблюдайте следующие предосторожности:

ОСТОРОЖНО

Не возобновляйте работу приемной станции, пока не получите распоряжение сделать это. В случае ошибки с подачей и транспортировкой или неисправности возобновление работы может вызвать дальнейшее повреждение продукта.

Что происходит при возобновлении операции на приемной станции

При клике по кнопке Resume Endstation возобновляется автоматическое функционирование. При выборе кнопки Resume Endstation выполняются следующие действия:

•Кнопку Resume Endstation заменяет кнопка Hold Endstation.

•Macobot пробует выполнить последнюю задачу, которую он выполнял, но только если он не завершил эту задачу (это обычно касается только случаев, когда приемная станция сама переключается на паузу из-за сбоя macobot).

•Полностью возобновляется обработка на приемной станции.

Возобновление операции на приемной станции

Для возобновления операций приемной станции после паузы выполните следующие действия:

1Устраните проблему, вызвавшую приостановку.

2На общей панеле управления кликните по кнопке Resume Endstation.

Macobot возобновляет подачу и транспортировку полупроводниковых пластин. Кнопку

Resume Endstation заменяет кнопка Hold End Station.

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Инициализация приемной станции

Введение

Обычно после окончания партии и до начала следующей партии различные компоненты приемной станции перемещаются в должное положение для начала следующей имплантации, этот процесс называется инициализацией.

В отдельные моменты, однако, – обычно после сбоя подачи и транспортировки полупроводниковых пластин какого-либо рода – требуется выполнить инициализацию отдельных компонентов приемной станции вручную. Если требуется этот процесс, на правой стороне общей панели управления появляется кнопка Init Endstation (Инициализация приемной станции), в том месте, где обычно находит-

ся кнопка Hold End Station или Resume Endstation.

Правило

ОСТОРОЖНО

Прежде чем нажать кнопку Init, проверьте, чтобы не было поломанных полупроводниковых пластин и что транспортировочная рука не зажата в шлюзе или держателе. При наличии любого из этих условий необходимо устранить их, прежде чем продолжить. При клике по кнопке Init при наличии поломанных полупроводниковых пластин или заедании транспортировочной руки возможно механическое повреждение машины.

Если вы видите кнопку Init Endstation, необходимо кликнуть по ней, прежде чем продолжить какиелибо операции на приемной станции.

Что происходит во время инициализации

При клике по кнопке Init Endstation программное обеспечение направляет сигнал различным компонентам приемной станции принять должное состояние для продолжения операций по подаче и транспортировке полупроводниковых пластин. Любые из этих шагов могут дать сбой и вызвать остановку инициализации.

Продолжение на следующей странице

5. Подача и транспортировка полупроводниковых пластин

Инициализация приемной станции (продолжение)

Процедура

Для инициализации приемной станции выполните следующие шаги:

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Удаление полупроводниковых пластин из приемной станции

Введение

После прерывания имплантации необходимо удалить все полупроводниковые пластины из приемной станции, используя кнопку Clear Endstation (Очистка приемной станции).

Можно использовать кнопку Clear Endstation в любой момент, когда вы хотите удалить полупроводниковые пластины, если только не выполняется обработка партии.

Как это происходит

Во время нахождения в экране «End Station Control» (только для чтения или интерактивном) или в экране Implant, Automatic Implant или Engineering Implant появляется кнопка Clear Endstation. При клике по этой кнопке удаляются все полупроводниковые из устройства выравнивания, шлюза, транстпортировочной руки, держателя пластины, робота macobot или выпускного лотка буфера. Все полупроводниковые пластины возвращаются в свой исходный слот кассеты.

Кнопка Clear Endstation удаляет полупроводниковую пластину только в том случае, если она присутствует в таблице состояния полупроводниковых пластин для устройства выравнивания, шлюза, транспортировочной руки, держателя, робота macobot или выпускного лотка буфера. Соблюдайте следующие предосторожности.

Предосторожности

ОСТОРОЖНО

Не кликайте по кнопке Clear Endstation, пока не откроете сначала соответствующую таблицу состояния полупроводниковых пластин и не убедитесь в том, что полупроводниковые пластины находятся на должных местах. Если даже одна пластина не отображается или отображается в другом положении, отличном от ее фактического положения, не нажимайте кнопку Clear Endstation; обратитесь к администратору. В случае клика по кнопке, когда таблица состояния полупроводниковых пластин является неверной, может произойти поломка полупроводниковых пластин или механическое повреждение машины.

ОСТОРОЖНО

Если кнопка Clear Endstation не выполняет должным образом удаление всех полупроводниковых пластин, обратитесь к администратору.

5. Подача и транспортировка полупроводниковых пластин

Остановка Macobot

Введение

В случае неправильной подачи полупроводниковой пластины или если вы считаете, что возможна ошибка macobot при транспортировке полупроводниковой пластины, вы можете нажать кнопку остановки робота для немедленной остановки работы macobot.

Как показано на Рисунке 5-15, кнопка остановки робота находится под выключателем экстренной остановки слева от окошек кассет.

Рисунок 5-15. Местонахождение кнопки остановки робота

Выключатель

остановки

робота

Результаты нажатия кнопки

В случае нажатия кнопки остановки робота во время движения macobot, робот немедленно останавливается, без завершения движения. Все остальные приводы остановятся по окончании текущего цикла движения. Иными словами, нажатие кнопки остановки робота не останавливает движения держателя или транспортировочной руки, которые выполняются в данный момент, но это не позволит начать любое новое движение держателя или транспортировочной руки.

Когда активирована кнопка

Пока кнопка остановки робота активирована, вы не можете выполнить инициализацию или очистку приемной станции. Отдельные части, типа кассетных стоек, транспортировочной руки и держателя, не могут двигаться. Однако вы по-прежнему можете приводить в движение дверцы. Операторы с доступом в интерактивный экран «End Station Control» могут добавлять и удалять полупроводниковые пластины и выполнять сброс робота macobot при активированной кнопке.

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Возобновление работы Macobot

Ограничения для возобновления работы macobot

После нажатия кнопки остановки робота требуется выполнить сброс и инициализацию робота macobot, если нужно возобновить его операции без завершения предыдущего движения. Операторы с правом доступа только Operator не имеют доступа к экранам, требующиеся для выполнения сброса и инициализации macobot. Даже при наличии доступа к данным экранам не рекомендуется выполнение этих действий операторами.

Возобновление работы с предыдущего движения

Единственный способ, которым оператор с доступом строго Operator может возобновить работу после остановки робота, является продолжение движения macobot, которое он выполнял во время нажа-

тия кнопки остановки робота.

Соблюдайте следующие предосторожности в случае решения возобновить операции macobot с предыдущего движения:

ОСТОРОЖНО

Не возобновляйте операции macobot, пока не получите указания сделать это. В случае ошибки с транспортировкой полупроводниковой пластины или неисправности возобновление работы может привести к дальнейшему повреждению продукта.

Продолжение на следующей странице

5. Подача и транспортировка полупроводниковых пластин

Возобновление работы Macobot (продолжение)

Процедура

В случае решения возобновить работу macobot, продолжая предыдущее движение macobot, выполните следующие шаги:

1Поверните кнопку остановки робота, чтобы разблокировать его.

2Кликните по кнопке Resume End Station на общей панеле управления.

Macobot возобновляет выполнение любой команды, которая была активирована в момент нажатия кнопки остановки робота.

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Что требуется от оператора системы

Список того, что требуется от оператора системы

1.Быть готовыми к экстренным ситуациям.

Знать все органы управления питанием системы и порядок использования каждого из них. Периодически просматривать правила безопасности предприятия, на котором установлена система, и раздел по безопасности в настоящем руководстве (см. подраздел «Средства управления питанием», начиная со страницы 1-8, и подраздел «Требования обеспечения безопасности», начиная со страницы 1-41.)

2.Постоянно совершенствовать свои знания и навыки.

Узнать максимум возможного из настоящего руководства, а также от операторов, инструкторов или инженеров, имеющих более высокий уровень подготовки и опыта. Обращаться к этим людям при возникновении любых вопросов, на которые нет ответов в настоящем руководстве.

3.Знать основные блокировки.

Отслеживать кнопочную строку статуса блокировок и знать порядок доступа и чтения экрана «Interlocks» (см. подраздел «Просмотр блокировок» на странице 3-62.)

4.Изучить осцилограф и отслеживать его показания во время эксплуатации установки имплантации (см. в подразделе «Осцилограф» на странице 1-7 информацию о том, что искать).

5.Знать методы определения дугового разряда.

Дуговой разряд представляет собой дугу, звук которой напоминает искру статического электричества, образующегося при касании металлической дверной ручки в холодный день. Знать, когда и как останавливать машину для предупреждения ее повреждения дуговым разрядом (см. подраздел «Дисплей осцилографа» на странице 1-37).

6.Знать порядок отслеживания важных параметров, связанных с имплантацией.

Важная информация отображается в диалоговом окне «Implant Status» и в экране «Implant» (см. подраздел «Состояние имплантации» на странице 2-20 и подраздел «Использование экрана

«Implant» на странице 4-5.)

Например, следите, чтобы давление источника не было слишком низким. Это может привести к сбою автоматической настройки (см. типовые значения в подразделе «Подсказка: Отслеживание давления источника» на странице 4-6).

7.Знать порядок доступа и считывания информации, важной для работы с системой имплантации, в файле IDL.

Например, можно использовать IDL для проверки завершения обработки кассеты в случае сомнений относительно «лота» (партии) (см. подраздел «Просмотр журналов данных имплантаций», начиная со страницы 3-36).