Руководство пользователя (NV8200P)

5. Подача и транспортировка полупроводниковых пластин

Мониторинг с экрана «End Station Control» (продолжение)

Объяснение полей (продолжение)

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Мониторинг по таблицам состояния полупроводниковых пластин

Введение

На экране «End Station Control» можно просматривать таблицы состояния полупроводниковых пластин для отслеживания подачи и транспортировки полупроводниковых пластин.

Примечание: Эта часть касается экрана «End Station Control» в режиме только для чтения. При наличии у вас доступа в интерактивный экран «End Station Control» вы можете в нем перемещать, добавлять и удалять полупроводниковые пластины, а также отслеживать подачу и транспортировку полупроводниковых пластин способами, описанными в данном подразделе. Вы можете прочитать об этих функциях в интерактивной справке в теме «Редактирование таблицы состояния полупроводниковой пластины».

Причины для просмотра таблицы состояния полупроводниковых пластин

Можно использовать таблицы состояния полупроводниковых пластин на экране «End Station Control» для следующих целей:

•Для определения статуса полупроводниковых пластин, загруженных в данный момент в премнтую станцию.

•В случае прерывания, для проверки правильности таблицы состояния, прежде чем кликать по кнопке Clear Endstation (Очистка приемной станции) (см. «Удаление полупроводниковых пластин из приемной станции» на странице 5-32).

•Чтобы удостовериться в том, что имплантированы все полупроводниковые пластины в законченной кассете.

Таблицы состояния пластин, которые можно просматривать

Можно просматривать таблицу состояния пластин для следующих объектов, посредством выбора иконок объектов:

•кассеты подачи (1, 2, и 3)

•буфер

•macobot

•устройство выравнивания полупроводниковых пластин

•шлюз

•прижим

•левая сторона транспортировочной руки

•правая сторона транспортировочной руки

Иконки, по которым можно кликать для вызова таблицы состояния полупроводниковых пластин, помечены на Рисунке 5-9.

Примечание: Необходимо кликнуть по иконке, представляющей объект, а не по ярлыку объекта, чтобы вызвать его таблицу состояния кассеты.

Продолжение на следующей странице

5. Подача и транспортировка полупроводниковых пластин

Мониторинг по таблицам состояния полупроводниковых пластин (продолжение)

Таблицы состояния, которые можно просматривать (продолжение)

Рисунок 5-9. Таблицы состояния пластин в экране «End Station Control»

Продолжение на следующей странице

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Мониторинг по таблицам состояния полупроводниковых пластин (продолжение)

Таблица состояния полупроводниковых пластин

При клике по любой из позиций, обозначенных на Рисунке 5-9, отображается таблица состояния полупроводниковых пластин для этого компонента. Таблица состояния полупроводниковых пластин для кассеты подачи 3 показана на Рисунке 5-10.

Рисунок 5-10. Пример таблицы состояния полупроводниковой пластины

Поля таблицы состояния полупроводниковых пластин

Большинство таблиц состояния полупроводниковых пластин имеют следующие поля:

5. Подача и транспортировка полупроводниковых пластин

Мониторинг по таблицам состояния полупроводниковых пластин (продолжение)

Поля таблиц состояния полупроводниковых пластин (продолжение)

Очистка таблицы состояния полупроводниковых пластин для буфера

В случае заполнения таблицы состояния полупроводниковых пластин буфера и желании по какойлибо причине очистить ее (например, при удалении кассеты вручную) можно кликнуть по кнопке Buffer (Буфер), чтобы вызвать следующее диалоговое окно.

Рисунок 5-11 Диалоговое окно «Clear Buffer»

При клике по кнопке Clear All (Очистить все) и последующем закрытии диалогового окна таблица состояния очищается полностью. Фактического перемещения полупроводниковых пластин не происходит.

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Мониторинг в экране «Implant»

Введение

Можно отслеживать определенные типы информации о подаче и транспортировке полупроводниковых пластин в экране «Implant», включая статус приемной станции, число полупроводниковых пластин и размер партии, а также таблицу состояния кассет для индикации ID процесса, ID материала и статуса для каждой из кассет.

Доступ к экрану «Implant»

Для доступа к экрану «Implant» кликните по кнопке Implant на кнопочной строке статуса или выберите опцию Implant в ниспадающем меню Operator. Появляется следующий экран:

Рисунок 5-12 Экран «Implant»

Поля Cassette Map (Таблица состояния кассет) обеспечивают информацию относительно портов трех кассет подачи.

Информацию о полях считывания в этом экране читайте в подразделах «Поля системной информации» на странице 4-7 и «Поля таблицы состояния кассет» на странице 4-8.

5. Подача и транспортировка полупроводниковых пластин

Другие способы мониторинга подачи и транспортировки полупроводниковых пластин

Введение

В данном подразделе обсуждаются следующие три области, в которых можно визуально отслеживать отдельные аспекты подачи и транспортировки полупроводниковых пластин:

•диалоговое окно «Implant Status»

•кнопка End station status (Статус приемной станции)

•постоянное окно уведомлений

Диалоговое окно «Implant Status» (Состояние имплантации)

Диалоговое окно «Implant Status» включает несколько полей считывания, которые можно использовать для отслеживания имплантации, включая два поля, непосредственно связанные с подачей и транспортировкой полупроводниковых пластин: Batch Size (Размер партии) (который может указываться в количестве полупроводниковых пластин или количестве кассет, в зависимости от установки параметров конфигурации) и Wafer Number (Номер полупроводниковой пластины) (номер полупроводниковой пластины, находящейся в данный момент в держателе, в последовательности от 1 до x, где x – размер партии).

Рисунок 5-13 Диалоговое окно «Implant Status»

Для доступа в диалоговое окно выберите опцию Show Implant Status (Показать статус имплантации) в ниспадающем меню Status. См. описание всех полей в этом диалоговом окне в подразделе Статус имплантации» на странице 2-20.

Продолжение на следующей странице

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Другие способы мониторинга подачи и транспортировки полупроводниковых пластин

(продолжение)

Кнопка End Station Status (Статус приемной станции)

Рисунок 5-14. Кнопка End Station на кнопочной строке статуса

Во время обработки полупроводниковых пластин можно следить за кнопкой End Station на кнопочной строке статуса. Даже если слова End Station (Приемная станция) показываются серым цветом, так как у вас нет доступа к интерактивному экрану кнопки «End Station Control», эта кнопка указывает статус приемной станции ее цветом в данный момент.

Цвета кнопки End Station указывают статус следующим образом:

•красный – приемная станция остановлен из-за ошибки во время автоматической обработки партии

•зеленый – приемная станция инициализирован и все системы готовы к обработке

•серый – в состоянии пуска, инициализации

Аналогичным образом, другие кнопки в кнопочной строке статуса указывают на проблему в какойлибо системе, способную повлиять на обработку полупроводниковых пластин. Информацию по этим кнопкам см. в подразделе «Цвета кнопок» на странице 2-30.

Постоянное окно уведомлений

Рекомендуется следить за постоянным окном уведомлений во время обработки партии, чтобы отслеживать сообщения о состоянии, аварийные сообщения и предупреждения, касающиеся подачи и транспортировки полупроводниковых пластин, показываемые в нем. Подробную информацию см. в подразделе «Постоянное окно уведомлений» на странице 2-32.

5. Подача и транспортировка полупроводниковых пластин

Приостановка операции на приемной станции

Введение

Во время автоматического функционирования в правом углу кнопочной строки отображается кнопка Hold Endstation (Приостановка приемной станции). При нажатии этой кнопки обработка полупроводниковой пластины полностью останавливается. Приемная станция сама может переключиться на паузу в случае сбоя какого-либо механического движения.

Соблюдайте следующие предосторожности:

ОСТОРОЖНО

Не переключайте приемную станцию на паузу при отсутствии одной из следующих ситуаций:

неправильная подача полупроводниковой пластины

вероятность неправильной подачи полупроводниковой пластины

возникновение механической неисправности

Альтернатива

В экстренных ситуациях вместо приостановки и возобновления работы приемной станции лучше нажать кнопку остановки робота (см. подраздел «Остановка Macobot» на странице 5-33).

Что происходит во время паузы

В случае инициации паузы оператором или приемной станцией выполняются следующие действия:

•Робот macobot завершает задачу, которую выполняет в данный момент.

•Обработка на приемной станции полностью останавливается.

•Кнопку Hold Endstation заменяет кнопка Resume Endstation (Возобновление работы приемной станции).

Продолжение на следующей странице

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Приостановка операции на приемной станции (продолжение)

Процедура

Для переключения приемной станции на паузу выполните следующие шаги:

1На общей панеле управления кликните по кнопке Hold Endstation.

Macobot завершает выполнение текущей команды и перемещается в безопасное положе-

ние. Кнопку Hold Endstation заменяет кнопка Resume End Station.