- •Курс лекций
- •Технологии наноэлектроники
- •Молекулярно-лучеваяэпитаксия.
- •Газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений.
- •Нанолитография.
- •Разрешающая способность.
- •Оптическая литография.
- •Рентгеновская литография.
- •Электронная литография.
- •Ионная литография.
- •Возможности методов литографии в наноэлектронике.
- •Нанопечатная литография.
- •Процессы травления в нанотехнологии.
- •Процессы самосборки повторяющихся структур.
- •Самосборка в объемных материалах.
- •Самосборка при эпитаксии.
- •Пленки пористых материалов.
- •Пленки пористого кремния.
- •Пленки пористого оксида алюминия.
- •Пленки поверхностно-активных веществ.
- •Основные определения и механизмы.
- •Осаждение пленок пав.
- •Пленки на основе коллоидных растворов.
- •Основные определения и свойства.
- •Золь-гель технология.
- •Методы молекулярного наслаивания и атомно-слоевой эпитаксии.
- •Зондовые нанотехнологии.
- •Физические основы зондовой нанотехнологии.
- •Контактное формирование нанорельефа.
- •Бесконтактное формирование нанорельефа.
- •Локальная глубинная модификация поверхности.
- •Межэлектродный массоперенос.
- •Электрохимический массоперенос.
- •Массоперенос из газовой фазы.
- •Локальное анодное окисление.
- •Стм-литография.
- •Методы исследования наноструктур.
- •Сканирующая зондовая микроскопия.
- •Сканирующая туннельная микроскопия.
- •Атомно-силовая микроскопия.
- •Ближнепольная сканирующая оптическая микроскопия.
- •Масс-спектроскопия атомов и молекул.
- •Определения и возможности.
- •Конструкции масс-анализаторов.
- •Вторично ионная масс-спектроскопия.
- •Электронные микроскопы.
- •Просвечивающие электронные микроскопы.
- •Растровые электронные микроскопы.
- •Метод дифракции медленных электронов (дмэ).
- •Метод дифракции отраженных быстрых электронов (добэ).
- •Оже-электронная спектроскопия.
- •Фото-электронная спектроскопия.
- •Полевая эмиссионная микроскопия.
- •Эллипсометрия.
- •Конфокальная сканирующая оптическая микроскопия.
- •Радиоспектроскопия.
- •Электронный парамагнитный резонанс.
- •Ядерный магнитный резонанс.
- •Ядерный квадрупольный резонанс.
- •Рентгено-структурный анализ.
- •Метод Лауэ.
- •Метод Дебая-Шеррера.
- •Компьютерный метод дш.
Масс-спектроскопия атомов и молекул.
Предметом изучения поверхности является исследование химического состава, расположения атомов и других наночастиц на поверхности твердых тел, ее структуры, а также изучение физических и химических свойств поверхности.
Под изучаемой поверхностью будем понимать несколько верхних атомных слоев твердого тела.
Определения и возможности.
Масс-спектроскопия представляет собой прецизионный метод исследования вещества путем определения его молекулярной массы М и относительного количества ионов, образующихся в веществе. Масс-спектроскопия применяется для прецизионного определения атомарного состава образцов, изотопного анализа, молекулярного химического анализа, идентификации и установления структуры сложных органических молекул.
Масс-спектроскопия имеет также названия масс-спектрография, масс-спектральный анализ. Масс-спектроскопия возникла в первые десятилетия XX века и явилась одним из основных методов определения масс ядер.
Прецизионное измерение масс ионов осуществляется с помощью масс-спектрометров.
Масс-спектрометр является физическим прибором, служащим для разделении ионизированных частиц (атомов, молекул, кластеров) по их массам и зарядам путем воздействия электрическим и магнитным полями.
При анализе определяется масса отдельных ионов и относительное их содержание, или спектр масс.
Конструкции масс-анализаторов.
Структурная схема масс-спектрометра приведена на рис. 1.1. Штриховой линией обведена вакуумная часть прибора, обеспечивающая высокий вакуум до 10-7 Па.
Ввод исследуемого вещества происходит за пределами вакуумной системы, однако его ионизация и формирование ионного пучка происходят уже в вакуумной камере. Ионный пучок подается в масс- анализатор, в котором происходит сепарация ионов по величине m/q и фокусировка ионов в небольшом телесном угле. Приемник ионов (или коллектор) позволяет измерить ионный ток и преобразовать его в электрический сигнал. Полученный сигнал далее усиливается
Рис. 1.1. Структурная схема масс-спектрометра
Рис. 1.2. Схема статического масс-спектрометра с однородным магнитным полем: S1 - ионный источник; S2 - приемная щель; Н — область однородною магнитного ноля, перпендикулярного к плоскости рисунка; r — радиус центральной траектории ионов.
и регистрируется с одновременной фиксацией как ионного тока, так и информации о массе ионов. Обработка результатов проводится с помощью компьютера (ЭВМ).
Основным блоком системы является масс- анализатор. Различают статический и динамический типы масс-анализаторов.
В масс-анализаторе статического типа для сепарации ионов используются практически неизменные электрическое и магнитное поля. В зависимости от значения т/q ионы движутся по собственным траекториям (рис. 1.2).
Пучок сформированных ионов генерируется щелью S1 и попадает далее в магнитный сепаратор. В зависимости от соотношения т/q в сепараторе формируются однородные по массе пучки. Если теперь начать плавно изменять величину магнитного поля, в приемную шель будут последовательно попадать пучки с разными величинами m/q.
В процессе анализа ионного тока получается масс-спектрограмма (см., например, ч. 2, рис. 6,7).
Величина m/q вычисляется по формуле
m/q=4.824∙10-5∙H2∙r2/U (1.1)
где т — масса ионов, проходяших в щель S2 в атомных единицах массы; r — радиус центральной траектории в см; U— ускоряющий потенциал в вольтах; Н — напряженность магнитного поля в эрстедах.
Рис. 1.3. Принцип формирования потоков ионов во время пролетном масс-спектрометре.
В масс-анализаторах динамического типа для разделения ионов используется принцип контроля времени пролета одного расстояния атомами различной массы.
Время пролета коррелирует с величиной т/q (рис. 1.3). Пакет ионов с массами т1 и т2, движется в дрейфовом пространстве анализатора. На пути дрейфа происходит сепарация, и более легкие (белые) ионы опережают более тяжелые (черные) ионы.
В радиочастотном масс-анализаторе используется принцип синхронизации прохождения сеточных каскадов для ионов определенной массы (рис. 1.4).
Пучок ионов приобретает энергию, проходя через сеточные каскады. Ко второй сетке приложено высокочастотное поле Uвч. При фиксированной частоте ω и энергии ионов, пропорциональной напряжению Uвч , формируется поток ионов с заданным соотношением m/q со скоростью v. Они успевают на первом полупериоде ускорения проскочить между сетками 1 и 2 и в момент смены знака проходят между сетками 2 и 3 также в ускоряющем поле.
Рис. 1.4. Схема радиочастотного масс-анализатора.
Ионы других масс в этих каскадах либо тормозятся полем, либо не получают максимального ускорения.
В результате такой сепарации ВЧ-полем на коллектор попадают только ионы, масса которых определяется соотношением:
m=a∙ Uвч/S2∙ω2 (1.2)
где а — постоянная прибора, S— расстояние между сетками, Uвч — приложенный потенциал, ω— частота поля.
Перестройка на анализ других масс происходит путем изменения начальной энергии ионов напряжением Uвч или частотой поля ω.
С помощью ВЧ-поля можно также проводить сепарацию ионов по массам в квадрупольном конденсаторе.
Квадрупольный масс-анализатор состоит из квадрупольного конденсатора, на две обкладки которого подается постоянное напряжение, а на две другие — ВЧ-напряжение (рис. 1.5).
Рис. 1.5. Схема квадрупольного масс-аналиэатора: 1 — ввод пучка ионов; 2 — выходноe отверстие; 3 — траектория ионов.
Пучок ионов вводится в вакуумную камеру вдоль оси квадрупольного конденсатора. Из пучка разносортных ионов на коллектор попадают только те, масса которых удовлетворяет условию.
m=a∙U0/ω2 (1.3)
где а — постоянная прибора.
Ионы других масс колеблются в поле, и амплитуда их колебаний становится такой, что они достигают обкладок квадрупольного конденсатора и нейтрализуются. Регистрация ионов других масс осуществляется путем перестройки амплитуды U0 или частоты ω.
Существуют также магниторезонансный, ионно-циклотронный резонансный масс-анализаторы.
Статические масс-анализаторы используются для исследований, в которых требуется сочетание высокой разрешающей способности с высокой чувствительностью в широком диапазоне анализируемых масс.
Динамические масс-анализаторы (типа времяпролетных) предпочтительно использовать в исследованиях быстропротекающих процессов (до 10-3 с). Радиочастотные масс-анализаторы используются в бортовых системах, когда необходимо иметь малую массу и размеры прибора. Высокочувствительные квадрупольные масс-анализаторы используются для исследования молекулярных пучков, в то время как магниторезонансные — для измерения изотопных отношений и т. д.
Важнейшей составляющей масс-спектрометров является устройство регистрации ионных токов. Обычно ионные токи невелики и составляют ≈10-10А - 10-9 А. Коллекторы ионов сопрягаются с усилителями и вторично-электронными умножителями, которые позволяют поднять чувствительность до 10-18 А - 10-19 А. Такие устройства способны регистрировать отдельные ионы.
С помощью масс-спектрометров можно проводить локальный и послойный элементные анализы. Масс-спектральный элементный анализ поверхностного слоя играет важную роль в исследованиях в области микро- и нанотехнологии.
Масс-спектрометры с преобразованием Фурье нашли широкое применение в системах с высоким разрешением. В тонких масс-спектрометрах тепловые ионы инжектируются в ячейку анализатора, в котором они врашаются по низким орбитам. Радиус этих орбит зависит от отношения массы ионов к их заряду. Если приложить к двум из четырех квадрупольных электродов высокочастотные импульсы, то
Рис. 1.6. Масс-спектроекопия с преобразованием Фурье.
Рис. 1.7. Прямое преобразование Фурье позволяет разложить одномерный исходный сигнал (а) на сумму из четырех компонентов (б); в — частотный спектр.
ионы резонансно ускоряются и вращаются уже по более высоким орбитам. Высокочастотный сигнал, который формируется ионами, измеряется и подвергается преобразованию Фурье (рис. 1.6).
Прямое и обратное преобразование Фурье осуществляется между двумя областями, например, х — пространство или время, u — импульс или частота.
При прямом преобразовании Фурье функция F(u) преобразуется:
и обратно:
Физический смысл такого преобразования заключается в том, что энергия некоторого колебания равна сумме энергий его гармонических компонент.
На рис. 1.7а приведено некоторое колебание, представленное распределением амплитуды во времени. При условии соблюдения истинных значений фаз обратное преобразование путем сложения четырех компонентов (б) дает исходный сигнал (а). Фурье преобразование является эффективным методом снижения уровня шумов.
Заметим, что дифракционная картина любого физического объекта является Фурье-преобразованием его структуры. Поэтому масс-спектрометр с преобразованием Фурье позволяет легко преобразовать временную развертку сигнала в его масс-спектр (рис. 1.7).