Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Ми-09_2.doc
Скачиваний:
142
Добавлен:
05.06.2015
Размер:
1.85 Mб
Скачать

Возможности методов структурного анализа

В таблице приведены разрешение и толщина образца при использовании методов дифракционного структурного анализа.

Излучение

Разрешение, мкм

Толщина образца, мкм

Рентгеновские кванты

1 - 5

Любая

Электроны

0.01 – 1.00

<<1

9