- •(Половинкин А.Н., Равин А.Р.)
- •ВВЕДЕНИЕ
- •1. ПОЛЯРИЗАЦИЯ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ВОЛН
- •1.1 Поляризация плоской монохроматической волны
- •1.2 Вектор Джонса однородной плоской волны
- •Векторы Джонса для некоторых состояний поляризации
- •Декартовы векторы Джонса заданного эллиптического состояния поляризации
- •1.3 Представление поляризованного света с помощью декартовой комплексной плоскости
- •2.1 Формализм матрицы Джонса
- •2.2 Свойства матрицы Джонса и операции над ней
- •2.3 Матрицы Джонса для основных оптических устройств
- •3. ТЕОРИЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ
- •3.1 Нуль-эллипсометрия
- •3.2 Погрешности эллипсометрических измерений и усреднение по нескольким зонам
- •4. ПОЛЯРИЗУЮЩИЕ ОПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ
- •4.1 Линейные поляризаторы
- •Поляризаторы с двулучепреломлением
- •Дихроичные поляризаторы
- •Отражательные поляризаторы
- •4.2 Фазосдвигающие элементы (компенсаторы)
- •Двулучепреломляющие фазосдвигающие элементы
- •Компенсаторы, основанные на явлении полного внутреннего отражения. Ромб Френеля.
- •4.3 Деполяризаторы
- •5. ОТРАЖЕНИЕ ПОЛЯРИЗОВАННОГО СВЕТА НА ГРАНИЦЕ РАЗДЕЛА ДВУХ СРЕД
|
ìA[cos(e ) -sin(e )]cos(q -t |
0 |
) |
E |
cos(=d |
x |
) + E |
my |
sin(d |
y |
) |
(11) |
ï |
|
mx |
|
|
|
|
||||
í |
|
|
Emy cos(=dy ) - Emx sin(dx ) |
||||||||
|
ïA[cos(e ) -sin(e )]sin(q - t0 ) |
||||||||||
|
î |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Из которой делением второго уравнения на первое получаем:
q - = Emy cos(dy ) - Emx sin(dx ) (12) tg( t0 )
Сумма квадратов первого и второго уравнения подсистемы (11) дает
(13) A2 1- sin(2e) |
] |
E 2 |
+=E 2 |
+ 2E |
E |
sin(d |
y |
-d |
x |
) . |
[ |
mx |
my |
|
mx my |
|
|
|
Теперь вновь вернемся к системе (10). Сумма квадратов всех уравнений системы (10) дает нам выражение для амплитуды A:
(14) A2 = Emx2 + Emy2
Рассмотрим разности квадратов первого и четвертого уравнений системы (10) и третьего и второго:
|
ì |
2 |
|
|
2 |
(q) cos(2e ) cos |
2 |
(t0 ) - A |
2 |
sin |
2 |
(q) cos(2= e) sin |
2 |
(t0 ) |
2 |
2 |
2 |
2 |
(dy ) |
||||
(15) |
ïA cos |
|
|
|
|
|
|
|
Emx cos |
|
(dx ) - Emy sin |
|
|||||||||||
í |
2 |
sin |
2 |
(q) cos(2e ) cos |
2 |
(t0 ) - A |
2 |
cos |
2 |
(q) cos(2= e) sin |
2 |
(t0 ) |
2 |
2 |
2 |
2 |
(dx ) |
||||||
|
ïA |
|
|
|
|
|
|
|
|
Emy cos |
|
(dy ) - Emx sin |
|
||||||||||
|
î |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Разность первого и второго уравнения подсистемы (15) приводит нас к соотношению
(16) A2 cos(2e ) cos(2q ) = Emx2 - Emy2
Соотношения (12), (13), (14) и (16) позволяют нам записать следующие выражения, связывающие параметры эллиптического колебания с амплитудами и фазами компонент поля:
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
e = - |
|
1 |
|
|
|
|
æ 2Emx Emy sin(dy |
-dx ) ö |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
(17) |
|
|
|
arcsin ç |
|
|
|
|
|
|
|
|
÷ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
ç |
|
|
|
|
|
÷ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
è |
|
|
Emx + Emy |
|
|
ø |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
æ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
2 |
|
|
|
|
|
|
ö |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
(18) q = |
arccos ç |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Emx |
- Emy |
|
|
|
|
|
|
|
÷ |
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
ç |
|
|
|
(E2 |
+ E2 |
)2 |
- 4E 2 E 2 |
sin2 (d |
y |
-d |
x |
) ÷ |
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
è |
|
|
|
|
mx |
|
|
my |
|
|
|
mx |
my |
|
|
|
|
ø |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(19) |
A2 = E 2 |
+ E 2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
mx |
|
|
my |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(20) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
æ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ö |
|
|
|
|
æ |
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
2 |
|
|
|
|
ö |
|||
|
|
Emy |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
Emx - Emy |
|
|
|
|
||||||||||||
t |
|
= -arctg ç |
cos(dy ) - Emx sin(dx ) |
÷ + |
arccos |
ç |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
÷ |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||
|
0 |
ç |
E |
|
cos(d |
|
) + E |
|
sin(d |
|
) ÷ |
2 |
|
|
|
ç |
|
2 |
|
2 |
2 |
|
|
2 |
2 |
sin |
2 |
(dy |
-dx ) |
÷ |
|||||||
|
|
è |
|
mx |
|
x |
|
|
my |
|
|
y |
ø |
|
|
|
|
è |
|
(Emx |
+ Emy ) |
|
- 4Emx Emy |
|
ø |
Таким образом, нами доказано, что плоская монохроматическая волна в общем случае обладает эллиптической поляризацией. Можно показать, что это справедливо для любой монохроматической волны. Связь параметров эллипса поляризации с амплитудами и фазами x- и y-компонент поля задается выражениями (17)-(19). Важно отметить, что параметры, характеризующие форму и ориентацию эллипса (e q ) определяются значением амплитуд и разностью фаз между компонентами поля. Сами значения начальных фаз влияют только на абсолютную фазу t0 , характеризующую начальное положе-
r
ние вектора E .
1.2 Вектор Джонса однородной плоской волны
8
Из электродинамики известно, что однородная плоская монохроматическая электромагнитная волна может быть записана в комплексной форме:
|
ì |
& |
×e |
i(wt -kz) |
|
ïEx |
= Emx |
|
|
(21) |
í |
& |
×e |
i(wt -kz ) |
|
ïEy |
= Emy |
|
|
|
î |
|
|
|
& |
= Emx ×e |
idx |
& |
= Emy ×e |
idy |
где Emx |
, |
Emy |
- комплексные амплитуды соответст- |
вующих компонент поля. Как и прежде будем рассматривать плоскость z = 0 . Вся информация о волне содержится именно в комплексных амплитудах компонент поля. По-
этому для компактного описания однородных монохроматических плоских волн удобно ввести вектор Джонса, определяемый следующим выражением:
r |
é |
& |
ù |
|
Emx |
|
|
(22) E = ê |
& |
ú |
|
|
êEmy |
ú |
|
|
ë |
|
û |
Для перехода от комплексного представления полей к действительному, следует вос-
становить временную зависимость, умножив вектор Джонса на eiwt , и взять действительные части его компонент.
При повороте системы координат вектор Джонса преобразуется, как и любой другой вектор, с помощью матрицы поворота (6):
rr
(23)E ' = R(a)E
Рассмотрим как выражается интенсивность электромагнитной волны через вектор Джонса. В дальнейшем рассмотрении нас нигде не будет интересовать абсолютная интенсивность волны, поэтому используем следующее определение интенсивности поля, опускающее постоянный множитель:
(24) I = |
|
& |
|
2 |
+ |
|
& |
|
2 |
&* & |
&* & |
|
|
|
|
||||||||
|
Emx |
|
|
|
Emy |
|
|
=Emx Emx |
+ Emy Emy |
С помощью вектора Джонса интенсивность может быть записана как
r r
(25) I = E+ E
r
где E+ - эрмитово-сопряженный вектор Джонса. Матрицей эрмитово-сопряженной данной, называется матрица, комплексно-сопряженная транспонированной матрице,
r+ |
é & |
& |
ù |
- вектор-строка. |
|
|
следовательно E |
= ëEmx |
Emy û |
|
|||
Волна с единичной интенсивностью называется нормированной, |
ее вектор |
|||||
Джонса - нормальным. Такой вектор удовлетворяет условию |
|
|||||
|
|
|
|
r |
r |
|
|
|
|
|
(26) E |
+ E =1 |
|
rr
Говорят, что два вектора E1 и E2 ортогональны, если они удовлетворяют условию
r |
r |
r |
r |
+ = 0 |
(27) E E + = E E |
||||
1 |
2 |
2 |
1 |
где крестиком (+), как и раньше, обозначены эрмитово-сопряженные величины. Эллипсы поляризации, соответствующие двум ортогональным векторам Джонса,
характеризуются равными по величине, но противоположными по знаку значениями эллиптичности, и их главные оси взаимно перпендикулярны.
rr
Если векторы E1 и E2 не только взаимно ортогональны, но и нормальны, т.е. каж-
r r
дый из них удовлетворяет условию (26), то пара векторов Джонса E1 и E2 называется ортонормальной парой векторов.
9
Любой вектор Джонса вида (22) можно представить в виде линейной комбинации двух ортогональных векторов Джонса
|
|
|
|
r |
r |
r |
|
|
r |
r |
|
|
(28) E = E1e1 |
+ E2e2 |
|
r |
|
|
|
|
|
r |
, |
|||
e1 |
, e2 |
играют роль базисных векторов, подобно тому как x0 |
y0 играют роль базисных |
|||||
|
|
r |
r |
r |
|
|
|
|
векторов в соотношении r |
= xx0 |
+ yy0 . Полное пространство векторов Джонса сканиру- |
||||||
ется, |
когда пара комплексных чисел E1 и E2 |
принимает все возможные значения; по- |
добным же образом компоненты x и y положительного вектора rr , принимая все возможные действительные значения, пробегают все точки плоскости в реальном пространстве. Состояния поляризации, которые соответствуют базисным векторам Джонса
r r
e1, e2 , называются базисными состояниями поляризации, для пространства векторов
Джонса.
Отметим, что базисные вектора Джонса в общем случае соответствуют ортогональным эллиптическим поляризациям. Это означает, что любое произвольное состояние поляризации может быть разложено на сумму двух эллиптических(в частных случаях линейных или круговых) состояний поляризации.
Отметим, что в базисные векторы Джонса в общем случае соответствуют ортогональным эллиптическим поляризациям. Это означает, что любое произвольное состояние поляризации может быть представлено в виде линейной комбинации двух эллиптических (в частных случаях линейных или круговых) поляризаций. Выбор того или иного базиса диктуется соображениями удобства описания взаимодействия излучения с поляризующими оптическими элементами. Так, например, если мы имеем дело с оптически активной средой, в которой при распространении света имеет место вращение плоскости поляризации, то в качестве базиса удобно выбирать так называемые круговые базисные векторы, соответствующие двум ортогональным круговым поляризациям.
В дальнейшем мы будем иметь дело только с декартовыми базисными векторами Джонса, которые соответствуют линейным базисным поляризациям.
Векторы Джонса для некоторых состояний поляризации
Приведем векторы Джонса для некоторых типичных состояний поляризации. Например, вектор Джонса
ré1 ù
(29)Ex = ê ú ë0û
описывает линейно-поляризованную волну, электрический вектор которой совершает простое гармоническое колебание вдоль оси х с единичной амплитудой(А = 1) и нулевой начальной фазой (6 = 0). Аналогично вектор Джонса
ré0ù
(30)Ey = ê ú ë1 û
описывает линейно-поляризованную волну, электрический вектор которой совершает простое гармоническое колебание вдоль оси у с единичной амплитудой и нулевой начальной фазой. Выражения (29) и (30) описывают пару ортогональных линейнополяризованных волн, каждая из которых имеет единичную интенсивность. В случае произвольной линейной поляризации волны электрический вектор колеблется вдоль направления X' в плоскости волнового фронта, причем азимутальный угол междуX' и
10
фиксированным направлением оси X равен a . Для такой волны вектор Джонса имеет вид
r |
écosa ù |
|
(31) Ex ' |
= ê |
ú |
|
ësina û |
причем линейное колебание снова имеет нулевую начальную фазу и единичную амплитуду. Состояние линейной поляризации, ортогональное состоянию, представленному выражением (29), .получаем, производя подстановку a ® a -p / 2 :
r |
ésina |
ù |
(32) Ey ' |
= ê |
ú |
|
ë-cosa û |
Индекс Y' указывает на то, что линейное колебание направлено вдоль осиY', которая ортогональна оси X'. (Ортогональная пара Ex , Ey описываемая соотношениями
(29-30), очевидно, представляет собой частный случай ортогональной парыEx ' , Ey ' ,
описываемой соотношениями (31-32), соответствующий a = 0 .)
Рис. 2. Векторы Джонса для некоторых состояний поляризации.
Другая пара ортогональных волн, представляющая интерес, –– это волны с левой и правой круговой поляризацией, или лево- и правоциркулярно поляризованные волны, векторы Джонса которых имеют следующий вид:
r |
1 |
|
|
é1 ù |
||||
(33) E = |
|
|
|
ê ú |
||||
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|||||
l |
2 |
|
||||||
r |
|
ë-iû |
||||||
1 |
|
é1ù |
||||||
(34) Er = |
|
|
ê ú |
|||||
|
|
|
|
|
||||
2 |
||||||||
|
|
|
ëi û |
Векторы El и Er построены из линейных колебаний вдоль координатных осей х и, у
имеющих равные амплитуды 1/ 2 и сдвинутых по фазе наp / 2 , относительно друг друга. В случае левоциркулярного состояния поляризацииy-компонента запаздывает по фазе на p / 2 относительно x-компоненты, тогда как в случае правоциркулярного состояния (y-компонента опережает x-компоненту на p / 2 ).
11