- •(Половинкин А.Н., Равин А.Р.)
- •ВВЕДЕНИЕ
- •1. ПОЛЯРИЗАЦИЯ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ВОЛН
- •1.1 Поляризация плоской монохроматической волны
- •1.2 Вектор Джонса однородной плоской волны
- •Векторы Джонса для некоторых состояний поляризации
- •Декартовы векторы Джонса заданного эллиптического состояния поляризации
- •1.3 Представление поляризованного света с помощью декартовой комплексной плоскости
- •2.1 Формализм матрицы Джонса
- •2.2 Свойства матрицы Джонса и операции над ней
- •2.3 Матрицы Джонса для основных оптических устройств
- •3. ТЕОРИЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ
- •3.1 Нуль-эллипсометрия
- •3.2 Погрешности эллипсометрических измерений и усреднение по нескольким зонам
- •4. ПОЛЯРИЗУЮЩИЕ ОПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ
- •4.1 Линейные поляризаторы
- •Поляризаторы с двулучепреломлением
- •Дихроичные поляризаторы
- •Отражательные поляризаторы
- •4.2 Фазосдвигающие элементы (компенсаторы)
- •Двулучепреломляющие фазосдвигающие элементы
- •Компенсаторы, основанные на явлении полного внутреннего отражения. Ромб Френеля.
- •4.3 Деполяризаторы
- •5. ОТРАЖЕНИЕ ПОЛЯРИЗОВАННОГО СВЕТА НА ГРАНИЦЕ РАЗДЕЛА ДВУХ СРЕД
действует как четвертьволновая пластина. Ахроматизм ромба Френеля делает его весьма удобным для спектроскопической эллипсометрии.
4.3 Деполяризаторы
Деполяризаторы представляют собой устройства, функциональное назначение которых заключается в разупорядочении состояния поляризации светового пучка. В идеальном случае они могут преобразовывать поляризованный либо частично поляризованный свет в неполяризованный (естественный) свет. Практически это условие невыполнимо, хотя приемлемую деполяризацию можно получить, например, с помощью толстой пластинки материала с сильным двулучепреломлением, толщина которой флюктуирует по сечению пучка света. В этом случае световой пучок поляризуется в каждой точке своего сечения, но поляризация меняется от точки к точке случайным образом; в результате суммирования по сечению пучка мы получаем удовлетворительную деполяризацию. Одним из примеров «псевдодеполяризатора» такого типа может служить клин из кристаллического кальцита.
Деполяризаторы устанавливаются в эллипсометре до и после основных элементов оптической схемы. Деполяризатор, помещенный между источником света и эллипсометром, исключает влияние поляризации источника, а деполяризатор, помещенный перед фотоприемником устраняет влияние поляризации падающего света на чувствительность приемника.
34