Лекция_6
.pdf
41
Негативные (темнопольные)
Позитивные (светлопольные)
Типы фотошаблонов |
Металлизированный |
Транспарентный (цветной)
Эмульсионный
42
Изготовление фотошаблонов
Для изготовления фотошабло нов необходимо прежде всего изготовить фотооригинал в увеличенном масштабе от 200:1 до 1000:1.
Как правило, это осуществляют на основе вырезания рисунка в двухслойной пленке, состоящей из прочной белой основы к тонкого окрашенного покрытия. Это покрытие подрезается на координатографе
резцом в соответствии с топологией будущего фотооригинала и удаляется с необходимых участков основы. Точность переноса рисунка на координатографе составляет приблизительно 50 мкм. Фотооригинал необходимо выполнять в таком увеличенном масштабе, чтобы обеспечить необходимую точность фотошаблона около 0,25 мкм.
43
Координатограф автоматический
44
Затем производят десятикратное уменьшение фотооригинала оптическим путем с помощью репродукционной камеры, объектив которой должен иметь соответствующую высо кую разрешающую способность.
В дальнейшем при изготовлении фотошаблона фотоорнгннал уменьшается еще раз до масштаба 1:1 и многократно повторяется на фотошаблоне в соответствии с числом микросхем на пластине. Это ступенчатое, повторяющееся экспонирование фотошаблона
осуществляют с помощью мультипл кационных камер, называемых также
фотоповторителями.
Однако, как правило, современны е фотошаблоны изготавливаются на
фотоплоттерах с разрешением о т 2000 до 16000 точек на дюйм, реже на типографских фотонаборных уст ройствах, получающих входные дан-
ные в формате Postscript.
45
Фотоплоттер
Схема оптического плоттера LaserGrover:
1– лазер,
2– оптическая система,
3– оптоволоконные линии,
4– опторатор,
5– оптическая линейка.
46
47
Фотоплоттеры делятся на два вида — векторные и растровые. По виду основания, на котором закрепляется фотопленка, различают фотоплоттеры с барабанным и плоским держателями. Перспективы по-
следних связывают с возможностью п рямого экспонирования фоторезиста без использования фотошаблона. Первые проще в реализации и наиболее распространены, однако точность выполнения фотошаблона здесь зависит от разброса толщины ф отопленки.
48
Фотоплоттеры
Векторные.
Строят изображение из комбинации "мазков"и "точек", формируемых световым пятном. Набор апертур позволяет плоттеру прорисовывать проводники различной ширины, контактные площадки различной формы и многое другое.
Растровые.
Не используют систему
фиксированных апертур. Они
читают Gerber-файл, хранящий изображение всего чертежа, формируют его растровое изображение и выводят на пленку построчно с помощью матрицы миниатюрных лазерных светодиодов, почти аналогично тому, как формируется изображение на экране телевизора.
49
Качество изготовл ения фотошаблона
Проверить качество фотошаблона можно с помощью измерительного инструментального микроскопа и денситометра – прибора для измерения оптической плотности изображения на темных и светлых участках фотошаблона
50