- •Новосибирский государственный технический уНиверситет
- •В.А. Илюшин
- •V курса факультета рэф по специальностям
- •200100 «Микроэлектроника и твердотельная электроника»
- •Глава 1 Тепловизионные системы
- •Глава 2 Принципы построения тепловизионных систем
- •2.1. Предельные характеристики приемных систем
- •2.2. Приемники излучения с накоплением сигнала
- •2.3. Расчет параметров приемных систем
- •2.3.1. Сканирующие системы
- •2.3.2. Несканирующие системы
- •2.4. Конфигурации матричных фпу
- •Глава 3 Основные характеристики фотонных приемников
- •3.1. Примесный фоторезистор
Глава 3 Основные характеристики фотонных приемников
Фотонные приемники, используемые в ИК-системах, должны удовлетворять определенным требованиям.
1. Спектральная область фоточувствительности приемного устройства задается неравенством и определяется энергией возбуждения электронов в фоточувствительном материале. Для собственных и примесных фотоприемников , где измеряется в микрометрах, а – в электроновольтах. Для приемников на диодах Шотки 1,24, где о – высота потенциального барьера, равного разности между работой выхода металла и электронным средством полупроводника.
2. Максимальная рабочая температура, до которой необходимо охлаждать фотонный приемник излучения, определяется требованием, чтобы приемник работал в режиме, когда его характеристики определяются фоновым излучением (режим ограничения фоном-ОФ).
3. Для работы приемника в режиме ОФ необходимо, чтобы джонсоновский шум был пренебрежимо мал по сравнению с генерационно-рекомбинационным фоновым шумом.
4. Для того чтобы приемник, работающий в режиме ОФ, имел наилучшие пороговые характеристики, необходимо, чтобы квантовая эффективность преобразования излучения была наибольшей, близкой к единице.
Условия 1 и 4 достаточно очевидны, поэтому рассмотрим более детально только условия 2 и 3.
Оптимальной рабочей температурой приемников ИК-излучения является такая температура чувствительного элемента, которая обеспечивает достижение наилучших параметров приемной системы для заданных условий применения и в первую очередь – наилучшую пороговую чувствительность. Наилучшая пороговая чувствительность достигается при реализации наименьшего из возможных уровней шума. Принципиально неустранимым шумом полупроводниковых фотоприемников является генерационно-рекомбинационный шум. Другие шумы тем или иным способом могут быть либо устранены полностью, либо существенно уменьшены. По этой причине оптимальной рабочей температурой приемника излучения является такая температура, при которой генерационно-рекомбинационный шум имеет наименьшее значение.
3.1. Примесный фоторезистор
Суммарный шум фоторезистивного приемника излучения, отнесенный к единичной полосе частот , описывается выражением
(25)
где – заряд электрона; – интенсивность потока фотонов, попадающих на приемную площадку чувствительного элемента; – скорость оптической генерации носителей заряда в фоточувствительном элементе; – площадь чувствительного элемента приемника; – коэффициент фотоэлектрического усиления, равный числу электронов тока во внешней цепи, отнесенному к одному поглощенному фотону; – скорость термической генерации свободных носителей заряда в объеме фоторезистора; – толщина фоточувствительного элемента в направлении распространения излучения; – внутреннее сопротивление фоторезистора; – постоянная Больцмана [2, гл. 4.1.3].
Первое слагаемое в (25) учитывает генерационно-реком-бинационный шум, возникающий при оптической генерации свободных носителей тока; второе слагаемое – генерационно-рекомбинационный шум при термической генерации; третье слагаемое – джонсоновский шум.
Токовая чувствительность с учетом коэффициента фотоэлектрического усиления
(26)
Из (6), (25) и (26) следует, что приведенная обнаружительная способность фоторезистора равна
. (27)
В условиях, когда шум фотоприемника определяется только генерационно-рекомбинационным шумом
. (28)
принятое допущение соответствует выполнению условия пункта 3, то есть
. (29)
Для примесных резисторов оно обычно справедливо, так как их темновое сопротивление при низких температурах очень велико. Примесный резистор, как правило, используется в схемах с малым нагрузочным сопротивлением, и при уменьшении шума фоторезистора джонсоновский шум нагрузочного сопротивления начинает проявляться ранее, чем джонсоновский шум темнового сопротивления фоторезистора.
Скорость термической генерации свободных носителей тока в примесном фоторезисторе (предположим для определенности, что фоторезистор изготовлен из полупроводника с дырочной проводимостью)
, (30)
где – концентрация свободных дырок; – время жизни дырок; , – концентрации акцепторов и доноров соответственно; – эффективная плотность состояний в валентной зоне; – коэффициент рекомбинации дырок; – фактор вырождения акцепторных уровней; – энергия ионизации акцепторной примеси; – постоянная Больцмана; – температура чувствительного слоя.
Таким образом, для примесного фоторезистора приведенная обнаружительная способность в условиях, когда шум фотоприемного устройства определяется генерационно-рекомбина-ционным шумом, равна
(31)
Как видно из (31), при высоких температурах преобладает первое слагаемое в подкоренном выражении и фотоприемник работает в режиме, при котором его обнаружительная способность определяется скоростью тепловой генерации свободных носителей заряда, является функцией температуры. С понижением температуры интенсивность термической генерации падает, первое слагаемое подкоренного выражения уменьшается, значение увеличивается. При низких температурах преобладает второе слагаемое, обнаружительная способность в первом приближении от температуры не зависит и определяется лишь интенсивностью фонового излучения. В этих условиях приемник работает в режиме ограничения фоном (режим ОФ или BLIP-режим) и .
График зависимости от температуры приведен на рис. 5.
Рис. 5. Зависимости D от температуры для примесного
фоторезистора из Ge(Hg) (1)
и собственного фоторезистора из сплава HgCdTe (2)
при различных интенсивностях фонового излучения,
определяемых апертурным углом
В качестве оптимальной температуры приемника можно принять температуру, при которой скорости оптической и термической генераций носителей равны. Приравнивая слагаемые в подкоренном выражении (31), находим:
(32)
При оптимальной температуре приведенная обнаружительная способность в раза меньше максимально возможного значения
.
Основным фактором, определяющим температуру , является энергия ионизации примесного уровня . Чем меньше энергия ионизации и больше длинноволновая граница фоточувствительности , тем ниже оптимальная рабочая температура . С учетом из (32) можно получить
. (33)
Оптимальная рабочая температура тем выше, чем больше уровень фоновой засветки . При повышении уровня фоновой засветки не только уменьшается абсолютная величина приведенной обнаружительной способности, но и увеличивается температура, при которой приемник выходит в режим ОФ. Значение зависит от характеристик полупроводникового материала, из которого изготовлен чувствительный элемент, и в первую очередь – от коэффициента рекомбинации . От концентрации примеси значение не зависит, так как и, следовательно, в правую часть уравнения (33) концентрация примеси не входит.
Для повышения рабочей температуры следует использовать полупроводниковый материал с наименьшим коэффициентом рекомбинации. Среди всех известных механизмов рекомбинации носителей заряда в полупроводниках наиболее важными являются излучательная рекомбинация, оже-рекомбинация и рекомбинация с испусканием фононов. Минимальное достижимое значение и соответственно предельное (максимальное) значение определяются процессом излучательной рекомбинации. Естественно, данное предельное значение соответствует заданным условиям эксплуатации, то есть диапазону длин волн и уровню фоновой засветки .