- •§6.3. Газоразрядные источники
- •§6.4. Лазеры
- •§6.5. Светодиоды
- •Глава V. Приёмники излучения §7.1. Классификация приёмников излучения, интегральные приёмники излучения
- •§7.2. Характеристики фотоприёмников
- •§7.3. Фотоэлементы с внешним фотоэффектом
- •§7.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом
- •§ 8.2. Метод определения толщины эпитаксиальных слоёв по окрашиванию шлифа
- •Литература
§7.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом
Фоторезисторы представляют собой полупроводниковую пластину с контактами, которая при освещении уменьшает своё сопротивление в результате внутреннего фотоэффекта. Спектральные характеристики фоторезисторов определяются свойствами используемых полупроводниковых материалов.
На рис. 7.4 показаны спектральные характеристики фоторезисторов из сернистого свинца (тип ФС-А) – кривая 1, из селенида кадмия (тип ФС-Д) – кривая 2, из поликристаллов сернистого кадмия (тип ФС-К) – кривая 3 и монокристаллов сернистого кадмия (тип ФС-КМ) – кривая 4.
Фоторезисторы характеризуются краткостью изменения сопротивления под действием света , которая для различных типов резисторов лежит в пределах 1,210. Постоянные времени фоторезисторов составляют 10-210-5 с. Порог чувствительности фоторезисторов определяется дрейфом темнового сопротивления и шумами различных видов.
Характеристики фоторезисторов сильно зависят от температуры. Темновое сопротивление и чувствительность с ростом температуры уменьшаются, а инерционность увеличивается.
Фотодиоды и фототранзисторы. Фотодиоды могут работать в двух режимах – фотогенераторном и фотодиодном. В фотогенераторном режиме источник внешнего напряжения отсутствует. В фотодиодном режиме к фотодиоду прикладывается внешнее напряжение. При отсутствии облучения под действием этого напряжения проходит лишь небольшой темновой ток, а при освещении p – n перехода ток увеличивается в зависимости от интенсивности излучения. На рис. 7.5 показаны спектральные характеристики кремниевых (кривая 1) и германиевых (кривая 2) фотодиодов. Частотный диапазон фотодиодов лежит в пределах 0.11 МГц. Специальные фотодиоды имеют частотный диапазон до 109 Гц. Интегральная чувствительность фотодиодов составляет 320 .
В фототранзисторе совмещены фотодиод и усилитель тока. Интегральная чувствительность фототранзисторов составляет 70100 . Некоторые типы фотодиодов ФД-1, ФД-9К, фототранзисторов ФТ-1К, ФТК-3.
Фотоварикапы. Принцип действия фотоварикапа основан на изменении ёмкости p–n перехода при действии потока оптического излучения.
Глава VШ. Оптические методы контроля, применяемые
в производстве интегральных схем
§8.1. Контроль качества полированных поверхностей по
картинам отражения лазерного света
К ачество полированных поверхностей обычно контролируют с помощью микроскопов, например МИМ - 7 или МИМ - 4. Однако микроскопы имеют малое поле зрения, что не позволяет контролировать всю пластину и отдельные протяжённые виды дефектов – плавные неровности, завалы по краям при химической полировке и т.д.
Контроль таких дефектов можно осуществлять освещая поверхность параллельным или расходящимся лучом лазера и анализируя визуально картины отражения лучей от полированной поверхности. Схема лазерной установки, применяемой для этой цели показана на рис. 8.1. Луч лазера 1 проходит через расширяющую систему 2 и полупрозрачное зеркало 3 и отражаясь от полупроводниковой пластины 4, лежащей на поглощающем основании, а затем и от зеркала 3 попадает
на экран 6. При освещении полированных поверхностей когерентным светом изгибы, перекосы, неровности отражают лучи под разными углами, что приводит к интерференции. Возникающая при этом интерференционная картина хорошо заметна и однозначно связана с конкретным видом дефектов поверхности.
Такой метод контроля качества полированных пластин реализуется на установках УКП – 1 и УКП – 2, в которых вместо экрана 6 установлена передающая трубка телевизионной системы, а изображение получается на экране видеоконтрольного устройства.
Если между полупрозрачным зеркалом 3 и пластиной 4 ввести эталонный оптический клин, то такая установка может быть использована для измерения прогиба полупроводниковых пластин. Поверхность пластины 4 с помощью юстировочных винтов (на рисунке 8.1 не показаны) устанавливается параллельно нижней поверхности эталонного клина. На экране видеоконтрольного устройства при этом наблюдаются кольца интерференции. Каждое кольцо соответствует половине длины волны (~0,32 мкм). Суммарный прогиб при этом равен произведению на число наблюдаемых колец.