Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
ПЛАН ЭТМО-34.doc
Скачиваний:
6
Добавлен:
13.08.2019
Размер:
477.18 Кб
Скачать
    1. Практические занятия

Содержание

Маршрутные и операционные карты технологии производства гибридных интегральных микросхем

Обеспечение тепловых режимов функционирования ИМС

Технология полупроводниковых микросхем на МДП-транзисторах.

Операции легирования в технологии микроэлектроники

Расчёт профиля распределения примеси при ионном легировании

Расчёт параметров процесса термического окисления кремния

Расчёт параметров процесса эпитаксиального наращивания

Расчёт параметров процесса диффузии при формировании структурных областей микросхем

    1. Лабораторные занятия

Содержание

  1. 1

Изучение материалов, деталей, элементов и конструкций интегральных схем.

Интернет -ресурсы

ЭР1-4

  1. 2

Конструкции полупроводниковых интегральных схем.

Интернет -ресурсы

ЭР1, 3, 4

  1. 3

Эпитаксиально-планарная техология

Интернет -ресурсы

Видеоматериалы

ЭР5, 6, 12, 13, 14

  1. 4

Технология полупроводниковых микросхем с диэлектрической и комбинированной изоляцией.

Интернет -ресурсы

ЭР1-4

  1. 5

Технология полупроводниковых микросхем на МДП-транзисторах.

Интернет -ресурсы

ЭР1-4

Видеоматериалы

ЭР5, 6

  1. 6

Тонкопленочная технология

Интернет -ресурсы

ЭР1-4

Видеоматериалы

ЭР7, 8

  1. 7

Толстопленочная технология.

Интернет -ресурсы

ЭР1, 3, 4

Видеоматериалы

ЭР7, 9

  1. 8

Технология сборки и монтажа бескорпусных полупроводниковых БИС.

Интернет -ресурсы

ЭР1-4

Видеоматериалы

ЭР15, 16, 17, 18

  1. 9

Прием защит лабораторных работ .

Все лабораторные работы 4-х часовые, занятие 9-2х часовое.

Интернет -ресурсы

ЭР1-4