- •Технологія одержання і застосування плівКових матеріалів
- •Проценко і.Ю., Шумакова н.І.
- •© І.Ю.Проценко, н.І Шумакова, 2008
- •Передмова...................................................................................... 7
- •Конструкції термовипарників та їх застосування……… 19
- •Передмова
- •1 Основи термодинаміки та кінетичної теорії газів
- •Рівноважний тиск пари
- •1.2 Розподіл атомів пари за швидкостями
- •1.3 Механізми випаровування рідин та твердих тіл
- •2 Конструкції термовипарників та їх застосування
- •2.1 Загальна інформація
- •2.2 Випаровування із дротів та металевої фольги
- •2.3 Випаровування із тиглів, матеріали тиглів
- •2.4 Випаровування матеріалів електронно-променевими методами
- •3 Вакуумно-плазмова технологія
- •4 Плазмові випарники
- •4.1 Випарники з випаровуванням матеріалу катода
- •4.2 Вакуумно-дугові випарники
- •4.3 Випарники з випаровуванням матеріалу анода
- •4.4 Електронно-променеві випарники
- •5 Метод іонного та реактивного розпилення
- •5.1 Іонне розпилення
- •5.2 Реактивне розпилення
- •6 Особливості випаровування сплавів та хімічних сполук
- •7 Методи контролю товщини плівок
- •7.1 Мікрозважування
- •7.2 Метод кварцового резонатора
- •7.3 Оптичні методи
- •7.4 Інші методи
- •8 Характеристика елемента карбону
- •9 Класифікація алотропів карбону
- •10 Фізичні властивості алотропів карбону
- •11 “Метастабільність алмазу” та шляхи його одержання
- •12 Хімічний синтез алмазу
- •13 До історії розвитку хімічного синтезу алмазу
- •14 Методи одержання алмазоподібних плівок
- •14.1 Термохімічні методи осадження
- •14.2 Електророзрядні методи
- •14.3 Комбіновані розряди
- •14.4 Методи одержання апп на атмосфері
- •15 Методи одержання гідрогенезованих
- •16 Методи одержання ультрадисперсних алмазів (уда) і наноалмазів (на)
- •17 Методи одержання
- •18 Хімічний склад і кристалічна структура
- •18.1 Нітрид титану
- •18.2 Карбід вольфраму
- •Задачі та вправи
- •19 Уявлення про адатом, кластер та критичний зародок
- •20 Залежність розміру критичного зародка від матеріалу плівки та підкладки
- •21 Механізми конденсації плівок, їх узагальнена діаграма
- •22 Чотири стадії росту плівки
- •22.1 Утворення острівців
- •22.2 Коалесценція острівців
- •22.3 Утворення каналів
- •22.4 Утворення суцільної плівки
- •23 Критична товщина і критична температура конденсації
- •24 Утворення дефектів у процесі росту плівки
- •24.1 Дислокації
- •24.2 Межі зерен
- •24.3 Шорсткість та пористість конденсатів
- •25 Епітаксіальний ріст плівок
- •25.1 Зародження епітаксіальних частинок
- •25.2 Механізми епітаксіального росту
- •26 Змінювання параметра решітки, псевдоморфний ріст плівок
- •27 Види спряжень кристалів при епітаксіальному рості
- •28 Субструктура полікристалічних плівок
- •29 Нанокристалічні та аморфні матеріали
- •30 Внутрішні макронапруження в конденсатах
- •30.1 Вплив температури підкладки
- •30.2 Причина виникнення макронапружень у
- •30.3 Вплив товщини плівок, швидкості конденсації та термообробки
- •30.4 Розрахунок величини st
- •30.5 Методи вимірювання s
- •Вплив іонного бомбардування підкладки на властивості плівок
- •32 Процес старіння в тонких плівках
- •Датчики температури із платини та нікелю
- •Термопари
- •Терморезистори із від’ємним і додатним
- •Кремнієві датчики
- •37 Датчики на основі металевої плівки
- •38 Термокондуктометричні та термохімічні
- •39 Тонкоплівкові газові датчики
- •40 Датчики вологості
- •41 Уявлення про тензоефект
- •42 Перетворення деформації тензорезистором
- •43 Передача деформації чутливому елементу
- •44 Металеві тензодатчики
- •45 Напівпровідникові та полімерні тензорезистори
- •46 Магніторезистивні датчики
- •47 Датчики Холла
- •Технологія одержання і застосування плівкових матеріалів
38 Термокондуктометричні та термохімічні
комірки
ГД у вигляді термокондуктометричної комірки придатний для виявлення H2, CO2, SO2, а також горючих і вибухонебезпечних газів. Принцип роботи її полягає в такому (рис. 3.8). Проба газу дифундує до вимірювальної камери, в якій міститься дротяна спіраль (Pt чи Ni), при температурі, приблизно на 40оС більший за температуру середовища.
Якщо склад газової проби буде змінюватися з якоїсь причини, то зміниться також тепловідвід від спіралі до стінок камери, що обумовить нагрівання або охолодження спіралі. У випадку, наприклад, СО2, відбувається підвищення температури, оскільки теплопровідність цього газу незначна, в той час як у випадку Н2 спіраль охолоджується. Нагрівання чи охолодження спіралі веде до зміни її опору, яка зіставляється у вимірювальному мості з опором еталона, розміщеного в порівняльній камері. Сигнал ГД визначається зміною теплопровідності газової суміші. Цей простий метод індикації має істотний недолік, оскільки однаковий тепловий ефект може бути обумовлений змішуванням різних газів, але в різних кількостях.
Рисунок 3.8 – Термокон-дуктометрична вимірюва-
льна комірка: 1 – вимірю-
вальна камера; 2 – порівняльна камера; 3 – газова проба; 4 – спіраль; 5– корпус
З огляду на це - застосування названого датчика обмежується аналізом лише бінарної суміші заздалегідь відомих газів.
Таблиця 3.7 дає уявлення про інтервал концентрацій, в якому працює термокондуктометричний газовий датчик. У таблиці 3.8 подано інформацію про відносну теплопровідність деяких газів порівняно з повітрям при 0 і 100оС. Підкреслимо, що чим більша відмінність у теплопровідності газу і повітря, тим точніше можна проаналізувати цей газ. Згідно з даними таблиці 3.8 така максимальна відмінність спостерігається у випадку гелію і водню.
Таблиця 3.7 - Інтервали вимірювання концентрації
деяких газів
Газ |
Стандартний діапазон, % |
Мінімальний діапазон, % |
CO2 |
0-100 |
0-5 |
SO2 |
0-100 |
0-5 |
H2 |
0-100 |
0-1 |
Таблиця 3.8 - Відносна теплопровідність деяких газів
Газ |
Аце-тон |
Ar |
Cl |
He |
H2 |
NO2 |
|
Віносна телопровідність,% |
0оС |
0,41 |
0,68 |
0,32 |
5,93 |
7,10 |
0,63 |
100оС |
- |
0,96 |
- |
5,54 |
6,72 |
0,75 |
|
Газ |
CO2 |
CO |
СН4 |
O2 |
N2 |
|
|
Віносна теплопровідність,% |
0оС |
0,50 |
0,96 |
1,26 |
1,02 |
1,00 |
|
100 оС |
0,64 |
0,97 |
1,41 |
1,01 |
0,98 |
|
На відміну від термокондуктометричної комірки, термохімічна (каталітична) забезпечує лише контроль горючих газів (у першу чергу - СО) в повітрі та продуктах горіння автомобілів. Схематична будова її зображена на рисунку 3.9. Термохімічна комірка має дві вимірювальні спіралі із Pt, які входять у вимірювальний міст із двома постійними опорами R2 i R4. Одна спіраль покривається шаром активного, а інша - пасивного каталізатора. У результаті СО буде реагувати з киснем повітря на активному каталізаторі, утворюючи СО2. Теплота, яка виділяється внаслідок цієї реакції, призведе до збільшення опору спіралі, а в результаті – до розбалансу моста. Маючи криву градуювання сили струму І від концентрації, можна досить точно визначити вміст СО у газовій пробі. Відмітимо, що на тепловому ефекті також базується принцип роботи елек-трохімічної (топливної) комірки для виявлення О2.
Рисунок 3.9 – Термохімічна комірка: 1 - пасивний каталізатор; 2 - активний каталізатор; 3 - газова проба; 4 – металокераміка; 5 - корпус