- •4 Анализ состояния процесса «диффузия фосфора в эмиттер» изделия 78 хх на основе мониторинга значений выходных параметров
- •4.1 Анализ состояния процесса на основе мониторинга значений статического коэффициента передачи тока h21э
- •Вычисляем средний скользящий размах
- •Подставляем значения в формулы (4.1) и (4.2) получаем
- •Подставляя требуемые значения в формулы (4.3) и (4.4), получаем
- •4.2 Анализ состояния процесса на основе мониторинга значений uэб
- •Продолжение таблицы 4.3
- •Подставляя полученные значения в формулы (4.1) и (4.2), получаем:
- •Продолжение таблицы 4.4
- •Подставляем значения в формулы (4.3) и (4.4) получаем
- •Продолжение таблицы 4.5
- •Подставляем полученное значениев формулы (4.1) и (4.2), получаем
- •Продолжение таблицы 4.6
Продолжение таблицы 4.6
Наименование показателя |
Значение для подгруппы | ||||||||||||
113 |
114 |
115 |
116 |
117 |
118 |
119 |
220 |
221 |
222 |
223 |
224 |
225 | |
RS |
6365 |
4426 |
4362 |
4428 |
4458 |
4363 |
4467 |
4445 |
4470 |
4418 |
1250 |
1112 |
1273 |
44,1 |
44,15 |
44,2 |
44,1 |
44,1 |
44,2 |
44,25 |
44,15 |
44,0 |
44,25 |
44,4 |
44,2 |
44,25 | |
Скользящий размах R |
00,05 |
00,05 |
00,05 |
00,1 |
40 |
00,1 |
00,05 |
00,1 |
00,15 |
00,25 |
00,15 |
00,2 |
00,05 |
Вычисляем средний скользящий размах
Для расчета контрольных границ mR-карты используем формулы из Таблицы 3 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 при n = 2 тогда центральная линия = 0,11.
Подставляем значения в формулы (4.1) и (4.2) получаем
- ВКП =
- НКП
Значения множителей иберутся из таблицы 2 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 дляn = 2.
Строим контрольную карту размахов mR для значений поверхностного сопротивления RS, (рисунок 4.12) по данным, приведенным в таблице 5.6, и по ней определяем состояние процесса.
Рисунок 4.12 – Контрольная mR-карта для значений поверхностного сопротивления RS
Все точки находятся в рамках контрольных границ.
Рассчитываем значения , исходя из таблицы 4.6
Для расчета контрольных границ -карты используем формулы из таблицы 2 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 приn = 2, тогда центральная линия
.
Подставляем значения в формулы (4.3) и (4.4) получаем
-
-
Значение коэффициента взято из таблицы 3 ГОСТ Р 50.779.42 – 99.
Строим -карту для значений поверхностного сопротивленияRS (рисунок 4.13) по данным, приведенным в таблице 4.6
A B C C B A
Рисунок 4.13 – Контрольная -карта для значений поверхностного сопротивленияRS
Проверяем структуры точек на особые причины раздела 7 ГОСТ Р 50.779.42 – 99. Все точки находятся в рамках контрольных границ, необычные структуры и тренды отсутствуют. Процесс находится в состоянии статистической управляемости.
а)
б)
Рисунок 4.14 — Контрольная -mR карта дляRS
а) индивидуальные значения RS;
б) размахи RS.