Продолжение таблицы 4.5

Наименован. показателя	Значение для подгруппы
	113	114	115	116	117	118	119	220	221	222	223	224	225
UКЭ	6365	4426	4362	4428	4458	4363	4467	4445	4470	4418	1250	1112	1273
	553	555	550	554	552	448	448	554	555	551	555	557	553
Скользящий размах R	20	22	25	24	22	24	20	26	21	24	24	22	24

Вычисляем средний скользящий размах

Для расчета контрольных границ mR-карты используем формулы из таблицы 3 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 при n = 2, тогда центральная линия = 2,87.

Подставляем полученное значениев формулы (4.1) и (4.2), получаем

ВКП =

НКП =

Значения множителей иберутся из таблицы 2 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 дляn = 2.

Строим контрольную карту размахов mR для значений напряжения «коллектор-эмиттер» U_КЭ (рисунок 4.9) по данным, приведенным в таблице 4.5 и по ней определяем состояние процесса.

Рисунок 4.9 - Контрольная mR-карта для значений напряжения «коллектор-эмиттер» U_КЭ

Все точки находятся в рамках контрольных границ.

Рассчитываем среднее значение , исходя из данных таблицы 5.5

Для расчета контрольных границ - карты используем формулы из таблицы 2 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 приn = 2, тогда центральная линия .

Подставляем значения в формулы (4.3) и (4.4) получаем

-

-

Значение коэффициента взято из таблицы 3 ГОСТ Р 50.779.42 – 99

Строим контрольную -карту для значений напряжения «коллектор-эмиттер»U_КЭ (рисунок 4.10) по данным, приведенным в таблице 4.1

ВКП=60,43

НКП=45,16

Рисунок 4.10 – Контрольная -карта для значений напряжения «коллектор-эмиттер»U_КЭ

Проверяем структуры точек на особые причины раздела 7 ГОСТ Р 50.779.42 – 99. Все точки находятся в рамках контрольных границ, необычные структуры и тренды отсутствуют. Процесс находится в состоянии статистической управляемости.

а)

б)

Рисунок 4.11 - Контрольная карта -mR дляU_КЭ

а) индивидуальные значения U_КЭ;

б) размахи U_КЭ.

4.4 Анализ состояния процесса на основе мониторинга значений R_S

На основе мониторинга значений поверхностного сопротивления R_S, приведенных в таблице 4.1 по двадцати пяти партиям, прошедшим операцию диффузии фосфора в эмиттер, составляем таблицу 4.6, используя пример 12.3 ГОСТ Р 50779. 42-99. [9]

Таблица 4.6 – Значения R_S для двадцати пяти последовательных выборок

Наименование показателя	Значение для подгруппы
	21	22	13	14	15	16	17	18	19	110	111	112
RS	4383	5427	4381	4399	5506	4393	5392	5404	4348	5402	4360	4403
	44,05	44	44,15	44	44,05	44,15	44,25	44,05	44,05	44,3	44,25	44,05
Скользящий размах R	00	00,05	00,15	00,15	00,05	00,1	00,1	00,2	40	00,25	00,05	00,2