- •4 Анализ состояния процесса «диффузия фосфора в эмиттер» изделия 78 хх на основе мониторинга значений выходных параметров
- •4.1 Анализ состояния процесса на основе мониторинга значений статического коэффициента передачи тока h21э
- •Вычисляем средний скользящий размах
- •Подставляем значения в формулы (4.1) и (4.2) получаем
- •Подставляя требуемые значения в формулы (4.3) и (4.4), получаем
- •4.2 Анализ состояния процесса на основе мониторинга значений uэб
- •Продолжение таблицы 4.3
- •Подставляя полученные значения в формулы (4.1) и (4.2), получаем:
- •Продолжение таблицы 4.4
- •Подставляем значения в формулы (4.3) и (4.4) получаем
- •Продолжение таблицы 4.5
- •Подставляем полученное значениев формулы (4.1) и (4.2), получаем
- •Продолжение таблицы 4.6
4.1 Анализ состояния процесса на основе мониторинга значений статического коэффициента передачи тока h21э
На основе мониторинга значений представленного в таблице 4.1 для процесса ««Диффузия фосфора в эмиттер», составляем таблицу 4.2 для статического коэффициента передачи тока h21Э, используя пример 12.3 ГОСТ Р 50779. 42-99. [9]
Таблица 4.2 - Значения статического коэффициента передачи тока h21Эдля двадцати пяти последовательных выборок
Наименование Показателя |
Значение для подгруппы | |||||||||||
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
11 |
12 | |
h21Э |
383 |
427 |
381 |
399 |
506 |
393 |
392 |
404 |
348 |
402 |
360 |
403 |
110 |
105 |
120 |
100 |
110 |
120 |
120 |
120 |
90 |
85 |
120 |
120 | |
Скользящий размах R |
|
5 |
15 |
20 |
10 |
10 |
0 |
0 |
30 |
5 |
35 |
0 |
Продолжение таблицы 4.2
Наименование показателя |
Значение для подгруппы | ||||||||||||
13 |
14 |
15 |
16 |
17 |
18 |
19 |
20 |
21 |
22 |
23 |
24 |
25 | |
h21Э |
365 |
426 |
362 |
428 |
458 |
363 |
467 |
445 |
470 |
418 |
250 |
112 |
273 |
90 |
90 |
130 |
100 |
130 |
120 |
100 |
100 |
100 |
100 |
110 |
120 |
120 | |
Скользящий размах R |
30 |
0 |
40 |
30 |
30 |
10 |
20 |
0 |
0 |
0 |
10 |
10 |
0 |
Вычисляем средний скользящий размах
Для расчета контрольных границ mR-карты используем формулы из таблицы 3 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 при n = 2, тогда центральная линия = 12,92
ВКП=, (4.1)
НКП=, (4.2)
где, ВКП – верхний контрольный предел;
Д4 - множитель для верхнего контрольного предела;
НКП – нижний контрольный предел;
Д3 - множитель для нижнего контрольного предела;
R – размах контролируемого параметра.
Подставляем значения в формулы (4.1) и (4.2) получаем
ВКП=3,26712,92=42,2;
НКП=012,92=0.
Значения множителей Д 3 и Д 4 берутся из таблицы 2 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 для n = 2.
Строим контрольную карту размахов mR (рисунок 4.1) для статического коэффициента передачи тока h21Э по данным, приведенным в таблице 4.2.
Рисунок 4.1 – Контрольная mR карта статического коэффициента передачи тока h21Э
Все точки находятся в рамках контрольных границ.
Рассчитываем среднее значение , исходя из таблицы 4.2
Для расчета контрольных границ -карты (рисунок 4.2) используем формулы из таблицы 2 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 приn = 2, тогда центральная линия
, (4.3)
, (4.4)
где ВКП – верхний контрольный предел;
- центральная линия;
Е2 - расчетный коэффициент для -карты, для данногоn;
НКП – нижний контрольный предел;
R –размах контролируемого параметра.
Подставляя требуемые значения в формулы (4.3) и (4.4), получаем
ВКП=109,2+(2,6612,92)=143,57
НКП=109,2-(2,6612,92)=74,83
Значение коэффициента Е 2 взято из таблицы 3 ГОСТ Р 50.779.42 – 99
Рисунок
4.2 – Контрольная
карта
статического коэффициента передачи
тока -h21Э
Проверяем структуры точек (рисунок 4.2) на особые причины по критериям раздела 7 ГОСТ Р 50.779.42 – 99.
Все точки находятся в контрольных границах, необычные структуры и тренды отсутствуют. Процесс находится в состоянии статистической управляемости.
а)
б)
Рисунок 4.3 — Контрольная -mR картаh21Э
а) индивидуальных значений h21Э;
б) размахов h21Э.