- •4 Анализ состояния процесса «диффузия фосфора в эмиттер» изделия 78 хх на основе мониторинга значений выходных параметров
- •4.1 Анализ состояния процесса на основе мониторинга значений статического коэффициента передачи тока h21э
- •Вычисляем средний скользящий размах
- •Подставляем значения в формулы (4.1) и (4.2) получаем
- •Подставляя требуемые значения в формулы (4.3) и (4.4), получаем
- •4.2 Анализ состояния процесса на основе мониторинга значений uэб
- •Продолжение таблицы 4.3
- •Подставляя полученные значения в формулы (4.1) и (4.2), получаем:
- •Продолжение таблицы 4.4
- •Подставляем значения в формулы (4.3) и (4.4) получаем
- •Продолжение таблицы 4.5
- •Подставляем полученное значениев формулы (4.1) и (4.2), получаем
- •Продолжение таблицы 4.6
4.2 Анализ состояния процесса на основе мониторинга значений uэб
На основе мониторинга значений, представленного в таблице 4.1 для двадцати пяти партий, прошедших операцию «Диффузия фосфора в эмиттер», составляем таблицу 4.3 для значений пробивного напряжения «эмиттер-база»UЭБ, используя пример 12.3 ГОСТ Р 50779. 42-99. [9]
Таблица 4.3 – Значения пробивного напряжения «эмиттер-база» UЭБ для двадцати пяти последовательных выборок
Наименование показателя |
Значение для подгруппы | |||||||||||
11 |
22 |
33 |
44 |
55 |
66 |
77 |
88 |
99 |
110 |
111 |
112 | |
UЭБ |
383 |
427 |
381 |
399 |
506 |
393 |
392 |
404 |
348 |
402 |
360 |
403 |
66,85 |
66,8 |
66,9 |
66,84 |
66,85 |
66,91 |
77,0 |
66,9 |
66,84 |
66,84 |
66,84 |
66,78 | |
Скользящий размах R |
|
00,05 |
00,1 |
00,06 |
00,01 |
00,06 |
00,09 |
00,1 |
00,06 |
00 |
00 |
00,06 |
Продолжение таблицы 4.3
Наименование показателя |
Значение для подгруппы | ||||||||||||
113 |
114 |
115 |
116 |
117 |
118 |
119 |
220 |
221 |
222 |
323 |
224 |
225 | |
4365 |
4426 |
4362 |
4428 |
4458 |
4363 |
4467 |
4445 |
4470 |
4418 |
1250 |
1112 |
1273 | |
UЭБ |
66,78 |
66,75 |
66,81 |
66,82 |
66,89 |
66,75 |
66,8 |
66,89 |
66,84 |
66,78 |
66,84 |
66,8 |
66,85 |
Скользящий размах R |
0 0 |
00,03 |
00,06 |
00,01 |
00,07 |
00,14 |
00,05 |
00,09 |
00,05 |
00,06 |
00,06 |
00,04 |
00,05 |
Вычисляем средний скользящий размах
Для расчета контрольных границ mR-карты используем формулы из Таблицы 3 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 для n = 2, тогда центральная линия = 0,05
Подставляя полученные значения в формулы (4.1) и (4.2), получаем:
ВКП =3,2670,05=0,16
НКП =00,05=0
Значения множителей иберутся из таблицы 2 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 дляn = 2.
Строим контрольную карту размахов mR для напряжения «эмиттер-база»UЭБ (Рисунок 4.4) по данным таблицы 4.2, определяем по ней состояние процесса.
Рисунок 4.4 – Контрольная mR-карта для напряжения «эмиттер-база»UЭБ,
Все точки находятся в рамках контрольных границ.
Рассчитываем значения , исходя из таблицы 4.3
Для расчета контрольных границ -карты используем формулы из таблицы 2 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 приn = 2, тогда центральная линия .
Подставляя значения в формулы (4.3) и (4.4), получаем
;
.
Значение коэффициента взято из таблицы 3 ГОСТ Р 50.779.42 – 99
Строим-карту (рисунок 4.5) по данным, приведенным в таблице 4.3
A B C C B A
Рисунок 4.5 –Контрольная - карта для индивидуальных значений напряжения «эмиттер-база»UЭБ
Одно из значений -карты выходит за верхнюю контрольную границу, что указывает на статистически неуправляемое состояние процесса. Проведя анализ особых причин вариации устанавливаем, что в феврале 2007 года на партии № 392, на операции окисление области базы, полученная глубина (ХJ) базы оказалась меньше нормы, поэтому исключаем партию № 392 при составлении таблицы 4.4
.
Таблица 4.4 - Значения UЭБ для двадцати четырех последовательных выборок.
Наименование показателя |
Значение для подгруппы | |||||||||||
11 |
22 |
33 |
44 |
55 |
66 |
77 |
88 |
99 |
110 |
111 |
112 | |
4383 |
5427 |
4381 |
4399 |
5506 |
4393 |
5404 |
4348 |
5402 |
4360 |
5403 |
4365 | |
UЭБ |
66,85 |
66,8 |
66,9 |
66,84 |
66,85 |
66,91 |
66,9 |
66,84 |
66,84 |
66,84 |
66,78 |
66,78 |
Скользящий размах R |
0 |
00,05 |
00,1 |
00,06 |
00,01 |
00,06 |
00,01 |
00,06 |
00 |
00 |
00,06 |
00 |