Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Lecture_2 SIBGUTI_с вопросами

.pdf
Скачиваний:
13
Добавлен:
11.04.2015
Размер:
4.05 Mб
Скачать

Работа Wafer Fab

*************************************************************

 

P ro c e d u re

: (L o t N _ _ _ _ )

P L A N N A B L E

 

T itle

: 0 .2 5 U M H D P S T I S A L P R O C E S S -F R O N T E N D

O w n e r

: (N a m e )

 

D a te c re a te d

: 6 -O C T -_ _ _ _ _ 1 5 :2 6

S ta tu s

: A C T IV E A V A IL A B L E

D a te la s t c h a n g e d : 1 8 -O C T - _ _ _ _ _ 1 1 :2 3

 

 

 

 

D a te a c tiv a te d

: 1 8 -O C T -_ _ _ _ _ 1 1 :2 4

P ro c e d u re u s a g e : C A L L E D _ P R O C E D U R E

M a in p ro d a re a : F A B N _ _

E C N

 

:

 

 

 

D o c u m e n t

:

 

 

 

 

 

M a te ria l c o n s tra in ts

 

 

 

 

Id e n tity

P ro c e s s in g s ta te

M a in -M a te ria l ty p e

S u b -M a te ria l ty p e

0 0 1 .0 0 0 E X E C U T E _ R E C IP E

 

S ta g e : W F R -S T A R T

 

R e c ip e : S T A R T

 

W fr S ta rt

 

0 0 2 .0 0 0 E X E C U T E _ R E C IP E

 

S ta g e : L S R -S C R IB E

 

R e c ip e

: D L 3 0 2

 

L s rS c rib e

 

0 0 3 .0 0 0 E X E C U T E _ R E C IP E

 

S ta g e : IN IT 1 -O X

 

R e c ip e

: D R 3 0 3

 

P o s t-L s rS c rib e R C A C le a n

0 0 4 .0 0 0 E X E C U T E _ R E C IP E

 

S ta g e : IN IT 1 -O X

 

R e c ip e : D G 0 0 1

 

4 5 0 IN T O X

 

0 0 5 .0 0 0 E X E C U T E _ R E C IP E

 

S ta g e : IN T O X 1 -R E M

 

R e c ip e

: C Q 0 0 7

 

O x id e S trip

0 0 6 .0 0 0 E X E C U T E _ R E C IP E

 

S ta g e : P A D 1 -O X

 

R e c ip e : D R 0 0 1

 

R C A C le a n

0 0 7 .0 0 0 E X E C U T E _ R E C IP E

 

S ta g e : P A D 1 -O X

 

R e c ip e : D G 0 3 5

 

1 0 0 P A D O X (D R A M )

СибГУТИ, декабрь 2010

Работа Wafer Fab

Тотальный контроль качества для обеспечения

100% выхода годных изделий

Менеджмент

(система качества)

КАЧЕСТВО

Технология

 

Информация

(опережающий уровень)

 

(измеряемые параметры)

 

 

 

СибГУТИ, декабрь 2010

Работа Wafer Fab

Статистический контроль качества изделий обеспечивается

дорогостоящими аналитическими приборами и оборудованием

СибГУТИ, декабрь 2010

Работа Wafer Fab

Статистический контроль качества изделий нужен для

поддержание характеристик технологических процессов

в нужных пределах с высокой воспроизводимостью

СибГУТИ, декабрь 2010

Работа Wafer Fab

Статистический контроль качества изделий:

1

0.1

0.01

0.001

0.0001

FPR251 (90/130sccm 310W DD003)

FPR251 (90/130scc m 310W FR553)

FPR253 (90/130sccm 610W DD003)

FPR253 (90/130scc m 610W FR553)

PR252 (120/130sccm 310W DD003)

PR252 (120/130scc m 310W FR553)

FPR25 (120/130sccm 610W DD003)

FPR25 (120/130scc m 610W FR553)

no S iN (Std, DD003)

no SiN (Std, FR553)

0.1

0.001

СибГУТИ, декабрь 2010

Работа Wafer Fab

STRATEGY STATEMENT

STRATEGY

 

STRUCTURE

 

BUSINESS

 

REQUIRED

 

REWARDS &

 

CULTURE

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

PRACTICES

 

RESULTS

 

RECOGNITION

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

MISSION

 

AREAS OF FOCUS

STRATEGIC THRUSTS

 

 

To provide World

1. Quality as a Way of Life

Quali ty as a Way of Life

Prioritized Specific Market Segments

 

 

Class

1. Establish uniform indices across company

1. Executing a strategy for long term partnership

 

 

2. Prioritized Specific Market

with selected IDM’s

 

 

2. TQM implementation across company

 

 

2. Establishing volume relation with a merchant

 

 

Foundry

Segments

- SPC/FMEA/Quality circles

 

 

market supplier.

 

 

Services which

3. Corporate Cultural

- 6 Sigma in everything we do

3. Driving and leveraging our technology in

 

 

Revolution

3. Attain QS9000/ISO9001

focused engagement with our customer base

 

 

 

Enable our

4. Continuous improvement

 

 

 

4. Technology Introduction

4. Optimize market segments and

 

 

 

- Kaizen programs across company

 

 

 

geographical regions

 

 

 

Customers to

with benchmark time

- Benchmarking

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Create and

5. Operational and Service

5. Establish comprehensive training for

 

 

 

 

 

Excellence

all company employees

Technology Introduction with

 

 

 

Deliver Market

6. Robust Process Technology

Corporate Cultural Revolution

benchmark time

 

 

Leading Solutions

 

1. Establish the process for early benchmark

 

 

 

1. Premier employer strategy for company

data with market intelligence and alpha

 

 

 

 

 

 

customer identification

 

 

 

WINNING POSITIONING

2. Establish an all encompassing Core

2. Establish and leverage JV resources in

 

 

 

Values and Code of ethics” policy

joint technology development

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

statement

3. Establish operations methodologies and

 

 

We will win by being the

trusted manufacturing

3. Establish clearly defined roles and

philosophies to enable mfg & R&D to

 

 

responsibilities with authority across

execute their responsibilities with

 

 

service partner for system level technologies

company

shared resources

 

 

4. Establish business practices that reflect

 

 

 

 

 

 

4 Establish a process for technology intro

 

 

 

 

 

 

the premier employer strategy, core

from R&D or outside sources

 

 

 

CORPORATE OBJECTIVES (for instance)

values and code of ethics

5. Premier technology employer

 

 

 

 

6. Engage a technology partner that will

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Operational and Service Excellence

accelerate 0.18u and beyond

 

 

 

 

 

 

technologies

 

to meet the market windows

1.To achieve 10% of worldwide wafer foundries market.

2.To achieve Return on Sales of 10%

3.To achieve 80% of company customers rated us Number One in Quality and Services.

1.First time success in prototype execution based on benchmark

2.To establish customer friendliness system and culture

3.Achieve seamless integration of complete manufacturing services (Turnkey & EDA)

4.Establish thorough services and manufacturing metrics across company

5.Optimize equipment utilization through standardization, flexibility and extendibility

Robust Process Technology

1.Design for manufacturability

2.Effective in-line process monitoring capability, e.g. SPC control, FMEA

3.Flexible plug-in process modules and migration path

СибГУТИ, декабрь 2010

Работа Wafer Fab

Human Resource

CEO

Strategic Development

Busyness Operation

Finance

Technology

Development

Manufacturing

Operation

Quality Control

СибГУТИ, декабрь 2010

Нано-фабрика

Из 3-х вариантов наноэлектроники:

1.Развитие путем эволюционного совершенствования

существующих «кремниевых» планарных технологий - есть

ограничения кремния.

2.Более глубокое модифицирование планарной

технологии и распространение ее на другие материалы и

ситуации - наиболее вероятно. Концепция мини и нано-

фабрик.

3.Создание принципиально новой электроники

следующих поколений на основе «некремниевых

устройств» - очень дорого, развитие с начала.

СибГУТИ, декабрь 2010

Минифаб

Хохлун А.Р., «Остек», Москва

СибГУТИ, декабрь 2010

 

 

Хохлун А.Р., «Остек», Москва

СибГУТИ, декабрь 2010

 

 

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]