Lecture_2 SIBGUTI_с вопросами

Как устроена Wafer Fab? Clean-room

Clean-room - ограниченная зона доступа

-технологическое оборудование

-вспомогательные технологические помещения

-аналитические лаборатория

-комната переодевания

Безопасность !!!

СибГУТИ, декабрь 2010

Как устроена Wafer Fab? Clean-room

СибГУТИ, декабрь 2010

Как устроена Wafer Fab? Clean-room

Очки

Маска

Костюм

Перчатки

Бахилы

СибГУТИ, декабрь 2010

Как устроена Wafer Fab? Clean-room

Пластины

МК

SMIF Pod

SMIF - Standard Mechanical Inter Face, составная часть

CIM – Computer Integrated Manufacturing System.

СибГУТИ, декабрь 2010

Как устроена Wafer Fab? Clean-room

1. Центральный компьютер фирмы со станциями входа с ежемесячно меняемыми личными паролями доступа

2.Компьютеризированные стойки, стеллажи, хранилища, где размещаются коробки с пластинами, имеющие собственный микроконтроллер с историей пластин.

3.Перенос пластин производится путем подвесной системы или вручную

СибГУТИ, декабрь 2010

Как устроена Wafer Fab? Clean-room

Оборудование может быть организовано так, чтобы класс чистоты внутри был выше, чем снаружи

СибГУТИ, декабрь 2010

Как устроена Wafer Fab? Clean-room

СибГУТИ, декабрь 2010

Как устроена Wafer Fab? Clean-room

СибГУТИ, декабрь 2010

Как устроена Wafer Fab? Clean-room

СибГУТИ, декабрь 2010

Как устроена Wafer Fab? Clean-room

СибГУТИ, декабрь 2010