Lecture_2 SIBGUTI_с вопросами
.pdf
Как устроена Wafer Fab? Clean-room
СибГУТИ, декабрь 2010
Как устроена Wafer Fab? Clean-room
СибГУТИ, декабрь 2010
Как устроена Wafer Fab? Clean-room
СибГУТИ, декабрь 2010
Как устроена Wafer Fab? Facility
Facility - зона максимально ограниченного доступа:
-газовые магистрали
-баллоны и ампулы с токсичными
веществами
-очистка воды
-вакуумные насосы и очистка выбросов
СибГУТИ, декабрь 2010
Как устроена Wafer Fab? Facility
СибГУТИ, декабрь 2010
Как устроена Wafer Fab? Facility
СибГУТИ, декабрь 2010
Как устроена Wafer Fab? Facility
СибГУТИ, декабрь 2010
Как устроена Wafer Fab? Facility
СибГУТИ, декабрь 2010
Работа Wafer Fab
Пассивация |
|
|
|
|
|
|
|
|
металл-5 |
|
|
|
|
|
|
|
ИМД4 |
|
металл-4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ИМД3 |
|
металл-3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ИМД2 |
|
|
|
металл-2 |
|
|
|
|
|
|
|
ИМД1 |
TiSi2 |
|
металл-1 |
|
|
|
|
|
|
|
Спейсер |
|
Siпк |
|
ПМД |
Вольфрам |
|
|
|
|
|
|
|
|
p+ |
p+ |
LOCOS |
n+ |
n+ |
|
ТермическийSiO2 LOCOS ТермическийSiO2
n-карман p-карман
BEOL
FEOL
Подложка
СибГУТИ, декабрь 2010
Работа Wafer Fab
Process Flow – последовательность технологических операций изготовления приборов
СибГУТИ, декабрь 2010