- •Билет №1
- •1. Понятие о технологическом процессе. Классификация технологических процессов. Этапы процесса и комплекты документации.
- •2. Конвективная диффузия. Влияние газодинамических
- •Билет №2
- •2. Рост кристаллов при химическом взаимодействии на межфазной границе. Кинетический режим. Скорость гетерогенной реакции.
- •Билет №3
- •2. Зародышеобразование при росте кристаллов и полиморфных превращениях, начальные стадии роста.
- •Билет №4
- •1. Технологические процессы, связанные с явлениями на границе раздела
- •Билет №5
- •2. Кристаллизация из расплава (выращивание полупроводниковых кристаллов методом Чохральского, направленная кристаллизация, зонная плавка).
- •Билет №6
- •Билет №7
- •1. Классификация веществ по степени чистоты. Основные примесночувствительные свойства изделий эт.
- •Билет №8
- •1. Характеристика технологических процессов переработки сырьевых материалов.
- •Билет №9
- •2. Рост пленок полупроводниковых соединений из газовой фазы с
- •Билет № 10
- •Билет №11
- •2. Вакуумное осаждение и молекулярно-лучевая эпитаксия.
- •Билет №12
- •2. Физико-химические основы легирования полупроводниковых кристаллов и пленок.
- •Билет №13
- •Билет №14
- •2. Получение плёнок двуокиси кремния и фосфорно-силикатных стёкол методом полного окисления силана.
- •Билет №15
- •Билет №l6
- •Билет №17
- •2. Эпитаксия многослойных гетероструктур, содержащих сверхтонкие полупроводниковые слои.
- •Билет № 18
- •Билет №19
- •2.Способы формирования изделий из полимеров.
- •Билет №20
- •15. Чистые и особо чистые помещения
- •16. Технологическая одежда и поведение персонала в чистых помещениях. Методы контроля технологической гигиены
- •Билет №21
Билет №4
1. Технологические процессы, связанные с явлениями на границе раздела
Массообменные процессы классифицируют по агрегатному состоянию и характеру взаимодействия фаз. Выделяют две группы процессов. Первая – процессы с непосредственным соприкосновением фаз обменивающихся веществом, в свою очередь подразделяется на две подгруппы: 1-я – процессы с изменяющимися границами раздела фаз (поверхность их контакта не фиксирована); 2-я – процессы с фиксированной границей раздела фаз. К первой подгруппе относятся процессы в системах: Жидкость – Пар; массообмен здесь основан на переносе при кипенииконденсации из фазы в фазу нескольких компонентов с разной интенсивностью; это процессы дистилляции и ректификации. Жидкость – Газ; массообмен основан на растворении одного или нескольких компонентов газовой смеси жидким растворителем; это абсорбция (либо обратный процесс – десорбция). Жидкость – Жидкость; массообмен происходит за счёт растворения отдельных компонентов жидкой смеси в другой жидкости, которая не должна смешиваться полностью с исходной; это жидкостная экстракция. Ко второй подгруппе относят процессы в системах: Жидкость – Твёрдое; это растворение твердых веществ (или их компонентов) – собственно растворение; выщелачивание когда жидким растворителем поглощается компонент из его смеси с твёрдым веществом, нерастворимым в растворителе. Газ – Твёрдое и Жидкость; здесь происходит удаление влаги из твердых или жидких влажных материалов путем её испарения – сушка. В этом процессе имеет место переход влаги из твердого влажного материала в паровую или газовую фазу. Ко второй группе относят также процессы массопереноса, протекающие без непосредственного соприкосновения фаз. В настоящее время существует единственный такой технологический приём – мембранный процесс. Его сущность заключается в переносе компонентов с разной скоростью из фазы в фазу через полупроницаемую мембрану.
Основные механизмы роста монокристаллических структур.
Послойный рост осуществляется на сингулярных и вицинальных гранях. Атом, попадающий на поверхность растущего кристалла, наиболее прочно связывается в изломе ступени (поз. 3 на рис. 3.3), так как в этой позиции (если в качестве примера рассматривать простую кубическую решетку) связи у атома образуются с тремя из шести ближайших соседей. В то же время на самой ступени (поз. 2 на рис. 3.3) связи образуются лишь с двумя, а на гладкой грани (поз. 1 на рис. 3.3) только с одним из таких соседей. Атом, поступающий из внешней фазы на поверхность кристалла, отдает часть своей энергии решетке и, попадая в поле действия сил связи поверхностных атомов кристалла, переходит в адсорбированное состояние. В обычных условиях роста адсорбированные атомы обладают еще достаточным запасом энергии, чтобы передвигаться по поверхности кристаллов. Прежде чем испариться вновь или присоединиться к кристаллу, атом проходит по поверхности средний миграционный путь, составляющий несколько сотен межатомных расстояний. Следовательно, хотя вероятность попадания атома из внешней фазы в изломы на ступеньках чрезвычайно мала, атомы достигают их путем поверхностной диффузии к ступенькам и далее, передвигаясь вдоль них до изломов, встраиваются в кристалл. Когда ряд завершается, атом должен присоединиться к ступени, образовав тем самым излом. Зарождение излома требует более высокого пересыщения, поскольку адсорбированный атом на ступени образует связи только с двумя ближайшими соседями. После заполнения мономолекулярного слоя требуются значительно большие пересыщения для зарождения нового слоя путем образования двухмерного зародыша. Так, если в обычных условиях роста для движения ступени достаточны пересыщения порядка долей единиц процента, то образование двухмерного зародыша происходит при пересыщениях порядка десятков процентов.__Опытная проверка изложенной теории показала, что она справедлива при описании процесса роста идеальных кристаллов, не имеющих на поверхности роста дефектов, что в реальных условиях выращивания кристаллов наблюдается очень редко. В большинстве случаев кристаллы растут с измеримыми скоростями даже при очень малых пересыщениях. Это может объясняться тем, что такие кристаллы имеют на поверхности роста постоянно действующий источник ступеней, в качестве которого может служить винтовая дислокация. При выходе на поверхность винтовая дислокация дает незарастающую ступень (рис. 3.4), и потребность в двухмерных зародышах уже не возникает. Рост кристалла в этом случае возможен уже и при низких пересыщениях.Процесс роста с помощью винтовых дислокаций аналогичен описанному механизму роста совершенного кристалла со ступенью. На ступени, возникающей благодаря винтовой дислокации, также имеются изломы вследствие существования флуктуации пересыщения во внешней фазе. Адсорбированные атомы диффундируют к ступени, а затем к изломам, где они встраиваются в решетку кристалла, в результате чего ступень двигается. Поскольку один конец ступени фиксируется в точке выхода дислокации, то ступень может двигаться только путем вращения вокруг этой точки.
Нормальный рост кристаллов осуществляется на несингулярных гранях. Эти грани, будучи атомно-шероховатыми, равномерно покрыты изломами, и присоединение новых частиц происходит на них практически в любом месте; количество изломов не лимитирует скорость кристаллизации, и грани растут перпендикулярно самим себе, т.е. осуществляется «нормальный» механизм роста. Вследствие этого процесс роста несингулярных граней идет непрерывно при любых пересыщениях. С помощью различных внешних воздействий на растущий кристалл и среду, из которой он растет, можно значительно интенсифицировать процессы роста кристаллов, повысить степень совершенства их структуры, снизить температуры кристаллизации и управлять процессами легирования. Стимулировать ростовые процессы можно с помощью облучения растущего кристалла электромагнитным излучением и воздействием на него электрическим или акустическим полем.