- •Билет №1
- •1. Понятие о технологическом процессе. Классификация технологических процессов. Этапы процесса и комплекты документации.
- •2. Конвективная диффузия. Влияние газодинамических
- •Билет №2
- •2. Рост кристаллов при химическом взаимодействии на межфазной границе. Кинетический режим. Скорость гетерогенной реакции.
- •Билет №3
- •2. Зародышеобразование при росте кристаллов и полиморфных превращениях, начальные стадии роста.
- •Билет №4
- •1. Технологические процессы, связанные с явлениями на границе раздела
- •Билет №5
- •2. Кристаллизация из расплава (выращивание полупроводниковых кристаллов методом Чохральского, направленная кристаллизация, зонная плавка).
- •Билет №6
- •Билет №7
- •1. Классификация веществ по степени чистоты. Основные примесночувствительные свойства изделий эт.
- •Билет №8
- •1. Характеристика технологических процессов переработки сырьевых материалов.
- •Билет №9
- •2. Рост пленок полупроводниковых соединений из газовой фазы с
- •Билет № 10
- •Билет №11
- •2. Вакуумное осаждение и молекулярно-лучевая эпитаксия.
- •Билет №12
- •2. Физико-химические основы легирования полупроводниковых кристаллов и пленок.
- •Билет №13
- •Билет №14
- •2. Получение плёнок двуокиси кремния и фосфорно-силикатных стёкол методом полного окисления силана.
- •Билет №15
- •Билет №l6
- •Билет №17
- •2. Эпитаксия многослойных гетероструктур, содержащих сверхтонкие полупроводниковые слои.
- •Билет № 18
- •Билет №19
- •2.Способы формирования изделий из полимеров.
- •Билет №20
- •15. Чистые и особо чистые помещения
- •16. Технологическая одежда и поведение персонала в чистых помещениях. Методы контроля технологической гигиены
- •Билет №21
2. Конвективная диффузия. Влияние газодинамических
(гидродинамических) факторов. Пограничный слой.
Конвективная диффузия- перенос частиц растворенного вещества вместе с потоком движущейся жидкости
При прохождении парогазовой смеси вдоль поверхности подложки, на которой протекает химическая реакция и расходуется компонент j, формируется диффузионный пограничный слой δj(х) (рис.1.7).
Если Сj(0) –концентрация компонента на поверхности подложки, моль/м3, то по мере удаления от нее (увеличения z) концентрация Сj возрастает, достигая величины Сj∞ на внешней границе диффузионного слоя (z = δ). При z ≥ δj(x) концентрация остается постоянной и равной Сj∞. С достаточной степенью точности можно считать, что в пределах диффузионного слоя величина Сj изменяется по линейному закону:
где z – расстояние по нормали от поверхности подложки. Толщина диффузионного слоя, м, при внешней гидродинамической задаче (на гидродинамическом начальном участке) зависит от расстояния x начала
набегания парогазовой смеси:
ν — коэффициент кинематической вязкости, м2/с; и∞— скорость за преде-
лами пограничного слоя, м/с.
Уравнение (1.44) справедливо при ламинарном течении парогазовой смеси. В последнем уравнении Scj – критерий Шмидта:
Scj = v/Dj
Где Dj - коэффициент взаимодиффузии компонента j, м2/с; v – коэффициент кинематической вязкости среды, м2/с. При стабилизированном профиле скорости и ламинарном течении среды в цилиндрическом реакторе толщина диффузионного слоя, м, рассчитывается по уравнению
где h – расстояние по нормали до противоположной стенки, м.Приближение диффузионного пограничного слоя широко используется при расчете скорости протекания гетерогенного процесса в диффузионном режиме. При этом
- равновесной концентрации, величину которой можно рассчитать через константу равновесия. Приближение диффузионного
слоя справедливо только в том случае, если δj(х) меньше расстояния до поверхности (стенки реактора), противоположной поверхности подложки, т. е. диффузионная задача – внешняя.
Билет №2
Классификация процессов ТМЭТ.
Тепловые процессы являются одними из основных в технологии материалов электронной техники. Движущей силой процессов переноса теплоты между телами является разность температур более нагретого и менее нагретого тел. Выделяют три способа распространения теплоты: за счет теплопроводности, теплового излучения и конвекции.
Массопередача представляет собой сложный процесс, включающий перенос вещества в пределах одной фазы через поверхность раздела фаз и в пределах другой фазы. Перенос вещества из фазы к границе раздела фаз или в обратном направлении, т.е. в пределах одной из фаз, называют массоотдачей.
Движущей силой процессов массопередачи является разность химических потенциалов распределяемого вещества, характеризующая степень отклонения системы от состояния равновесия. В простейших случаях диффундирующее в пределах фазы вещество перемещается от точки с большей к точке с меньшей концентрацией, и в расчетах движущую силу процессов массопереноса выражают приближенно через разность концентраций. В часто встречающихся реальных условиях проведения технологических процессов для определения направления массопереноса необходим учет не только разности концентраций переносимого вещества, но и градиента температур и градиента давлений, вызванных внешними силами. Предельным состоянием процесса массопередачи является достижение состояния равновесия системы.