Литература:

1. Зебрев Г.И. Физические основы кремниевой наноэлектрники, М.: БИНОМ, 2011, с. 159-186.

2. Парменов Ю.А. Элементы твердотельной наноэлектроники. Учебное пособие. М.: МИЭТ, 2011, гл. 6.

3. Taur Y., Ning T.H., Fundamentals of Modern VLSI Device, 2009, p. 148-201.

4. Sze S.M., Ng К.К., Physics of Semiconductor Devices, Wiley, 2007, p. 293-343.

5. Taur Y., Buchanan D.A., Wei Chen, Frank D.J. at al. CMOS Scaling into the Nanometer Regime, Proceedings of the IEEE, 2001, v.85, №4, pp.486-504.

6. Liu T.-J.K. and Chang L. Transistor Scaling to the Limit, in «Into the Nano Era: Moore’s Law Beyond Planar Silicon CMOS», Ed. H. R. Huff, Springer, 2009, pp.191-223.

7. Marc Van Rossum MOS Device and Interconnects Scaling Physics, in «Advanced Nanoscale ULSI Interconnects: 15 Fundamentals and Applications», Y. Shacham-Diamand et al. (eds.), Springer Science+Business Media, pp. 15-38.

8. Helms D., Schmidt E., Nebel W. Leakage in CMOS Circuits – An Introduction. E. Macii et al. (Eds.): PATMOS 2004, LNCS 3254, pp. 17–35, 2004, Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2004.

Задание для срс

1.Изучить материал лекции №6 по конспекту и по литературным источникам.

2. Для подготовки к следующей лекции ознакомиться с её материалом по конспекту лекции №7.

Вопросы для самопроверки

1. В чем состоят преимущества КНИ МОПТ?

2. Чем отличаются друг от друга частично и полностью обедненные КНИ МОПТ?

3. В чем заключается главное отличие КНИ МОПТ от объемных МОПТ?

4. Что такое эффект плавающей базы и как он возникает?

5. Что является следствием эффекта плавающей базы?

6. Почему эффект плавающей базы слабее проявляется в полностью обедненных КНИ МОПТ?

7. Опишите механизм управления пороговым напряжением в полностью обедненных КНИ МОПТ напряжением на нижнем затворе (подложке).

8. Почему подвижность носителей в канале ультратонких КНИ МОПТ уменьшается с уменьшением толщины тела?

9. Опишите преимущества и недостатки частично и полностью обедненных КНИ МОПТ.

10. В чем заключается главный короткоканальный эффект в КНИ МОПТ?

11. Что такое объемная инверсия?