- •Министерство образования и науки российской федерации
- •Исследование электроразрядных эксимерных лазеров пояснительная записка
- •«Национальный исследовательский
- •6. Консультанты по разделам выпускной квалификационной работы
- •7. Дата выдачи задания на выполнение выпускной квалификационной работы
- •Содержание
- •1 Особенности работы и применения электроразрядных эксимерных лазеров
- •1.1 Образование эксимерных молекул
- •1.2 Способы создания активной среды электроразрядных эксимерных лазеров и системы накачки рабочей смеси
- •1.2.2 Схема с перезарядкой емкости на емкость и искровой предыонизацией
- •А) односторонняя б) двухсторонняя
- •1.3 Источники предыонизации газа
- •1.3.2 Рентгеновская предыонизация
- •1.4 Системы прокачки рабочей смеси
- •2 Экспериментальные приборы и методики измерений
- •3 Экспериментальные результаты и их обсуждение
- •3.1 Расчет характеристик вентилятора и свойств газового тракта лазера
- •Рассмотрим некоторые зависимости для вентилятора.
- •Расчет охлаждения газовой смеси теплообменника.
- •3.2 Экспериментальные установки и их характеристики
- •3.2.1 Исследование электроразрядных импульсно-периодических лазеров на модекуле KrF*
- •3.2.2 Исследование электроразрядных импульсно-периодических лазеров на модекуле XeCl*
- •4. Метод лазерной абляции
3 Экспериментальные результаты и их обсуждение
3.1 Расчет характеристик вентилятора и свойств газового тракта лазера
Рассмотрим некоторые характеристики лазера, используемые в расчетах.
– Газовая смесь Ne:Xe:HCl=925:15:1 при давлении P=3,7 атм;
– Плотность неона: Ne=0,9 кгм3;
– Теплоемкость неона: cpNe=1030 Джкг ºС;
– Кинематическая вязкость неона при P=3,7 атм: Ne=8,710-6 м2с.
Разрядная камера:
– Длина: lк = 0,95 м;
– Диаметр: dк = 0,3 м.
Вентилятор:
– Длина: lа = 0,8 м;
– Диаметр: dа= 0,08 м;
– Скорость вращения: n = 2730 обмин = 45,5 Гц.
Разрядный промежуток:
– Длина: lрп=0,56 м;
– Ширина: aрп= 9∙10-3м;
– Высота: dрп=28 ∙10-3м.
Теплообменник:
– Толщина ребер:=1,5 ∙10-3м;
– Высота ребер:= 0,01 м;
– Шаг ребер:=5,5 ∙10-3м;
– Внутренний диаметр труб: dвнутр=1 ∙10-2м;
– Внешний диаметр труб: dвнеш=16 ∙10-3м;
– Количество труб: 4 шт;
– Количество ребер одной трубы: 130 шт;
– Длина оребренной части трубы: lтр=0,9 м.
Коэффициент расхода [37].:
=(3.1)
где - производительность элементарной секции вентилятора, м3/сек.
- наружный диаметр рабочего колеса, м.
- длина элементарной секции, м.
- окружная (линейная) скорость на наружном диаметре, м/c.
Коэффициент давления:
, (3.2)
где H - напор, создаваемый вентилятором, Па;
- плотность газовой смеси, кг/м3;
= 0,93,7 = 3,3 кгм3
Производительность элементарной секции вентилятора:
(3.3)
где - скорость газового потока в разрядном промежутке, м/с;
- межэлектродный зазор, м.
При частоте срабатывания лазера f=100 Гц и ширине разрядной области aрп= 9∙10-3 м достаточная для устойчивой работы лазера трехкратная смена газа в разрядном промежутке будет достигаться при скорости газового потока:
= af3 = 9∙10-31003 = 2,7 м/с.
Для этой скорости оценки показывают, что потребляемая мощность составит десятки ватт, но из-за низкой скорости потока, нужна развитая поверхность теплообменника. Влияние скорости газа на температуру после теплообменника достаточно очевидно, поскольку увеличению скорости при постоянном подводе тепла соответствует больший коэффициент теплоотдачи от газа к трубам. Однако связь в данном случае не пропорциональна, т.к. количество переданного тепла определяется кроме того температурным напором, который при изменении скорости будет изменяться из-за изменения температуры на входе в теплообменник.
Поэтому нами используется вентилятор диаметром 0,08 м при 45,5 Гц.
При скорости вращения вентилятора n=45,5 Гц и диаметре рабочего колеса 0,08 м:
Uа= м/с.
Экспериментально измеренная скорость воздушного потока в разрядном промежутке составляет 12 м/с.
Используя эти данные, получим:
Qэ=12 0,65 2,810-2 = 0,22 м3/с;
== 0,37,
- для газовой смеси Ne:Xe:HCl=925:15:1 при давлении P=3,7 атм.
Плотность смеси: Ne= 0,93,7 = 3,3 кгм3.
По аэродинамической характеристике вентилятора [38] (рисунок 11), находим: =2,6.
Рисунок 11 – Аэродинамическая характеристика вентилятора
Напор, создаваемый вентилятором, тратится на преодоление сопротивления тракта и на преодоление собственного сопротивления вентилятора.
=2,63,3=560,47 Па
Мощность электродвигателя, необходимая для привода вентилятора, составляет:
Pвент=,(3.4)
где z - число элементарных секций в вентиляторе, z=1;
- КПД вентилятора, =0,45;
Pвент== 274,01 Вт.
Учитывая КПД двигателя (мощность, потребляемая для привода вентилятора, при суммарном аэродинамическом сопротивлении тракта, равном Hвентилятора):
Pреальное = P=391,44 Вт