- •Основные положения теории электромагнетизма
- •Характеристики электромагнитного поля
- •Основные характеристики и классификация эмп
- •Методы измерения параметров электромагнитных полей
- •Оптические методы получения информации
- •Оптическая микроскопия
- •Измерения геометрических размеров объекта с помощью оптического микроскопа
- •Лабораторные работы Лабораторная работа №1 Исследование преобразователя Холла
- •Эффект Холла
- •Датчики Холла (дх)
- •Типы датчиков Холла
- •Основные характеристики линейных датчиков Холла
- •Результаты измерения выходного сигнала дх
- •Результаты вычисления погрешностей измерений
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа №2 исследование постоянного магнитного поля преобразователем на основе датчика холла
- •Характеристики преобразователей ss59
- •Результаты проверки характеристик датчиков Холла
- •Характеристики источников питания
- •Первичные результаты измерений в отсутствие мп
- •Первичные результаты измерений в мп
- •Итоговая таблица исследований мп источника
- •Контрольные вопросы
- •ИсследованиеИнтенсивности магнитного поля электроприборов
- •Электрические параметры гмрп в режиме максимальной магнитной чувствительности
- •Основные характеристики миллитесламетра
- •Результаты измерений интенсивности мп Электроприборов
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа №4 Измерение плотности потока электромагнитной энергии, излучаемой свч-печью.
- •Результаты измерения параметров эмп объекта
- •Погрешности измерений
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа 5 принципы получения стереоизображения. Применение стереоизображений при исследовании микрообъектов
- •Результаты измерения размеров элементов объекта
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа №6 изображения малых объектов, влияние волновой природы света на параметры оптических приборов
- •Результаты измерений элементов структуры
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа 7 использование явления интерференции в измерительной практике
- •Результаты измерения высоты рельефа объекта
- •Результаты определения толщины слоев окисла по цвету
- •Лабораторная работа 8 применение явления люминесценции в физических исследованиях
- •Результаты исследования образцов в свете люминесценции
- •Контрольные вопросы.
- •Требования к выполнению лабораторной работы Указания по подготовке к лабораторной работе
- •Требования к оформлению отчета по лабораторной работы
- •Интерференционные цвета плёнок SiO2 на пластинах монокристаллического кремния
- •Лабораторная работа №___
- •Название лабораторной работы
Результаты измерений элементов структуры
Таблица 6.1
№ |
di,мкм |
|
|
∆dсум | |
1 |
|
|
|
|
|
2 |
| ||||
3 |
| ||||
4 |
| ||||
5 |
|
Убрать образцы и детали микроскопа на место и выключите осветитель.
Снять конденсорную насадку с объективов, определить по маркировке параметры объективов, в том числе апертуру Аоб.
Обработка результатов измерений
Вычислить среднее значение из n измерений
Определить среднеквадратичную ошибку среднего арифметического
Задать значение надежности (в ЛР обычно берут P= 0.95).
Определить коэффициент Стьюдента t(табл.П1) для заданной надежности P и числа степеней свободык=n-1. Найти доверительный интервал (погрешность измерения)
За величину погрешности прибора δ принять половину цены деления шкалы окуляр-микрометра. Если величина погрешности результата измерения Δx окажется сравнимой с величиной погрешности прибора δ , то в качестве границы доверительного интервала взять .
Если одна из ошибок меньше другой в три или более раз, то меньшую отбросить. Окончательный результат записать в виде d
Оценить относительную погрешность результата измерений
Рассчитать площадь элемента Aи относительную погрешность измерения площади
Пользуясь формулой для разрешающей способности рассчитайте разрешающую способность микроскопа при различных длин волн света в диапазоне от 200 до 800 нм через 50 нм., результаты расчета представьте в табл.2.2. и в виде графиков зависимости разрешающей способности микроскопа от длины волны.
Зависимость разрешающей способности микроскопа от длины волны света
Таблица 6.2
№ |
Аоб1= |
Аоб2= | |||
λ |
ε |
λ |
ε | ||
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
|
Контрольные вопросы
В чем проявляется волновая природа света?
Опишите устройство биологического микроскопа и укажите назначение его основных частей.
Изобразите ход лучей в микроскопе.
Дайте определение параметрам: предел разрешения и разрешающая способность микроскопа, апертурный угол объектива.
Какое максимальное увеличение используется в оптических измерениях? Почему?
Укажите способы увеличения разрешающей способности микроскопа.
Как влияет размер апертурной диафрагмы на изображение?
Как влияет размер полевой диафрагмы на изображение?
Какие лучи используются при светлопольном режиме? При темнопольном режиме?
Изобразите ход лучей в микроскопе для светлопольного и темногопольного режима.
Какие элементы БИС лучше видны в темнопольном режиме? Почему?
Для чего используется темнопольный режим работы микроскопа7