- •Межатомное расстояние
- •1.4 Легированные полупроводники р-тип и n-тип проводимости.
- •1.5 Электронная зонная структура полупроводника.
- •1.6. Зависимость плотности состояний носителей заряда от энергии в полупроводниковом материале.
- •3.1 Неравновесные носители заряда.
- •Поверхностная безизлучательная рекомбинация через энергетические состояния поверхностных оборванных связей.
- •4.1 Бинарные полупроводниковые материалы.
- •4.2 Твердые растворы бинарных полупроводниковых соединений.
- •Уникальный твердый раствор Al X Ga 1-X As Во всем диапазоне изменения составов параметр решетки изменяется меньше чем на 0.5 %.
- •4.3 Четверные твердые растворы.
- •Жидкостная эпитаксия.
- •Газовая эпитаксия из металлорганических соединений и гидридов.
- •Молекулярно-пучковая эпитаксия.
- •5.1. Первое условие: создание инверсной заселенности в активной среде.
- •Рассматриваем:
- •5.5. При выполнении всех четырех условий создается полупроводниковый лазер
- •7.1 Гетеропереход.
- •Гетеропереходы ι рода.
- •7.3. Формирование p-n гетероперехода.
- •7.4 Ток через p-n гетеропереход ι рода.
- •Преимущества двойной лазерной гетероструктуры:
3.1 Неравновесные носители заряда.
Равновесное термодинамическое состояние - количество генерируемых носителей заряда и рекомбинирующих равны.
no = po (18)
Неравновесное термодинамическое состояние. При условии инжекции неравновесных носителей заряда возникает некоторый избыток носителей заряда сверх равновесной концентрации.
Δn = n - no Δp = p - po (19)
Возникает условие преимущественных переходов из возбужденного состояния в равновесное. Акт перехода пары электрон дырка в равновесное состояние с потерей энергии в виде излученного фотона называется излучательной рекомбинацией.
Рис.21. Зонная структура прямозонного полупроводника иллюстрирующая излучательную рекомбинацию.
Функция распределения электронов в зоне проводимости (20) и дырок в валентной зоне(21)
(20)
(21)
Энергия электрона в зоне проводимости и дырок в валентной зоне, ширина запрещенной зоны и энергия излучаемого фотона (ΔЕЕ, ΔЕН, Еg и hν)
ΔЕЕ + ΔЕН + Еg = hν (22)
В связи с распределением носителей заряда по энергетическим состояниям в соответствии с плотностью состояний в валентной зоне и зоне проводимости распределение фотонов по энергии представляет спектр спонтанной рекомбинации (люминесценции) (рис.21).
Рис.22. Спектральная зависимость рекомбинации, люминесценции, фотолюминесценции при комнатной температуре.
Способ создания неравновесного состояния: инжекция носителей в п – р переходе, облучение электромагнитным излучением и другие.
3.2 Время жизни неравновесных носителей заряда.
gn – темп инжекции электронов. Rn – темп аннигиляции (рекомбинации) электронов.
Rn = (n - no ) /τn = Δn/ τn (23)
τn – Среднее время жизни неравновесных электронов в зоне проводимости.
1/ τn – вероятность рекомбинации (аннигиляции) неравновесных электронов из зоны проводимости в единицу времени.
dΔn/dt = gn-Rn = gn- Δn/ τn (24)
Δn = gn τn – C exp (–t/ τn) (25)
τn - время за которое концентрация неравновесных носителей снижается в е-раз.
Определение верно только при малых Δn. При больших концентрациях неравновесных носителей время жизни зависит от концентрации.
3.3 Излучательная рекомбинация неравновесных носителей заряда.
Излучательная рекомбинация это аннигиляция электрона и дырки с излучением кванта света, кванта энергии близкой к ширине запрещенной зоны полупроводникового материала. Чаще всего рекомбинация осуществляется между частицами с сохранением квазиимпульса к.
Спонтанное излучение – рождение фотона в результате акта рекомбинации электрона и дырки происходящего самопроизвольно, в непредсказуемый момент времени. Рожденный фотон имеет случайное направление движения.
Излучательная рекомбинация (типы излучательной рекомбинации):
Зона – зона Зона - примесь Примесь – примесь
3.4 Прямозонные и непрямозонные полупроводники. Кремний и германий непрямозонные полупроводники.
Рис. 23. Выше приведены примеры зонных структур для самых распространенных полупроводниковых материалов кремния (а) и арсенида галлия (б). Кремний является не прямозонным полупроводником, а арсенид галлия прямозонным полупроводником.
Излучательная рекомбинация наблюдается в прямозонных полупроводниках и осуществляется посредством прямых переходов при рекомбинации электрона и дырки.
3.5 Безизлучательная рекомбинация электронов и дырок в полупроводниковом материале.
Безизлучательная рекомбинация это аннигиляция электрона и дырки без излучения кванта света, энергия рассеивается внутри кристалла с выделением тепла. Чаще всего рекомбинация осуществляется между частицами с сохранением квазиимпульса к.
Типы безизлучательной рекомбинации:
-
Оже рекомбинация преобладает в узкозонных полупроводниках. Происходит с участием третьей частицы. Процесс Оже рекомбинации пропорционален n3.
Рис. 24. Различные виды процессов Оже-рекомбинации.
-
Рекомбинация через энергетические уровни естественных кристаллических дефектов.
В реальных кристаллах может содержаться значительное количество дефектов , сложных комплексов и микроскопических включений. Очень часто они обладают непрерывным или квазинепрерывным энергетическим спектром и электроны и дырки безизлучательно рекомбенируют через них.
Рис. 25. Дефекты кристаллической решетки: а- идеальная решетка, б- дефект по Шоттки, в- дефект по Френкелю.
Рис.26. Дефекты возникающие в результате несоответствия параметров решетки.
Рис.27. Дефекты кристаллической решетки, возникающие на границе двух эпитаксиальных слоев (интерфейс) и прорастающие в слой дислокациями.