Отчет ДП практика

Министерство образования и науки Российской Федерации

Федеральное агентство по образованию

Саратовский Государственный Технический Университет

Кафедра «Электронное машиностроение и сварка»

ОТЧЕТ

О преддипломной практике

Студента гр. ЭМС-52 МСФ

Алаторцев Сергей Владимирович

2008

1. Место прохождения и время практики: г.Саратов, СГТУ. 02.02.09 г.- 15.03.09 г.

2. Задание (тема дипломного проекта): Модернизация вымораживателя и нагревателя установки автоматической отчистки неагрессивных газов

3. Руководитель практики: Мазилкин Валерий Анатольевич.

4. Результаты прохождения практики

4.1 Календарный график прохождения практики (с указанием)

4.2 Перечень изученных нормативных документов:

ГОСТ НАЗВАНИЕ

2.701-84 Схемы. Виды и типы. Общие требования к выполнению.

2.721-74 Обозначение условные и графические в схемах. Обозначения общего применения.

2.412-81 Правила выполнения чертежей и схем оптических изделий.

2.420-69 Упрощенные изображения подшипников качения на сборочных чертежах.

2.770-68 Обозначение условные и графические в схемах. Элементы кинематики.

2.703-68 Правила выполнения кинематических схем.

2.704-76 Правила выполнения гидравлических и пневматических схем.

2.780-68 Обозначения условные графические. Элементы гидравлических и пневматических сетей.

2.781-68 Обозначения условные графические. Аппаратура распределительная и регулирующая гидравлическая и пневматическая.

9833-73 Кольца резиновые уплотнительные круглого сечения для гидравлических и пневматических устройств. Конструкция и размеры.

18829-73 Кольца резиновые уплотнительные круглого сечения для гидравлических и пневматических устройств. Технические условия.

6540-68 Гидроцилиндры и пневмоцилиндры. Роды основных параметров.

15608-81 Пневмоцилиндры поршневые. ТУ.

2.784-70 Обозначения условные графические. Элементы трубопроводов.

3.2789-73, 2.309-73 Шероховатость поверхности.

2.797-81 (ст сэв 2517-80) Правила выполнения вакуумных схем.

2.796-81 (ст сэв 2181-80) Обозначения условные графические в схемах. Элементы вакуумных схем.

5197-70 Вакуумная техника. Термины и определения.

15.001-95 Разработка и постановка продукции на производство.

2.605-68 Плакаты учебно-технические.

4.3 Описание и назначение объекта производства, сравнение конструкции с аналогами.

Сейчас рассмотрим некоторые типовые установки для очистки газов от примесей. Очищают газы (азот и аргон) от кислорода и влаги в специаль­ных установках, типовая схема одной из которых показана на рис. 1.

Азот и инертные газы очищают с добавкой трех долей водорода, выраженных в процентах, поступающего в систему через дозатор 3. Добавка водорода необходима для связывания примесного кисло­рода, имеющегося в очищаемом газе. В результате взаимодействия водорода с кислородом образуется вода.

При работе установки газы, поступающие через ротаметры 1 и 2 из централизованной сети, вначале очищают от кислорода, пропус­кая их через реактор 4 с палладированным алюмогелем при скорости не выше 2500 объемов в час на 1 объем палладированного алюмогеля при рабочей температуре в реакторе не выше 300 °С. Содержание кислорода в газе при таком режиме должно быть не более 2*10^-4 долей, выраженных в процентах. Избыточный водород поглощается окисью меди, нанесенной на активный глинозем, в ре­акторе 5.

Рис. 1. Установка очистки газов (азота, аргона) от кислорода и влаги:

/, 2 — ротаметры для водорода и аргона (азота), 3 —дозатор водорода, — реактор с палладированным алюмогелем, 5 — реактор с окисью меди, 6— холодильник, 7 — адсорберы, 8 — запорные вентили, 9 — нагреватели очищенного азота (воздуха) для регенерации адсорбентов, 10 — фильтр.

Для исключения конденсации паров воды реакторы 4 и 5 подогреваются. Затем нагретый в результате очистки от кислорода до температуры не выше 15 °С газ охлаждается в водяном холодильнике 6, а образующаяся при конденсации паров влага удаля­ется из холодильника в слив. После этого газ осушают в двух по­очередно работающих адсорберах 7, управляемых вентилями 8, причем в одном адсорбере производится осушка газа, а в другом — регенерация адсорбента. В качестве адсорбента применяют силикагель (пористый гель кремниевой кислоты), алюмогель (активи­рованную окись алюминия) или цеолиты (полигидраты алюмосиликагеля). Осушенный газ, прошедший выходной фильтр 10, имеет точку росы не выше -70 °С.

Для регенерации адсорбентов используют предварительно подо­гретые в нагревателе 9 азот или воздух, не содержащие масляных паров. Температура регенерации силикагеля 130÷200 °С, а цеолитовых адсорбентов 350÷400 °С. Регенерация считается оконченной, если температура азота (воздуха) на выходе из адсорбера достига­ет 130÷150 °С при регенерации силикагеля и 300 °С при регенерации алюмогеля и цеолитов, а также, если при внесении в поток выходя­щего газа медного хромированного зеркала (при комнатной темпе­ратуре) на нем не осаждается влага.

Установки, предназначенные для очистки водорода от кислорода и влаги, а также кислорода от водорода и влаги, не имеют ротамет­ра 1, дозатора водорода 3 и реактора 5 с окисью меди, а в осталь­ном аналогичны установкам, применяемым для очистки инертных газов.

Для более высокой степени очистки (близкой к спектральной) водорода, необходимого для процессов эпитаксиального наращива­ния пленок, применяют диффузионный метод, заключающийся в пропускании этого газа через металлическую перегородку (мемб­рану), изготовленную из сплава палладия с платиной, золотом или серебром. В результате диффузии получают очищенный газ с со­держанием кислорода не выше 1*10^-5 долей, выраженных в про­центах, и точкой росы -70 °С.

Воздух осушают на автоматической установке, пока­занной на рис. 2.

Для этого его подают через четырехходовой кран 2 в левый адсорбер 1 с силикагелем. Проходя через силикагель, воздух освобождается от влаги и через другой четырехходовой кран 7 подается потребителю.

При осушке воздуха адсорбент нагревается и постепенно теряет способность поглощать пары воды. Поэтому адсорберы охлаждают водой, проходящей по змеевикам 10 и сбрасываемой в слив через обратный клапан 8. Наивысшую влагоемкость адсорбент имеет при охлаждении до 20 °С и ниже. Для восстановления работоспособно­сти адсорбента его регенерируют поочередно в каждом адсорбере. Так, силикагель в правом адсорбере 6 регенерируется во время ра­боты левого 1.

Рис. 2. автоматическая установка осушки воздуха

1,6— адсорберы с силикагелем, 2, 7— четырехходовые краны, 3 — пневмопривод, 4 — электрический подогреватель воздуха, 5 — электро­магнитный вентиль, 8 — обратный клапан, 9 — электроконтактный тер­мометр,

10 — змеевик холодильника

Регенерация осуществляется воздухом, который при открытом электромагнитном вентиле 5 нагревается до заданной температуры электрическим подогревателем 4, додается через четырехходовой кран 2 в правый адсорбер 6 и, пройдя его, сбрасывается в атмо­сферу. Управление потоками воздуха в таких установках произво­дится автоматически с помощью пневмопривода 3, синхронно пере­ключающего четырехходовые краны 2 и 7. Датчиками системы ав­томатики служат электроконтактные термометры расширения 9.

Водород, применяемый для получения гидри­да титана, очищается посредством диффузии че­рез палладиевые или никелевые трубки. Аппарат для очистки водорода (рис. 3) представляет собой стеклянный баллон, соединенный с откачной системой, в которой находится обезгаженный ти­тан, через коваровый цилиндр с герметично при­паянными к нему палладиевыми или никелевыми трубками. На трубки надет кварцевый цилиндр, на котором помещается нагревательная обмотка. Стеклянный баллон охлаждается водой с целью устранения газовыделения из стекла.

При использовании трубок из ни­келя водород очищается в основном от кислорода. Другие газы диффун­дируют вместе с водородом.

Гидрид титана полностью со­храняет свои свойства при пребы­вании на воздухе в течение длительного времени. Это позволяет отказаться от насыщения титана водо­родом после вакуумной обработки прибора и использовать предвари­тельно насыщенный титан, устанавли­вая генератор так, чтобы температура его прогрева при откачке не превыша­ла 200 °С. Это предохраняет генератор от значительных потерь водорода и позволяет применять откачку водо­родных тиратронов на полуавтомате.

На равновесные свойства системы титан — водород сильное влияние ока­зывает количество содержащегося в титане кислорода. При концентрации кислорода до 0,8 атом. % равновес­ные свойства заметно не меняются, в пределах 0,8—1 атом. % ско­рость поглощения водорода значительно замедляется, а при концен­трации выше 1,0% титан практически не поглощает водород. Прогрев титана до температуры 800 °С в атмосфере углекислого газа при дав­лении до 0,2 кПа практически не изменяет равновесных свойств си­стемы титан — водород.

Для очистки воздуха и других газов от механических примесей применяют фильтры ФАГ, устанавливаемые непосредственно в га­зовых магистралях, служащие один год. В обозначении фильтров указана их производительность. Фильтры с производительностью от 25 до 200 м³/ч (ФАГ-25—ФАГ-200) предназначены для предвари­тельной очистки газа, так как улавливают частицы размером до 0,5 мкм, а фильтры ФАГ-01—ФАГ-6 —для более глубокой очистки и задерживают частицы размером до 0,1 мкм.

Рис. 3 Схема аппарата для очистки водорода

1 — стеклянный баллон, 2— коваровый цилиндр 3 — трубки из никеля или палладия 4 — кварцевый цилиндр, 5 — нагревательная обмотка, 5 — холодильник.

Выпускаются фильтры двух исполнений: металлические (про­изводительностью от 1,5 м³/ч и более) и пластмассовые (производи­тельностью до 1,5 м³/ч). Металлические фильтры более долговечны, так как в них можно заменять фильтрующий элемент.

Контроль газов на содержание примесей. Применяемые способы получения водорода, аргона, гелия и других газов не обеспечивают их абсолютной чистоты. Как правило, в этих газах всегда имеются водяные пары, кислород и небольшие количества других примесей, таких, как С1₂, SO₂, H₂S, углеводородов и т.д. Однако на практике контроль газов, используемых в печах в качестве защитных атмосфер, производят лишь на наличие в них кислорода и водяных паров, по кото­рым уже давно установлены и предельно допустимые нормы.

Это объясняется не только тем, что отсутствуют точ­ные приборы для контроля всех возможных примесей, а также и тем, что при очистке газов от кислорода и во­дяных паров концентрация остальных примесей также снижается.

Для измерения количества водяных паров и кисло­рода, загрязняющих рабочие газы, существует множест­во приборов, основанных на самых различных принци­пах действия. Но для всех таких приборов характерно одно общее свойство: чем меньшую концентрацию при­месей они должны измерять, тем большую они дают ошибку, поскольку при этом большее число факторов сказывается на достоверности результатов.

Трудность измерения малых концентраций примесей в газах частично обусловлена ограниченностью чувстви­тельности используемых индикаторов. Но главная при­чина — это опять-таки кинетические процессы, сходные с уже рассмотренными нами при очистке газов. Ведь контакт всех молекул примеси с индикатором практиче­ски не осуществим.

На надежную работу индикатора, предназначенного для контроля одной примеси, иногда влияют другие примеси, пассивирующие активную поверхность индикатора. О существовании таких примесей в газах тех­нологи часто не догадываются, и при этом ошибочные показания контрольных приборов принимают за досто­верные.

Опыт показал, что развитие измерительной тех­ники для определения малых концентраций примесей в газах отстает от техники получения и очистки газов, позволяющей в настоящее время достигать такой степени чистоты, что остающиеся в них примеси не могут быть обнаружены даже самыми чув­ствительными приборами.

Остановимся вкратце на пригодных для электрова­куумной техники современных методах контроля малых примесей кислорода и паров воды в газах низкого дав­ления.

Контроль влажности. Наиболее распространенный и надежный, хотя и старый, метод измерения влажности основан на измерении температуры точки росы контро­лируемого газа. Прибор такого типа в лабораторном ис­полнении изображен схематически на рис. 4.

Рис. 4. Лабораторный измеритель влажности, основанный на измерении температуры точки росы газа:

/ — стеклянный баллон. 2 — резиновая пробка; 3 — металлический нике­лированный цилиндр, 4 — медный стержень, 5 — ртутный термометр

Через стеклянный баллон (1) пропускают исследуе­мый газ. В горловине баллона при помощи резиновой пробки (2) закреплен отполированный до зеркальной поверхности никелевый цилиндр (3), частично запол­ненный этиловым спиртом. Погружая медный стер­жень (4), предварительно охлажденный жидким возду­хом, в цилиндр со спиртом, понижают его температуру и при этом наблюдают, при какой температуре начинает выпадать роса на поверхности цилиндра.

Эту температуру, измеренную термометром (5), и называют температурой точки росы данного газа или сокращенно — точкой росы.

Такой прибор можно быстро изготовить в любом лаборатории, где имеется какой-либо хладагент (жид­кий воздух, твердая углекислота). Точность и воспроиз­водимость показаний прибора во многом зависят от натренированности оператора, поскольку момент выпадения росы на охлажденной поверхности цилиндра контролируется визуально.

Рис. 5. Принципиальная схема прибора ВИГ-2:

/ — баллон с углекислотой, 2 — вентиль; 3 — трубка для подачи угле­кислоты, 4 — стаканчик, 5 — хромелъ-копелевая термопара; 6 — милли­вольтметр, 7 — подвод исследуемого газа; 8 — отвод газа; 9 — источник света (6,3 в; 7,5 вт), 10 — фотосопротивление, 11 — колпачок из органи­ческого стекла.

Ошибки в показаниях прибора обусловлены и другими факторами, например некоторы­ми неизбежными расхождениями в температурах ци­линдра и термометра. На точность показаний прибора влияет также чистота поверхности цилиндра. Наличие на ней жировых пленок, не смачиваемых водой, зани­жает температуру точки росы. Поэтому время от вре­мени необходимо обезжиривать цилиндр прибора.

Для более равномерного поглощения водяных паров поверхностью по всей длине электролитической ячейки скорость потока газа через нее устанавливают в соот­ветствии с влажностью исследуемого газа, а именно: наибольшую (около 100 мл/мин) при влажности, соот­ветствующей температуре точки росы -(40÷90) °С, или наименьшую (около 30 мл/мин) при влажности, соот­ветствующей температуре точки росы -(10÷30) °С. Влажные газы (с температурой точки росы выше -10 °С) контролировать при помощи указанной элек­тролитической ячейки с фосфорным ангидридом недо­пустимо, так как адсорбент становится жидким и выте­кает из трубки.

Регенерация электролитической ячейки осущест­вляется пропусканием через нее электрического тока, однако время от времени она все же нуждается в за­мене.

Электролитическая ячейка с фосфорным ангидридом уязвима по отношению ко всем тем примесям в иссле­дуемых газах, которые химически реагируют с фосфор­ным ангидридом или понижают его сорбционные свой­ства (пары углеводородов и спирта, аммиак и др.). По­этому при контроле влажности газов, содержащих та­кие примеси, возникают ошибки измерения, а электри­ческие ячейки быстро выходят из строя. Второй недо­статок приборов этого типа — инерционность при бы­стрых колебаниях влажности исследуемого газа.

Приборы, основанные на этом принципе действия, позволяют вести непрерывную регистрацию данных о влажности на самописце: они портативны и удобны в эксплуатации, а их ошибки при должном соблюдении правил обращения не превышают 5%.

Технолог часто нуждается в измерениях влажности газа непосредственно в печах отжига. Поскольку газ из печи отбирается при помощи зондов, необходимо свести к минимуму ошибки, обусловленные сорбционными явлениями на стенках соединительных трубок, используемых для подключения прибора. Длина трубок должна быть малой, а их внутренняя поверхность – чистой.

4.4 Анализ технологичности объекта производства.

Газы, используемые при отжиге в качестве восстановительных или нейтральных сред, могут иметь различные загрязнения, ухудшающие качество деталей. Основные процессы изготовления полупроводниковых приборов выполняют в защитных газовых средах высокой чистоты (водород, азот, аргон и смеси этих газов). Применяемые в производстве полу­ проводниковых приборов газовые среды делятся на восстановительные (водород и его смеси с инертными газами) и нейтральные (азот и инертные газы).

Основным видом восстановительной среды является водород, Замена водорода другими газами возможна, если водород оказыва­ет вредное воздействие на обрабатываемые материалы или по усло­виям работы недопустимо применение взрывоопасной среды. Инертные газы в качестве нейтральных применяют в тех случаях, когда азот, так как он вступает в реакцию с обрабатываемыми ма­териалами (титан, сталь, карбид кремния и др.), использовать нельзя.

Из всех примесей, встречающихся в водороде, аргоне, азоте, вредное влияние на качество полупроводниковых приборов при их изготовлении оказывают в основном кислород и пары воды. Чем меньше содержание влаги в каком-либо газе, тем при более низкой температуре она начинает конденсироваться. Температуру, при ко­торой происходит конденсация влаги, содержащейся в газе, назы­вают точкой росы. Естественно, что чем ниже точка росы, тем мень­ше влаги содержится в газе.

Газы, поставляемые специализированными предприятиями, по своим параметрам не удовлетворяют требованиям, предъявляемым технологическими процессами производства полупроводниковых приборов. Так, в водороде и азоте соответственно содержится 0,2 и 0,5 долей кислорода, выраженных в процентах, а паров воды — 0,5 и 0,07г/м³.

Более чистым является аргон, содержащий 0,003 долей кислоро­да, выраженных в процентах, и 0,03 г/м³ паров воды.

Очищенные в достаточной степени от кислорода и паров воды, газы способствуют созданию условий для безокислительного нагре­ва деталей полупроводниковых приборов во всех технологических процессах их производства.

В производстве полупроводниковых приборов применяют сле­дующие газы:

-водород по ГОСТ 3022—70 марки А, азот по ГОСТ 9293—59 сорт I и аргон чистый по ГОСТ 5457—70, дополнительно очищенные до содержания кислорода не более 2*10^-4 долей, выраженных в процентах, и паров воды не более 2,8 мг/м³ (точка росы —70° С);

-кислород по ГОСТ 5583—68 сорт I, дополнительно очищенный до содержания водорода не более 1*10^-3 долей, выраженных в про­центах, и паров воды не более 5 мг/м³ (точка росы —63°С);

-воздух, очищенный и осушенный до содержания паров воды не более 123 мг/м³.

4.5 Технологический процесс изготовления объекта производства.

Рабочий цикл установки состоит из двух операций очистка газов и контроль. Операция очистка газов выполняется в следующей последовательности:

1. Устанавливаются и подсоединяются к установке баллоны с технологическими газами (водородом, кислородом, азотом, гелием). Открываются вентили подачи рабочего газа – воздуха и азота.

2. Открываются вентили на баллонах с технологическими газами, баллонными редукторами устанавливается давление 0,2 ÷ 0,25 МПа. Открываются вентили «Продув 1» всех газов (Н₂, О₂, N₂, Не) для продува магистрали подвода газов в течение 1 мин. Вентили «Продув 1» закрываются. Открываются вентили «Подача 1» (Н₂, О₂, N₂, Не) и магистральные вентили, находящиеся на лицевой панели установки. По манометрам регуляторами давлений устанавливается давление технологических газов в каждой магистрали 0,04 МПа.

3. Нажатием кнопки на пульте производится заполнение спиртом вымораживателя. Спирт исполняет роль промежуточного теплоносителя, осуществляющего отвод и передачу тепла от трубок змеевика, по которым продувают технологические газы, жидкому азоту.

4. Нажатием кнопки на пульте производится подача жидкого азота для охлаждения спирта.

5. При достижении температуры -100 °С в вымораживателе, загорается табло «Вымораживатель 1 готов» на пульте.

6. Включается тумблер «Очистка 1» на панели пульта. Газ проходит через фильтры механической очистки, змеевик вымораживателя, проходит выходные фильтры механической очистки и подается потребителю. При прохождении газа через фильтры механической очистки газ очищается от частиц механических загрязнений размером более 7 мкм. В вымораживателе газ осушается от примеси воды.

Стабильное качество осушки газа обеспечивается автоматическим поддержанием температуры промежуточного теплоносителя в пределах -80÷-100 ⁰С, что обеспечивает точку росы осушаемого газа не выше -40 ⁰С.

Операция контроль осуществляется потребителем газа. При этом контролируется параметр точка росы.

4.6 Обоснование выбранного варианта технологического процесса.

В разрабатываемой установке я применил технологический процесс осушки газов путем пропускания их через вымораживатель. Были рассмотрены различные варианты технологических процессов, и после рассмотрения их достоинств и недостатков был выбран способ осушки низкой температурой. Ниже приведены недостатки других способов и преимущества криогенного способа осушки.

Применение химических реактивов дает очень высокую степень осушки газов, но такой способ пригоден лишь для лабораторный целей и для процессов с малым потреблением газа. В производственных же условиях всегда возникают трудности с заменой отработанных реактивов или с восстановлением их реакционной способности.

Высокую степень осушки и очистки газов получают при пользовании криогенной техники. При этом теплообменник погружают в сосуд с жидким воздухом, азотом или промежуточным теплоносителем. При малых расходах газа и удачной конструкции теплообменника, теоретически этим способом можно получить осушку газов вплоть до температуры точки росы, соответствующей температуре кипения азота (-196 °С). Наряду с парами воды при этом вымораживаются и все другие газы-примеси, у которых температура кипения выше температуры кипения азота.

Также в условиях современного производства жидкий азот производится на самом предприятии и обладает низкой стоимостью. При чем этот метод осушки проще всего автоматизировать.

4.7 Обоснование необходимости и основных направлений разработки.

Основными направлениями являются автоматизация процесса очистки и контроля качества очистки технологических газов.

Автоматизация осуществляется на основе микропроцессорной техники и применения современных анализаторов состава газа.

Автоматизация позволяет повысить производительность, качество продукции и снизить себестоимость.

4.8 Перечень графического и текстового материалов по теме дипломного проекта:

4.8.1 Перечень графических документов

1. Технологический процесс ……………………………………….. А1, 1 л

2. Схема газовая ………………………………………………………А1,1

3. Установка автоматической откачки неагрессивных газов……...А1, 1 л

4. Вымораживатель …………………………………………………..А1, 1л

5. Нагреватель ………………………………………………………А1, 1 л

6. Деталировка………………………………………………………. А1, 1 л

7. Технология изготовления шестерни ……………………………..А1, 1 л

4.8.2 Перечень текстовых материалов

1. Техническое описание установки

2. Эскиз и технические требования к установки автоматической очистки неагрессивных газов

3. Техническое задание на разработку установки

4. Технические условия на изготовление установки

5. Исходные данные для технико-экономического обоснования

6. Исходные данные для раздела БЖД

4.9 Задание на дипломное проектирование

4.9.1 Целевая установка

Целью работы является разработка режимов технологического процесса пайки метало – керамического изолятора, модернизация технологических камер агрегата, и модернизация механизма подъёма технологических камер.

4.9.2 Графическая часть (см п. 4.8.1)

4.9.3 Пояснительная записка

1. Реферат

2. Введение

3. Основная часть. Технико-экономический анализ.

4. Технология оборудования.

5. Расчетно-конструкторская часть основных узлов

6. Технология изготовления изделий

7. Организация конструкторской подготовки производства

8. Расчёт экономической эффективности оборудования

9. Безопасность и экологичность эксплуатации вакуумной печи

10. Заключение

11. Список использованных источников

4.9.3 Перечень исходной литературы

1. Оконский И.С., Осокин А.А., Федюков Ю.С. Процессы и аппараты кислородного и криогенного производства.: Учебное пособие. - М.: Машиностроение, 1985.-256с: ил.

2. Александрова А.Т. Оборудование электровакуумного производства. Учебное пособие для вузов. М., Энергия, 1974

3. Справочник металлиста Т1 Под. ред. С .А. Чернавского, В.Ф.Рещикова. М: Машиностроение, 1990

4. Моряков О.С. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства. Учебное пособие для проф. техн. учебн. заведений. – М «Высшая школа», 1981

5. Куркин В.Н. Основы расчёта и конструирования оборудования электровакуумного производства. – М.: «Высшая школа», 1971

6. Пянко А.Ц. и др. Конструирование и расчет вакуумных систем. 3 – е изд., перераб. и доп. – М.: Энергия, 1979

7. Иванов М.Н. Детали машин: Учебное пособие для студентов высш. техн. учебн. заведений – 5 – е изд., перераб., - М: Высшая школа, 1991

8. Дунаев П.Ф., Лёликов О.П. Конструирование узлов и деталей машин. Учебное пособие для машиностроит – х спец. вузов – 4 – е изд., перераб. и доп. – М: Высшая школа, 1985

9. Справочник конструктора машиностроителя под. ред. В.И.Анурьева в 3 – х томах – 5 – е изд. перераб. и доп. – М.: Машиностроение, 1980