Бустерные паромасляные
Насосы вакуумные бустерные паромасляные - Предназначены для откачки газов и паров, не агрессивных к материалам конструкции и рабочей жидкости насоса. Насосы применяются для комплектации вакуумсушильных и пропиточных установок в производстве конденсаторов в электротехнической промышленности, а также в других отраслях промышленности для вакуумных установок с большим газовыделением.
Используются в стационарных условиях во взрывоопасных помещениях. Бустерный паромасляный насос 2НВБМ. Насос рассчитан на работу с форвакуумным насосом во взрывозащищенном исполнении Принцип работы насоса основан на использовании в качестве откачивающего элемента высокоскоростной паровой струи и аналогичен работе насоса НВДМ. Условное обозначение: Н - насос (А - агрегат); В - вакуумный; Б - бустерный; М - масляный. Цифры после букв - диаметр условного прохода (мм). Насосы типа НВБМ самостоятельно не применяются и входят в состав агрегатов. Агрегат состоит из насоса, азотной ловушки, вакуумного затвора, термореле, рамы или плиты. В свою очередь, агрегат используется совместно с форвакуумным насосом, который откачивает из выходного патрубка выбрасываемую рабочую среду совместно с откачиваемым газом. Азотная ловушка предназначена для предотвращения проникновения паров рабочей жидкости из диффузионного насоса в откачиваемую среду путем конденсации ее на элементах вымораживающего устройства, охлажденных жидким азотом.
Сорбционные насосы
В сорбционных насосах используют способность некоторых веществ (например, Ti, Mo, Zr и др.) поглощать газ. Откачиваемый газ оседает на поверхности внутри вакуумной системы. Один из активных поглотителей постоянно напыляется на поглощающую поверхность (испарительный насос). Поглотителем может быть также пористый адсорбент (Адсорбционный насос).
Действие ионных
насосов основано на ионизации газа
сильным электрическим разрядом и
удалении ионизованных молекул
электрическим полем. Этот способ мало
распространён из-за сложности устройства
и большой потребляемой мощности,
затрачиваемой главным образом на
создание магнитного поля. При комнатной
температуре инертные газы и углеводороды
практически не поглощаются напылёнными
плёнками металлов. Для их удаления
служат комбинированные ионно-сорбционные,
или ионно-геттерные, насосы, в которых
сорбционный способ поглощения химически
активных газов сочетается с ионным
способом откачки инертных газов и
углеводородов. Поглощающая поверхность
обновляется осаждением на стенках
термически испаряемого титана, а также
катодным распылением титана в электрическом
разряде или в магнитном поле в
электроразрядных или магниторазрядных
ионно-сорбционных насосах. Ионно-сорбционные
Вакуумный насос при предварительной
откачке до 10-2 н/м2 (до 10-4 мм рт. ст.) создают
вакуум до 10-5 н/м2 (10-7 мм рт. ст.). Быстрота
откачки зависит от рода газа. Например,
быстрота откачки водорода 5000 л/сек,
азота 2000 л/сек, аргона 50 л/ сек. Достигаемое
предельное давление в хорошо обезгаженных
объёмах и без натекания газа ниже 10-8
н/м2 (10-10 мм рт. ст.).
Действие конденсационных, или криогенных, насосов основано на поглощении газа охлажденной до низкой температуры поверхностью (рис. 10). Водородно-конденсационный насос, предложенный Б. Г. Лазаревым с сотрудниками (Физико-технического институт АН УССР), имеет постоянную быстроту откачки в широком диапазоне давлений. Охлаждающий жидкий водород вырабатывается ожижителем, находящимся в установке. Неконденсируемые газы (водород, гелий) откачиваются параллельно включенным насосом, например диффузионным. Для включения такого насоса необходимо предварительное разрежение.