Выбор вакуумной системы установки
Помимо варианта схемы откачки, представленного на первом листе, рассматривались еще два варианта схем откачки (см. Рис. 1), которые можно было использовать в установке.
Рис. 1. Альтернативные варианты вакуумных систем
С учётом предъявленных к системе требований по рабочему и предельному давлению в рабочей камере выбран вариант, представленный на первом листе курсового проекта, так как он является наиболее приемлемым и правильным с точки зрения обеспечения безмаслянного вакуума. Предложенная схема проста, компактна, полностью отвечает предъявленным к ней требованиям. Кроме того, выбранная схема откачки имеет наименьшие вибрации по сравнению с вариантом 3 благодаря использованию магниторазрядного насоса.
2. Циклограмма работы установки
После загрузки рабочей камеры происходит откачка рабочего объема сухим спиральным насосом до давления 1,3 Па. По достижении в системе давления запуска магниторазрядного насоса, клапан VT закрывается и запускается магниторазрядный насос. После этого происходит обезгаживание, далее - процесс литографии; смена подложек в камере производится с помощью шлюзовой камеры (не разрабатывалась).
3. Выбор типовых элементов вакуумной системы Выбор запорно-регулирующей арматуры
Для перекрытия трубопровода был выбран угловой электромагнитный клапан фирмы “VAT” Series 264. Клапан имеет хорошую проводимость, малый вес и габариты.
Критерием выбора клапана является его проводимость (0.005 м3/с), рабочее давление (до 10-6 Па), возможность работы при высоких температурах.
Электромагнитное управление клапана позволяет повысить точность его работы и даёт возможность управления им с помощью компьютера.
Выбор смотрового окна
Для наблюдения за процессами и работой устройств в камере выберем окно, представленное на втором листе. Это окно с типовым уплотнением «Leybold». Оно просто по конструкции, легко разбирается, и соответствует всем требованиям, предъявляемым к нему системой.
Выбор вакууметров
Для измерения давления при предварительной откачке был выбран тепловой датчик THERMOVAC TTR 91 фирмы «Leybold» (рис. 2.), работающий в диапазоне давлений 105…5∙10-3 Па. Удлинённый патрубок позволяет работать датчику при температуре до 250°С.
Рис. 2. Тепловой датчик THERMOVAC TTR 91.
Для измерения низкого давления выбран ионизационный датчик IONVAC Transmitter ITP 90 (рис. 3.)той же фирмы, работающий в диапазоне давлений 1…10-9 Па.
Рис.3 Ионизационный датчик IONVAC Transmitter ITP 90.
Датчики подключаются к единому блоку преобразования, который позволяет выводить на экране результаты измерений в цифровом виде двух датчиков одновременно. Датчики работают в любых пространственных положениях, имеют хорошую степень перекрытия измеряемых давлений. Оба датчика крепятся к отверстиям верхнего фланца камеры с помощью зажимов, показанных на рис.4.
Рис. 4. Схема крепления вакууметров
Выбор токовводов
Электрические вводы предназначены для подачи электропитания к нагревательным устройствам, датчикам, двигателям и другим объектам, расположенным в вакуумных камерах. В данной вакуумной системе УЭЛ для подачи электропитания к светодиодам растровой системы отсчёта перемещения стола выбран металокерамический токоввод, применяемый при напряжении 4кВ и силе тока 250А.
Критерием для выбора электрических является то, что камера – прогреваемая, следовательно токоввод должен выдерживать высокую температуру.