11Equation Section 1 московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана
Факультет : «Машиностроительные технологии»
Кафедра: «Электронное машиностроение»
Расчетно – пояснительная записка
к курсовому проекту
по курсу «Вакуумная Техника»
на тему:
«Вакуумная система установки электронной литографии».
Студент: Добер В.А.
Группа: МТ11-72
Преподаватель: Михайлов В.П.
2010 год
Введение
В данном курсовом проекте разработана вакуумная система для установки электронной литографии. Электронная литография или электронно-лучевая литография — метод литографии с использованием электронного пучка. Электронный пучок сканирует поверхность электронного резиста, повторяя шаблон, заложенный в управляющий компьютер, и позволяя достигать разрешения 1 нм благодаря более короткой длине волны электронов по сравнению со светом. Электронная литография используется для создания масок для фотолитографии, производстве штучных компонентов, где требуется нанометровое разрешение, в промышленности и научной деятельности.
Оглавление
Аннотация………….………………….……………………………………………….4
1. Выбор вакуумной системы установки……………………………………………5
2. Циклограмма работы установки …………………………………………………6
3. Выбор типовых элементов вакуумной системы……………………………………6
4. Проектировочный расчет системы откачки………………………………………9
Расчёт геометрических параметров камеры……………………………………9
Расчёт потока газовыделения со стенок камеры……………………………..9
Выбор насоса окончательной откачки………………………………………10
Выбор насоса предварительной откачки……………………………………11
Расчёт проводимости трубопроводов………………………………………..13
Определение размеров трубопроводов окончательной откачки………….13
Определение размеров трубопроводов предварительной откачки………..13
5. Проверочный расчёт вакуумной системы……………………………………….15
6. Сводная таблица результатов расчётов..................……………………………16
7. Расчёт времени откачки……………………………………………………….….17
8. Расчёт времени откачки с учётом сорбции-десорбции……………………..….19
9.Расчёт камеры и выбор некоторых её элементов……………………………….21
Проверочный расчёт толщины стенок рабочей камеры на прочность…………………………………………………………...………....21
Расчет герметичности резиновых уплотнений……………………………..22
Заключение…………………………………………………………………………….24
Список использованной литературы…………………………………………….…..25
Приложение (спецификации)
Аннотация
В курсовом проекте по курсу «Основы вакуумной техники» была спроектирована вакуумная система установки электронной литографии.
Графическую часть проекта составляют 4 листа формата A1, выполненные в среде Компас V12.
Расчётно-пояснительная записка выполнена в среде Microsoft Word и содержит 24 страницы.
Курсовой проект содержит следующие подразделы:
Схема вакуумной системы установки, циклограмма работы вакуумной системы, эквивалентные схемы откачки участков трубопровода, график изменения давления во времени.
Вид вакуумной камеры
Типовые элементы вакуумной системы.
Общий вид установки на раме.