- •Факультет электроники
- •Программа
- •210100.68 - «Электроника и микроэлектроника»,
- •210100.68. - «Электроника и микроэлектроника»
- •I. Принцип формирования программы.
- •II. Содержание программы
- •Дисциплины направления
- •Дисциплина днф «Микропроцессорная техника»
- •Дисциплина днв «Процессы микро- и нанотехнологии»
- •Специальные дисциплины
- •Дисциплина сд «Физика наносистем»
- •Дисциплина сд «Материаловедение микро и наносистем»
- •Дисциплина сд «Квантоворазмерные наноструктуры»
- •2.5. Дисциплина сд «Наноэлектроника»
- •2.6. Дисциплина сдв «полупроводниковые гетероструктуры»
- •2.7. Дисциплина сдв «Полупроводниковые оптоэлектронные приборы».
2.6. Дисциплина сдв «полупроводниковые гетероструктуры»
Вопросы
Кристаллохимические свойства соединений А3В5 и А2В6. Особенности химической связи.
Зонная структура и электрические свойства соединений А3В5 и А2В6.
Методы синтеза и выращивания монокристаллов А3В5 и А2В6. Материалы для подложек.
Классификация примесей и собственных дефектов в полупроводниках. Электронная структура. Определение электронных свойств. Компенсированный и сильнолегированный полупроводник.
Типы и поведение примесей (водородоподобные, амфотерные, глубокие, изоэлектронные). Взаимодействие примесей и точечных дефектов в полупроводниках.
Легирование соединений А2В6. Правило закрепления предельного уровня Ферми. Проблемы р-легирования.
Закономерности трансформации зонной структуры в квазибинарных системах твердых растворов с непрерывной растворимостью. Однотипная и разнотипная структура зон.
Зависимость электрических и оптических свойств от состава в системах квазибинарных (тройных) твердых растворов.
Модельные представления статистически неупорядоченных сред (модель виртуального кристалла и модель постоянства ковалентного радиуса).
Квазитройные и четырехкомпонентные твердые растворы. Сечение полиэдрации фазового пространства. Изопериодные разрезы.
Интерполяционный расчет ширины запрещенной зоны четырехкомпонентных твердых растворов типа АxВ1-хСyD1-y. Общий случай и одномерный подход.
Анализ закономерностей изменения свойств от состава в системах твердых растворов (GalnAsSb, AlGaAsSb, AlGaInP, InGaAsN, ZnMgSSe – два на выбор).
Интерполяционный расчет ширины запрещенной зоны четырехкомпонентных твердыхрастворов типа АxВ1-хС1-х-yD. Примеры зависимостей ширины запрещенной от состава вдоль изопериодных разрезов в системах подобного типа.
Классификация полупроводниковых гетеропереходов. Алгоритм построения зонных диаграмм.
Зонная диаграмма идеального анизотипного гетероперехода ( модель Андерсона ). Особенности инжекционных свойств гетеропереходов 1-го рода.
Фундаментальные физические явления, открытые на классических гетероструктурах
Зонные диаграммы двойных гетероструктур (ДГС). Преимущества ДГС при создании инжекционных лазеров и светоизлучающих диодов.
Светоизлучающие диоды на основе двойных гетероструктур (ДГС). Пути повышения внешней квантовой эффективности. Материалы для различных спектральных диапазонов.
Инжекционные лазеры на основе ДГС и ДГС с раздельным электронным и оптическим ограничением. Принцип действия, отличительные черты.
Двойные гетероструктуры с квантовой ямой. Расчет распределения потенциала и напряженности электрического поля.
Приемники излучения фотодиодного типа на основе гетеропереходов.
Зонные диаграммы гетеропереходов II рода. Особенности протекания тока. Применение в светодиодах и лазерах.
Гетероструктуры с квантовой ямой. Особенности энергетического спектра.
Разновидности сверхрешеток (композиционные, легированные). Особенности энергетического спектра.
Способы формирования квантовых точек. Самоформирование, литография, фасетированные поверхности, патернирование подложки.
Структура и параметры гетеролазеров на квантовых точках.
Разновидности газофазной эпитаксии. Хлоридно-гидридный метод формирования гетероструктур.
Химическое осаждение из паров металлоорганических соединений (МО ГФЭ): характеристика исходных материалов, основные химические реакции, аппаратурно-методические особенности, механизмы роста.
Газодинамика в проточных реакторах и ее влияние на рост МО ГФЭ.
Техническая реализация эпитаксии из молекулярных пучков (МПЭ). Основные законы испарения вещества в вакууме. Диаграмма направленности.
Методы контроля процесса роста при МПЭ (потоки, остаточная атмосфера).
Термодинамические модели растворов. Функции смешения и химический потенциал в модели идеального раствора.
Квазихимическое приближение теории растворов.
Термодинамические функции смешения, химический потенциал и коэффициенты активности компонентов в модели регулярного раствора.
Энергия смешения изовалентных твердых растворов. Модель «дельта-параметра решетки» (модель DLP).
Термодинамическая неустойчивость и спинодальный распад твердых растворов.
Расчет положения областей нестабильности и несмешиваемости в системах квазибинарных твердых растворов.
Литература
Нанотехнология: физика, процессы, диагностика, приборы. /Под ред. В.В. Лучинина, Ю.М. Таирова, М.: ФИЗМАТЛИТ, 2006
В.С. Сорокин, Б.Л. Антипов, Н.П. Лазарева, Материалы и элементы электронной техники. В 2-х т. Т. 1. Проводники, полупроводники, диэлектрики. М.: Академия, 2006. 440 с.
Л. Ченг, К. Плуг. Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры.- Пер. с англ., под ред. Ж.И. Алферова, Ю.В. Шмарцева- М.: Мир, 1989.
М. Херман. Полупроводниковые сверхрешетки. - М.: Мир 1989.