1 Тема урока: «Общая безопасность труда при производстве полупроводниковых приборов».

Руководители предприятия обязаны организовать работу по БТ согласно общим правилам и «Правилам ТБ и ПС в ЭП».

Помещения с соблюдением ЭГ делятся на 3 категории.

1 – для выполнения технологических и сборочных операций;

2 – для подготовки частей и деталей;

3 – для различных вспомогательных операций.

В помещениях 1,2,3 категорий климатические параметры ( температура, влажность, скорость движения и чистота воздуха) контролирует специальная технологическая служба в определенные сроки. На производственных участках освещение должно быть комбинированным. Для обеспечения освещенности согласно требованиям техпроцесса применяют люминесцентные лампы.

Электрические светильники общего и местного освещения должны быть размещены так, чтобы на любом рабочем месте не допускалось ослепления глаз. Каждое помещение должно иметь аварийное освещение с независимым источником электропитания.

В помещениях для чистки и мытья обуви должна быть теплая вода и специальные щетки.

Отопление помещений 1 и 2 категорий должно быть воздушным или совмещенным с приточно-вытяжной вентиляцией, кондиционированием воздуха или водяным с нагревательными приборами в виде подоконных и стенных батарей. Открытые нагревательные приборы применять нельзя. Вентиляционные системы и устройства кондиционирования воздуха должны работать без шума и вибрации.

Приточные вентиляционные системы в герметизированных помещениях должны быть оборудованы увлажнительными установками.

Вентиляционные выбросы с повышенным содержанием агрессивных веществ необходимо подвергать очистке в соответствии с требованиями СанПиН.

Газопроводы прокладывают только в технических этажах, шахтах и коридорах и подводят к технологическому оборудованию через уплотнения, выполненные из несгораемых материалов.

Применяют только сварные коммуникации без резьбовых соединений. Подсоединяют газопотребители к газопроводам через штуцерные отростки гибкими шлангами, закрепленными хомутами.

Окрашивают коммуникации с наружной стороны в условные цвета по ГОСТу 14202.

Вода хозяйственно- производственного и противопожарного водопровода должны соответствовать требованиям ГОСТ 2874. Предприятия должны быть снабжены сатуратами с питьевой водой.

Действующие электроустановки и электрооборудование должны соответствовать требованиям ПУЭ, ПТЭ, и ПТБ.

В помещениях 1 и 2 категории можно размещать только электротехническое, радиотехническое и электронное оборудование, без которого невозможно проводить техпроцесс или контролировать за ним.

Меры безопасности при производстве германия и кремния.

Несмотря на сравнительно малую токсичность, они способны вызвать хроническое отравление при длительном воздействии даже в малых дозах – ПДК не более 2 мг/м³.

Получать их необходимо в полностью герметичной аппаратуре. В процессе их получения используют хлор, который может соединяться со связанным водородом живой ткани человеческого организма.

Отравление хлором происходит через дыхательные пути. Наблюдается покраснение глаз, спазмы гортани. Бронхит, сухой кашель, затрудненное дыхание, бронхопневмания, сужение голосовой щели. Все работы с хлоросодержащими веществами следует проводить в вытяжном шкафу, установленном в отдельном помещении с вентиляцией. Баллоны с хлором нужно помещать в шкаф, предварительно проверив их герметичность. Их следует устанавливать в специальные стойки и закреплять. Рядом со стойкой следует помещать контейнер с раствором гипосульфита с содой для дегазации. Дегазацию следует проводить в противогазе.

Необходимо систематически проверять герметичность в местах соединений аппаратуры и хлоропроводов при помощи ваты с нашатырным спиртом. При утечке хлора на вате появятся белые пары хлористого аммония. ПДК хлора <0,001мг/м³.

Для оказания первой помощи при отравлении хлором пострадавшего следует вывести на свежий воздух, освободить от стесняющей одежды, промыть глаза, нос и рот раствором соды, дать горячее молоко с содой, тепло укрыть и предоставить покой.

Аммиак в связи с кислородом может взрываться. Он вызывает раздражение оболочек, воспаление глаз, чихание, головную боль, выделение пота, поражение центральной нервной системы, появление судорог, сильное возбуждение, вплоть до буйного бреда Должна быть надежна: герметизация аппаратуры и оборудования и усиленна вентиляция при проведении техпроцессов.

Аммиак вызывает воспаление глаз, слизистой оболочки, чихание, головную боль, выделение пота, поражение ц.н.с., появление судорог, сильное возбуждение, вплоть до бурного бреда. Важнейшим условием безопасности работы с аммиаком является максимальная механизация и автоматизация процессов, надежная герметизация аппаратуры, оборудования и проведение техпроцессов под усиленной тягой.

Водородную печь до пуска следует продуть инертным газом ( азотом, аргоном ), удалив из рабочей зоны воздух, который в смеси с водородом может привести к взрыву. Следует подавать кислород в камеру снизу, а удалять его – сверху.

Над печью должны быть вытяжные колпаки, связанные с общей системой вентиляции, а в печах приспособления для вывода водорода за пределы печи и его сжигания.

При работе с моносиланом операторы должны применять прочные экраны, пользоваться защитными очками с темными стеклами, так как может произойти разрушение кварцевых трубок в процессе зонной очистки.

При работе с трихлорсиланом необходима спецодежда: резиновые перчатки, защитный экран, нарукавники, фартуки и очки. При попадании его на кожу следует немедленно обмыть участок кожи 5% раствором щелочи, затем тщательно промыть проточной водой.

Производство и обработка химических соединений галлия и индия связаны с выделением в атмосферу рабочих помещений мышьяка и его соединений. Все соединения мышьяка ядовиты, действуют на человека при вдыхании или попадании внутрь организма. Они оказывают воздействие на кожу рук и лица, приводят к покраснению и сыпи. При острых отравлениях мышьяк концентрируется в желудочно-кишечном тракте, печени, почках, а при попадании внутрь организма вызывает царапанье в зеве и полости рта, головную боль, головокружение. Возникают сильные рези в животе, рвота, слабость, судороги.

Курносов «ТБ в ППП».§4-7.

Контрольные вопросы.