Лекция №2

Вимоги до умов виробництва електронної техніки

Вимоги до умов виробництва приладів електронної техніки. Вимоги до чистоти та кліматичних параметрів повітряного середовища. Забезпечення заданих класів чистоти та категорій мікроклімату. Чисті кімнати та способи організації в них повітряного потоку. Контроль повітряного середовища. Вимоги до технологічних матеріалів, води, газів. Основні методи їх очистки та контролю. Екологічні вимоги до електронного виробництва.

Рекомендована література: [1, 2, 4, 5, д1].

Особенности электронного производства. Производственная гигиена (вакуумная гигиена).

1. Высокая точность производства.

2. Микроминиатюрность.

3. Высокая чувствительность к внешним факторам:

• климатические (температура, влажность…)

• запыленность воздуха (пыль – 1 мм – 0,1 мкм (100 нм) иногда соизмерима с элементами микросхемы)

4. Электронное производство должно быть с высокой степенью чистоты.

Источники пыли:

• почва;

• промышленность (строительная, мукомольная, теплоелектростанции);

• оборудование при производстве;

• технологии, материалы, которые применяются на производстве;

• человек:

1. частички;

2. пот;

3. продукты разрушения одежды.

Применяются специальные синтетические ткани, которые не разрушаются (неволокнистые материалы, при этом одежда должна максимально закрывать человека).

4. Бумага (применяют специальные приспособления для записей)

5. Частички табака

Чтобы исключить человека как источника загрязнения, надо переходить к безлюдным технологиям, требующим специальное оборудование – компьютеры, автоматизированное производство. Это дорогостоящее оборудование и технологии.

Вакуумная, электронная, производственная гигиена – это комплекс технических и организационных мер по обеспечению высокой чистоты производства.

Эти меры касаются:

• места расположения предприятия (расположение предприятия в чистой зоне);

• оборудования и производственных помещений;

• персонала (экипировка, поведение, служебные инструкции).

Классификация производственных помещений по чистоте воздушной среды

	Максимальное количество частиц и аэрозолей ( 0,5 мкм)
Класс чистоты	в 1 м3	в 1 л
1	3,5 103	4
2	3,5 104	35
3	3,5 105	350
4	3,5 107	3500
5	СН-245

СН-245-71 - «Санитарные нормы проектирования промышленных предприятий» Утверждены Государственным комитетом Совета Министров СССР по делам строительства 5 ноября 1971 г

Для выполнения различных технологических операций требуются различные классы частоты. При формировании структур кристалла требуется 1 класс чистоты.

Валидация чистых помещений – документальное подтверждение того что, проверяемые площади свободны от пыли и микроорганизмов до уровня, приемлемого для локальных и международных норм и стандартов. 

Для определения пылевой загрязненности применяются методы седиментации (осаждения).

Седиментационный анализ — совокупность методов определения размеров частиц в дисперсных системах и молекулярной массы макромолекул в растворах полимеров по скорости седиментации в условиях седиментационно-диффузного равновесия.

Седиментация (осаждение) — направленное движение частиц в поле действия гравитации или центробежных сил вместе с жидкостью или газом. Скорость седиментации зависит от массы, размера, формы и плотности вещества частицы, а также от вязкость и плотность вещества среды, а также от ускорения силы тяжести и действующих на частиц центробежных сил. В поле гравитационных сил седиментируют частицы грубодисперсных систем; в поле центробежных сил возможна седиментация коллоидных частиц и макромолекул (см. центрифугирование).

Применение средств контроля запыленности

• Provides three selectable channels between 0.3µm and 25µm (default: 0.3µm, 0.5µm and 5.0µm)

Thermo Anemometer Kit

This microprocessor anemometer monitors low-velocity air flows and air temperatures; use the telescoping probe for hard-to-reach spaces