- •Вопрос 1
- •Вопрос 2
- •Вопрос3
- •Диффузионные паромасляные вакуумные насосы нвдм и нд
- •Вопрос4, 17
- •Вопрос5
- •Вопрос 13
- •Вопрос6
- •Вопрос 9
- •Вопрос7
- •Вопрос 8,34
- •Вопрос 10
- •Вопрос 11
- •2.1. Лазерные излучатели класса 1
- •2.2. Лазерные излучатели класса 2
- •2.3. Лазерные излучатели класса 3
- •2.3.1. Лазерные излучатели подкласса 3а
- •2.3.2. Лазерные излучатели подкласса 3б
- •2.4. Лазерные излучатели класса 4
- •Вопрос 14
- •Вопрос 16
- •Вопрос18
- •Вопрос15
- •Вопрос 19
- •Вопрос20
- •Определение плазмы
- •Классификация
- •Вопрос 21, 26
- •Вопрос 22
- •Вопрос 23
- •Вопрос 24
- •Вопрос 25
- •Вопрос 27
- •Вопрос 28
- •Вопрос 29
- •Вопрос 30
- •Вопрос 31
- •Вопрос32
- •10.1 Выращивание из раствора в расплаве (спонтанная кристаллизация)
- •Вопрос 33
- •Технология очистки подложек для производства микроэлектронных изделий
- •Вопрос 35
- •Основы классификации наноматериалов
- •Вопрос36
- •Свойства сверхпроводников Нулевое электрическое сопротивление
- •Фазовый переход в сверхпроводящее состояние
- •Эффект Мейснера
- •Эффект Литтла-Паркса
- •Изотопический эффект
- •Момент Лондона
Вопрос3
Откачное оборудование для низкого и высокого вакуума (механические и паромасляные вакуумные насосы), блочная схема вакуумных установок.
Вакуумные насосы подразделяют на 4 класса: низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума. К низковакуумным относят механические поршневые и двухступенчатые насосы, ротационные пластинчатые, двухроторные и винтовые насосы, насосы с частичным внутренним сжатием и водокольцевые. Давление, достигаемое в них, составляет P = 0,3–1 Ра.
К средневакуумным относят пластинчато-роторные насосы и насосы с катящимся ротором, сорбционные насосы, создаваемое предельное (минимальное) давление в которых – P = 1–10-1 Ра.
К высоковакуумным насосам относят молекулярные и турбомолекулярные, давление в которых P=10-4–10-6 Ра.
Устройство и работа механического насоса 2НВР-5ДМ
Для предварительной откачки до давления ~10-3–10-2 мм. рт. ст. используется механический насос 2НВР-5ДМ, относящийся к типу пластинчато-роторных
Процесс откачки в пластинчато-роторных насосах основан на механическом всасывании и вытал-кивании газа вследствие периодичес-кого изменения объема рабочей камеры, образуемого цилиндром, крышками и движущимися частями насоса – ротором и пластинами. В пластинчато-роторных вакуумных насосах маслозаполненного типа (рис.1) внутри цилиндрической расточки корпуса 1 эксцентрично расположен цилиндрический ротор 2. В пазу ротора размещены две пластины 8 и 9 с пружиной 7 между ними. При вращении ротора пластины центробежными силами и силой упругости пружины прижимаются к внутренней расточке корпуса и делят серпообразную полость между ротором и расточкой корпуса на две полости. При вращении вала объем одной полости периодически увеличивается и в нее всасывается газ; в это же время объем другой полости периодически уменьшается и в ней происходит сжатие газа. ПРВН выполняют одно- и двухступенчатыми. В двухступенчатых насосах для уменьшения потерь между первой и второй ступенями их соединяют каналом а. Клапан 6 на линии нагнетания второй ступени погружен в основной масляный резервуар 10. В двухступенчатых насосах геометрические размеры ступеней одинаковы, но пластины смещены одна относительно другой на 90˚.
Механические вакуумные насосы с масляным уплотнением используются в качестве насосов предварительного разряжения в высоковакуумных агрегатах и являются неотъемлемой частью любой вакуумной установки.
Диффузионные паромасляные вакуумные насосы нвдм и нд
Предназначены для откачки из герметичных объемов воздуха, газов, паров и парогазовых смесей, не содержащих капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкции. Применяются в напылительных установках, системах вакуумной сушки и плавки, в вакуумных печах в металлургической промышленности и других отраслях. Насосы изготавливаются в климатическом исполнении УХЛ и О категории 4 по ГОСТ 15150, но для эксплуатации при температуре окружающего воздуха от 10 до 45° С и температуре охлаждающей воды от 10 до 20° С. Насосы должны работать только с форвакуумным насосом во взрывобезопасных помещениях в стационарных условиях.