Твердотельная электроника.-1
.pdfВеличины работ выхода электрона из металла и электронное сродство полу-
проводника являются константами материала и могут быть взяты из справоч-
ных материалов:
Фм 5.0 эВ, Ф0 4.05 эВ.
Энергетический зазор «дно зоны проводимости – уровень Ферми» можно най-
ти, определив из выражения (5.5) положение уровня Ферми относительно по-
толка валентной зоны:
|
3 kT |
|
mp |
kT |
|
|
N |
|
1.38 10 23 300 |
|
1.4 1015 |
|||||||
F Ei |
|
|
|
ln |
|
|
|
|
ln |
|
d |
Ei |
|
|
|
ln |
|
|
4 q |
m |
q |
|
ni |
1.6 10 |
19 |
1.4 1010 |
|||||||||||
|
|
|
|
|
n |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0.66 2.6 10 2 5 2.3 0.66 0.30 0.96 эВ. |
|
|
|
|
||||||||||||||
Следовательно, искомая величина будет равна |
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
EF |
Eg |
|
EF |
1.12 0.96 0.16 эВ. |
|
|
|
В итоге, высота барьера на контакте в энергетических единицах будет
Фб 4.05 0.16 5.0 0.8 эВ.
Это соответствует высоте барьера в вольтах - 0.8 В.
Для нахождения величины обратного тока необходимо воспользоваться
выражением
I |
0 |
j S SAT 2 exp |
qФб |
5 120 10 2 9 104 exp |
0.8 |
||||||||
|
|
|
|||||||||||
|
0 |
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
0.025 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
5 1.2 9 10 |
4 |
exp 32 |
5.4 10 |
4 |
10 12 |
5.8 10 |
9 |
A. |
|||
|
|
|
|
|
9.3 |
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таким образом, высота барьера на границе «золото-кремний n-типа» рав-
на нулю, а величина обратного тока составляет 5.8 10 9 А. Значит, такой кон-
такт хорош для изготовления диода Шоттки.
61
Задача 2. Определить толщину области пространственного заряда и диффе-
ренциальную емкость диода Шоттки n |
Si Pt площадью S 1.5 10 2 см2 и |
концентрацией донорной примеси Nd |
3.8 1015 см 3 при напряжении на пе- |
реходе V 0.2 B (запорное напряжение).
Решение. Для решения поставленной задачи необходимо вычислить высоту энергетического барьера на контакте кремния и алюминия. Это можно сделать
по схеме, изложенной в предыдущей задаче
Фб Фм Фп Фм Ф0 EF / q , EF Eg EF .
Величины работы выхода электрона из металла и электронное сродство полу-
проводника берем из справочных материалов:
Фм 5.1 эВ, Ф0 4.05 эВ.
Энергетический зазор «дно зоны проводимости – уровень Ферми» можно най-
ти, определив из выражения (5.5) положение уровня Ферми относительно по-
толка валентной зоны:
|
3 kT |
|
mp |
kT |
|
|
N |
1.38 10 23 300 |
|
3.8 1015 |
|||||||
F Ei |
|
|
|
ln |
|
|
|
|
ln |
|
d |
Ei |
|
|
|
ln |
|
4 q |
m |
q |
|
ni |
|
1.6 10 |
19 |
1.4 1010 |
|||||||||
|
|
|
|
|
n |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0.66 2.6 10 2 |
1 5 2.3 0.66 0.32 0.98 эВ. |
|
|
|
|||||||||||||
Следовательно, искомая величина будет равна |
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
EF |
Eg |
|
EF |
1.12 0.98 0.14 эВ. |
|
|
В итоге, высота барьера на контакте в энергетических единицах будет
Фб 4.05 0.14 5.1 0.90 эВ.
Это соответствует высоте барьера в вольтах - 0.9 В. Этот барьер соответствует образованию на контакте запорного слоя.
62
Толщина слоя пространственного заряда в полупроводнике вычисляется по выражению (7.3)
W |
|
2εε0 Фб |
V |
|
. |
q Nd |
|
||||
|
|
|
|
|
В данной задаче прикладываемое напряжение увеличивает запорный слой. По-
этому его толщина (в сантиметрах) будет равна
|
|
|
|
|
|
|
|
2 11.7 8.85 10 14 |
|
|
|
||||
|
|
|
|
2εε Ф V |
|
0.9 0.2 |
|
|
|||||||
W |
|
|
|
0 б |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
q Nd |
|
1.6 10 19 3.8 1015 |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
229 |
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
10 10 |
|
3.8 10 10 1.95 10 5 |
2 10 5 см. |
||||||||||
|
|
6.1 |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Осталось вычислить емкость запорного слоя, для чего необходимо воспользо-
ваться выражением (7.4):
|
εε |
|
2 |
11.7 8.85 10 14 |
155.3 |
|
11 |
|||
С S |
0 |
1.5 10 |
|
|
|
|
|
10 |
||
W |
|
2.0 10 |
5 |
2.0 |
|
|||||
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
77.5 10 11 Ф |
775 пФ. |
|
|
|
|
|
Таким образом, ответы на поставленные в задаче вопросы будут следующи-
ми: ширина запорного слоя в кремнии составляет 2.0 10 5 см , а емкость это-
го слоя - 775 пФ .
Задача 3. Определить величину обратного тока и дифференциального со-
противления диода Шоттки n |
Si Ni площадью S 5 10 2 см2 и концентра- |
цией донорной примеси Nd |
1.4 1016 см 3 при напряжении на переходе |
V 0.5 B (запорное напряжение).
Решение. Для решения поставленной задачи необходимо вычислить высоту энергетического барьера на контакте кремния и алюминия. Это можно сделать по схеме, изложенной в предыдущих задачах.
63
Фб Фм Фп Фм Ф0 EF / q , EF Eg EF .
Величины работы выхода электрона из металла и электронное сродство полу-
проводника берем из справочных материалов:
Фм 4.55 эВ, Ф0 4.05 эВ.
Энергетический зазор «дно зоны проводимости – уровень Ферми» можно най-
ти, определив из выражения (5.5) положение уровня Ферми относительно по-
толка валентной зоны:
|
3 kT |
|
mp |
kT |
|
|
N |
|
1.38 10 23 300 |
|
1.4 1016 |
|||||||
F Ei |
|
|
|
ln |
|
|
|
|
ln |
|
d |
Ei |
|
|
|
ln |
|
|
4 q |
m |
q |
|
ni |
1.6 10 |
19 |
1.4 1010 |
|||||||||||
|
|
|
|
|
n |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0.66 2.6 10 2 6 2.3 0.66 0.35 1.01 эВ. |
|
|
|
|
||||||||||||||
Следовательно, искомая величина будет равна |
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
EF |
Eg |
|
EF |
1.12 1.01 0.11 эВ. |
|
|
|
В итоге, высота барьера на контакте в энергетических единицах будет
Фб 4.05 0.11 4.55 0.39 эВ.
Это соответствует высоте барьера в вольтах - 0.4 В. Этот барьер соответствует образованию на контакте запорного слоя.
Для нахождения величины обратного тока необходимо воспользоваться выражением
I |
0 |
j S SAT 2 exp |
qФб |
5 120 10 2 |
9 104 exp |
0.4 |
||
|
|
|||||||
|
0 |
kT |
|
|
|
|
0.025 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
5 1.2 9 104 exp 16 |
5.4 104 |
1 |
|
6.3 10 3 |
A. |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
8.3 106 |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
Дифференциальное сопротивление в области запорных напряжений рас-
считывается по формуле (7.10):
64
Rd |
kT |
|
1.38 10 23 300 |
|
0.025 |
103 |
4.0 Ом. |
|
qI0 1.6 10 19 6.3 10 3 |
6.3 |
|||||||
|
|
|
Таким образом, величина обратного тока диода Шоттки, изготовлен-
ного из электронного кремния с никелевым электродом площадью 4.5х10-2
см2, составляет 6.3 мА. При этом дифференциальное сопротивление такого диода Шоттки составляет 4 Ома.
Задача 4. Определить полосу пропускания частот германиевого p-n - пере-
хода при напряжении на нем V 0.1 В , имеющего площадь S 10 2см2 и
плотность обратного тока j0 10 6 А / см2 . Считать уровни легирования p- и n-областей одинаковыми и равными 2.4 1015 см 3 .
Решение. Полоса пропускания – это диапазон частот, в пределах которо-
го коэффициент передачи диода остается постоянным. Нижняя частота диапа-
зона может быть принята равной нулю, а верхняя - частоте среза
1
fср 2π ηp n ,
где ηp n C Rd - время перезарядки перехода, определяемое емкостью C и
дифференциальным сопротивлением Rd . Значит, задача по определению поло-
сы пропускания сводится к задаче нахождения емкости и дифференциального
сопротивления перехода диода. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Емкость перехода C определяется его площадью |
S и толщиной слоя |
||||||||||||
собственной проводимости W и может быть найдена по выражению (7.15) |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
C |
ε ε0 |
S S |
qεGeε0 |
|
|
Nd Na |
, |
(7.18) |
|||||
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
W |
2 Фб V |
|
|
Nd |
Na |
|
||||||
|
|
Фб |
|
kT |
ln |
NdNa |
, |
|
|
|
|||
|
|
|
|
2 |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
q |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
ni |
|
|
|
|
65
где εGe - относительная диэлектрическая проницаемость германия. Подста-
новка численных значений в выражения (7.18) приводит к следующему
1.38 10 23 |
300 |
ln |
2.4 1015 |
2.4 1015 |
|
|
|||||||||||||||||||
б |
|
|
|
1.6 10 19 |
|
|
2.4 1013 |
2.4 1013 |
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
1.38 4 3 10 21 |
ln 10 10 1 2.3 0.2 B |
|
|||||||||||||||||||||||
|
1.6 10 19 |
|
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
C S |
|
|
|
qεGeε0 |
|
|
|
|
Nd Na |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
2 Фб V |
|
|
|
Nd |
Na |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
10 |
|
2 |
|
|
1.6 10 19 |
16 8.85 10 14 |
2.4 1015 |
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
0.2 0.1 |
|
|
|
2 |
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
10 |
|
2 1.6 1.6 8.85 1.2 |
|
10 |
17 |
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
10 2 |
|
1.4 10 16 |
1.2 10 10 Ф. |
|
|
|
|
Дифференциальное сопротивление перехода в области положительных смещений определяется выражением
Rd V0 |
kT |
exp |
qV0 |
, |
|
qI0 |
kT |
||||
|
|
|
где все величины табличные или легко вычисляются. Поэтому можно найти величину Rd V0 :
Rd V |
|
1.38 10 |
23 300 |
|
exp |
|
1.6 10 19 |
0.1 |
|
||||
1.6 10 19 |
10 6 10 2 |
1.38 10 |
23 |
300 |
|
||||||||
|
|
|
|
||||||||||
|
4.2 10 21 |
exp |
1.6 10 20 |
|
2.6 106 exp |
3.8 1.7 105 Ом. |
|||||||
|
|
|
|
|
|
||||||||
1.6 |
10 27 |
4.2 10 21 |
|
Теперь можно найти время перезарядки перехода, а из него определим
его верхнюю (граничную) частоту:
66
fср |
1 |
1 |
|
1 |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
2π ηp n |
|
|
2π RdC |
6.28 1.7 105 1.2 10 10 |
||||||
|
|
|
|
|||||||
|
|
104 |
|
|
104 |
7800 Гц. |
||||
0.63 1.7 1.2 1.28 |
||||||||||
|
|
|
Таким образом, ответ на поставленный в задаче вопрос таков: полоса
пропускания p-n перехода, имеющего указанные параметры, равна 7800 Гц.
7.3. ВАРИАНТЫ ЗАДАНИЙ ПО ОПРЕДЕЛЕНИЮ
ПАРАМЕТРОВ КОНТАКТНЫХ СВОЙСТВ
При решении задач данного раздела необходимо пользоваться справочны-
ми данными по численным значениям параметров полупроводников различно-
го физико-химического состава, а также значениями работ выхода из различ-
ных металлов. Эти данные собраны в конце учебно-методического пособия.
1. Определить в вольтах высоту потенциального барьера на границе «германий
– платина», а также величину обратного тока, если известно, что концентрация
донорной примеси составляет Nd 2.4 1016 см 3, а площадь перехода
S 1.5 10 2 см2 .
2. Определить в вольтах высоту потенциального барьера на границе «арсенид галлия – медь», а также величину обратного тока, если известно, что концен-
трация донорной примеси составляет Nd 1.4 1014 см 3 , а площадь перехода
S 2.5 10 2 см2 .
3. Определить в вольтах высоту потенциального барьера на границе «арсенид галлия – золото», а также величину обратного тока, если известно, что концен-
трация акцепторной примеси составляет Nа 1.4 1015 см 3 , а площадь пере-
хода S 5 10 2 см2 .
67
4. Определить в вольтах высоту потенциального барьера на границе «кремний
– магний», а также величину обратного тока, если известно, что концентрация
акцепторной примеси составляет Nа 1.4 1017 см 3 , а площадь перехода
S 5 10 2 см2 .
5. Определить толщину области пространственного заряда и дифференциаль-
ную емкость диода Шоттки p SiMg площадью S 1.5 10 2 см2 и концен-
трацией акцепторной примеси Na 3.8 1017 см 3 при напряжении на пере-
ходе V 0.3 B (запорное напряжение).
6. Определить толщину области пространственного заряда и дифференциаль-
ную емкость диода Шоттки p GaAsAu площадью S 1.5 10 2 см2 и кон-
центрацией акцепторной примеси Na 3.8 1017 см 3 при напряжении на пе-
реходе V 0.1 B (запорное напряжение).
7. |
Определить толщину области пространственного заряда и дифференциаль- |
|
ную емкость диода Шоттки n |
Ge / Pt площадью S 1.5 10 2 см2 и концен- |
|
трацией донорной примеси Na |
2.4 1016 см 3 при напряжении на переходе |
|
V |
0.5 B (запорное напряжение). |
8. Определить толщину области пространственного заряда и дифференциаль-
ную емкость диода Шоттки n GaAs / Cu площадью S 1.5 10 2 см2 и кон-
центрацией донорной примеси Na 2.4 1016 см 3 при напряжении на пере-
ходе V 0.1 B (антизапорное напряжение).
9. Определить величину дифференциального сопротивления германиевого p-n
перехода при напряжении на нем V0 0.1 В , имеющего площадь S 10 2см2 ,
если обратный ток обусловлен диффузионным механизмом поставки неоснов-
ных носителей заряда. Считать уровни легирования p- и n-областей одинаковыми и равными 2.4 1016 см 3 .
68
10. Определить величину дифференциального сопротивления кремниевого p-n
перехода при напряжении на нем V 0.1 В , имеющего площадь S 10 3 |
см2 |
, |
0 |
|
|
если обратный ток обусловлен диффузионным механизмом поставки неоснов-
ных носителей заряда. Считать уровни легирования p- и n-областей одинаковыми и равными 2.4 1015 см 3 .
11. Определить величину дифференциального сопротивления арсенид-
галлиевого p-n перехода при напряжении на нем |
V0 0.2 В , имеющего пло- |
щадь S 10 1см2 , если обратный ток обусловлен |
диффузионным механизмом |
поставки неосновных носителей заряда. Считать уровни легирования p- и n-
областей одинаковыми и равными 4.4 1014см 3 .
12. Определить величину емкости арсенид-галлиевого p-n перехода при на-
пряжении на нем V0 0.1 В , имеющего площадь S 10 1см2 . Считать уров-
ни легирования p- и n-областей одинаковыми и равными 2.4 1014 см 3 .
13. Определить величину емкости германиевого p-n перехода при напряжении
на нем V0 0.1 В , имеющего площадь S 10 1см2 . Считать уровни легирова-
ния p- и n-областей одинаковыми и равными 2.4 1015 см 3 .
14. Определить величину емкости кремниевого p-n перехода при напряжении
на нем V0 0.2 В , имеющего площадь S 10 1см2 . Считать уровни легиро-
вания p- и n-областей одинаковыми и равными 2.4 1015см 3 .
15. Определить время перезарядки кремниевого p-n перехода при напряжении
на нем V |
|
0.1 В , имеющего площадь S 10 2 |
см2 |
и плотность обратного |
0 |
|
|
|
|
тока j0 |
10 7 А / см2. Считать уровни легирования p- и n-областей одинако- |
выми и равными 2.4 1016 см 3 .
69
16. Определить время перезарядки арсенид-галлиевого p-n перехода при на-
пряжении на нем V 0.1 В , имеющего площадь S 10 2 |
см2 |
и плотность об- |
0 |
|
|
ратного тока j0 10 8 А / см2. Считать уровни легирования p- и n-областей одинаковыми и равными 4.8 1014см 3 .
17. Определить работу выхода электрона из металла металлического электрода
диода Шоттки на основе кремния, если известно, что дифференциальная ем-
кость диода при напряжении V 0.2 B составляет C 587 пФ , его площадь
S 2.5 10 2 cм2 , а уровень легирования полупроводника донорной примесью равен Nd 3.8 1014 см 3 .
18. Определить работу выхода электрона из металла металлического электрода
диода Шоттки на основе германия, если известно, что дифференциальное со-
противление диода при напряжении V 0.1 B (антизапорное напряжение) со-
ставляет Rd 7.8 102 Ом , его площадь S 2.5 10 2 cм2 , а уровень легиро-
вания полупроводника донорной примесью равен Nd 3.8 1014 см 3 .
19. Определить концентрации легирующих примесей в германиевом p n пе-
реходе площадью S 7.7 10 4см2 , если известно, что уровни легирования n и p областей одинаковы, а его дифференциальное сопротивление при от-
пирающем напряжении на нем V 0.15 В составляет 4.8 102 Ом .
20. Определить величину обратного тока в кремниевом p n переходе площа-
дью S 7.5 10 4см2 , если известно, что его полоса пропускания составляет
f |
2 105Гц при отсутствии напряжения на нем, уровни легирования n и |
p |
областей одинаковы, а высота барьера составляет 0.66 В . |
70