Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Твердотельная электроника.-1

.pdf
Скачиваний:
103
Добавлен:
05.02.2023
Размер:
2.64 Mб
Скачать

Величины работ выхода электрона из металла и электронное сродство полу-

проводника являются константами материала и могут быть взяты из справоч-

ных материалов:

Фм 5.0 эВ, Ф0 4.05 эВ.

Энергетический зазор «дно зоны проводимости – уровень Ферми» можно най-

ти, определив из выражения (5.5) положение уровня Ферми относительно по-

толка валентной зоны:

 

3 kT

 

mp

kT

 

 

N

 

1.38 10 23 300

 

1.4 1015

F Ei

 

 

 

ln

 

 

 

 

ln

 

d

Ei

 

 

 

ln

 

 

4 q

m

q

 

ni

1.6 10

19

1.4 1010

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0.66 2.6 10 2 5 2.3 0.66 0.30 0.96 эВ.

 

 

 

 

Следовательно, искомая величина будет равна

 

 

 

 

 

 

 

 

 

EF

Eg

 

EF

1.12 0.96 0.16 эВ.

 

 

 

В итоге, высота барьера на контакте в энергетических единицах будет

Фб 4.05 0.16 5.0 0.8 эВ.

Это соответствует высоте барьера в вольтах - 0.8 В.

Для нахождения величины обратного тока необходимо воспользоваться

выражением

I

0

j S SAT 2 exp

б

5 120 10 2 9 104 exp

0.8

 

 

 

 

0

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

0.025

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5 1.2 9 10

4

exp 32

5.4 10

4

10 12

5.8 10

9

A.

 

 

 

 

 

9.3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Таким образом, высота барьера на границе «золото-кремний n-типа» рав-

на нулю, а величина обратного тока составляет 5.8 10 9 А. Значит, такой кон-

такт хорош для изготовления диода Шоттки.

61

Задача 2. Определить толщину области пространственного заряда и диффе-

ренциальную емкость диода Шоттки n

Si Pt площадью S 1.5 10 2 см2 и

концентрацией донорной примеси Nd

3.8 1015 см 3 при напряжении на пе-

реходе V 0.2 B (запорное напряжение).

Решение. Для решения поставленной задачи необходимо вычислить высоту энергетического барьера на контакте кремния и алюминия. Это можно сделать

по схеме, изложенной в предыдущей задаче

Фб Фм Фп Фм Ф0 EF / q , EF Eg EF .

Величины работы выхода электрона из металла и электронное сродство полу-

проводника берем из справочных материалов:

Фм 5.1 эВ, Ф0 4.05 эВ.

Энергетический зазор «дно зоны проводимости – уровень Ферми» можно най-

ти, определив из выражения (5.5) положение уровня Ферми относительно по-

толка валентной зоны:

 

3 kT

 

mp

kT

 

 

N

1.38 10 23 300

 

3.8 1015

F Ei

 

 

 

ln

 

 

 

 

ln

 

d

Ei

 

 

 

ln

 

4 q

m

q

 

ni

 

1.6 10

19

1.4 1010

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0.66 2.6 10 2

1 5 2.3 0.66 0.32 0.98 эВ.

 

 

 

Следовательно, искомая величина будет равна

 

 

 

 

 

 

 

 

 

EF

Eg

 

EF

1.12 0.98 0.14 эВ.

 

 

В итоге, высота барьера на контакте в энергетических единицах будет

Фб 4.05 0.14 5.1 0.90 эВ.

Это соответствует высоте барьера в вольтах - 0.9 В. Этот барьер соответствует образованию на контакте запорного слоя.

62

Толщина слоя пространственного заряда в полупроводнике вычисляется по выражению (7.3)

W

 

2εε0 Фб

V

 

.

q Nd

 

 

 

 

 

 

В данной задаче прикладываемое напряжение увеличивает запорный слой. По-

этому его толщина (в сантиметрах) будет равна

 

 

 

 

 

 

 

 

2 11.7 8.85 10 14

 

 

 

 

 

 

 

2εε Ф V

 

0.9 0.2

 

 

W

 

 

 

0 б

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

q Nd

 

1.6 10 19 3.8 1015

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

229

 

 

 

 

 

 

 

10 10

 

3.8 10 10 1.95 10 5

2 10 5 см.

 

 

6.1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Осталось вычислить емкость запорного слоя, для чего необходимо воспользо-

ваться выражением (7.4):

 

εε

 

2

11.7 8.85 10 14

155.3

 

11

С S

0

1.5 10

 

 

 

 

 

10

W

 

2.0 10

5

2.0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

77.5 10 11 Ф

775 пФ.

 

 

 

 

 

Таким образом, ответы на поставленные в задаче вопросы будут следующи-

ми: ширина запорного слоя в кремнии составляет 2.0 10 5 см , а емкость это-

го слоя - 775 пФ .

Задача 3. Определить величину обратного тока и дифференциального со-

противления диода Шоттки n

Si Ni площадью S 5 10 2 см2 и концентра-

цией донорной примеси Nd

1.4 1016 см 3 при напряжении на переходе

V 0.5 B (запорное напряжение).

Решение. Для решения поставленной задачи необходимо вычислить высоту энергетического барьера на контакте кремния и алюминия. Это можно сделать по схеме, изложенной в предыдущих задачах.

63

Фб Фм Фп Фм Ф0 EF / q , EF Eg EF .

Величины работы выхода электрона из металла и электронное сродство полу-

проводника берем из справочных материалов:

Фм 4.55 эВ, Ф0 4.05 эВ.

Энергетический зазор «дно зоны проводимости – уровень Ферми» можно най-

ти, определив из выражения (5.5) положение уровня Ферми относительно по-

толка валентной зоны:

 

3 kT

 

mp

kT

 

 

N

 

1.38 10 23 300

 

1.4 1016

F Ei

 

 

 

ln

 

 

 

 

ln

 

d

Ei

 

 

 

ln

 

 

4 q

m

q

 

ni

1.6 10

19

1.4 1010

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0.66 2.6 10 2 6 2.3 0.66 0.35 1.01 эВ.

 

 

 

 

Следовательно, искомая величина будет равна

 

 

 

 

 

 

 

 

 

EF

Eg

 

EF

1.12 1.01 0.11 эВ.

 

 

 

В итоге, высота барьера на контакте в энергетических единицах будет

Фб 4.05 0.11 4.55 0.39 эВ.

Это соответствует высоте барьера в вольтах - 0.4 В. Этот барьер соответствует образованию на контакте запорного слоя.

Для нахождения величины обратного тока необходимо воспользоваться выражением

I

0

j S SAT 2 exp

б

5 120 10 2

9 104 exp

0.4

 

 

 

0

kT

 

 

 

 

0.025

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5 1.2 9 104 exp 16

5.4 104

1

 

6.3 10 3

A.

 

 

 

 

 

 

8.3 106

 

 

 

 

 

 

 

Дифференциальное сопротивление в области запорных напряжений рас-

считывается по формуле (7.10):

64

Rd

kT

 

1.38 10 23 300

 

0.025

103

4.0 Ом.

qI0 1.6 10 19 6.3 10 3

6.3

 

 

 

Таким образом, величина обратного тока диода Шоттки, изготовлен-

ного из электронного кремния с никелевым электродом площадью 4.5х10-2

см2, составляет 6.3 мА. При этом дифференциальное сопротивление такого диода Шоттки составляет 4 Ома.

Задача 4. Определить полосу пропускания частот германиевого p-n - пере-

хода при напряжении на нем V 0.1 В , имеющего площадь S 10 2см2 и

плотность обратного тока j0 10 6 А / см2 . Считать уровни легирования p- и n-областей одинаковыми и равными 2.4 1015 см 3 .

Решение. Полоса пропускания – это диапазон частот, в пределах которо-

го коэффициент передачи диода остается постоянным. Нижняя частота диапа-

зона может быть принята равной нулю, а верхняя - частоте среза

1

fср 2π ηp n ,

где ηp n C Rd - время перезарядки перехода, определяемое емкостью C и

дифференциальным сопротивлением Rd . Значит, задача по определению поло-

сы пропускания сводится к задаче нахождения емкости и дифференциального

сопротивления перехода диода.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Емкость перехода C определяется его площадью

S и толщиной слоя

собственной проводимости W и может быть найдена по выражению (7.15)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

C

ε ε0

S S

qεGeε0

 

 

Nd Na

,

(7.18)

 

 

 

 

 

 

 

W

2 Фб V

 

 

Nd

Na

 

 

 

Фб

 

kT

ln

NdNa

,

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

q

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ni

 

 

 

 

65

где εGe - относительная диэлектрическая проницаемость германия. Подста-

новка численных значений в выражения (7.18) приводит к следующему

1.38 10 23

300

ln

2.4 1015

2.4 1015

 

 

б

 

 

 

1.6 10 19

 

 

2.4 1013

2.4 1013

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1.38 4 3 10 21

ln 10 10 1 2.3 0.2 B

 

 

1.6 10 19

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

C S

 

 

 

qεGeε0

 

 

 

 

Nd Na

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2 Фб V

 

 

 

Nd

Na

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10

 

2

 

 

1.6 10 19

16 8.85 10 14

2.4 1015

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

0.2 0.1

 

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10

 

2 1.6 1.6 8.85 1.2

 

10

17

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10 2

 

1.4 10 16

1.2 10 10 Ф.

 

 

 

 

Дифференциальное сопротивление перехода в области положительных смещений определяется выражением

Rd V0

kT

exp

qV0

,

qI0

kT

 

 

 

где все величины табличные или легко вычисляются. Поэтому можно найти величину Rd V0 :

Rd V

 

1.38 10

23 300

 

exp

 

1.6 10 19

0.1

 

1.6 10 19

10 6 10 2

1.38 10

23

300

 

 

 

 

 

 

4.2 10 21

exp

1.6 10 20

 

2.6 106 exp

3.8 1.7 105 Ом.

 

 

 

 

 

 

1.6

10 27

4.2 10 21

 

Теперь можно найти время перезарядки перехода, а из него определим

его верхнюю (граничную) частоту:

66

fср

1

1

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

2π ηp n

 

 

2π RdC

6.28 1.7 105 1.2 10 10

 

 

 

 

 

 

104

 

 

104

7800 Гц.

0.63 1.7 1.2 1.28

 

 

 

Таким образом, ответ на поставленный в задаче вопрос таков: полоса

пропускания p-n перехода, имеющего указанные параметры, равна 7800 Гц.

7.3. ВАРИАНТЫ ЗАДАНИЙ ПО ОПРЕДЕЛЕНИЮ

ПАРАМЕТРОВ КОНТАКТНЫХ СВОЙСТВ

При решении задач данного раздела необходимо пользоваться справочны-

ми данными по численным значениям параметров полупроводников различно-

го физико-химического состава, а также значениями работ выхода из различ-

ных металлов. Эти данные собраны в конце учебно-методического пособия.

1. Определить в вольтах высоту потенциального барьера на границе «германий

– платина», а также величину обратного тока, если известно, что концентрация

донорной примеси составляет Nd 2.4 1016 см 3, а площадь перехода

S 1.5 10 2 см2 .

2. Определить в вольтах высоту потенциального барьера на границе «арсенид галлия – медь», а также величину обратного тока, если известно, что концен-

трация донорной примеси составляет Nd 1.4 1014 см 3 , а площадь перехода

S 2.5 10 2 см2 .

3. Определить в вольтах высоту потенциального барьера на границе «арсенид галлия – золото», а также величину обратного тока, если известно, что концен-

трация акцепторной примеси составляет Nа 1.4 1015 см 3 , а площадь пере-

хода S 5 10 2 см2 .

67

4. Определить в вольтах высоту потенциального барьера на границе «кремний

– магний», а также величину обратного тока, если известно, что концентрация

акцепторной примеси составляет Nа 1.4 1017 см 3 , а площадь перехода

S 5 10 2 см2 .

5. Определить толщину области пространственного заряда и дифференциаль-

ную емкость диода Шоттки p SiMg площадью S 1.5 10 2 см2 и концен-

трацией акцепторной примеси Na 3.8 1017 см 3 при напряжении на пере-

ходе V 0.3 B (запорное напряжение).

6. Определить толщину области пространственного заряда и дифференциаль-

ную емкость диода Шоттки p GaAsAu площадью S 1.5 10 2 см2 и кон-

центрацией акцепторной примеси Na 3.8 1017 см 3 при напряжении на пе-

реходе V 0.1 B (запорное напряжение).

7.

Определить толщину области пространственного заряда и дифференциаль-

ную емкость диода Шоттки n

Ge / Pt площадью S 1.5 10 2 см2 и концен-

трацией донорной примеси Na

2.4 1016 см 3 при напряжении на переходе

V

0.5 B (запорное напряжение).

8. Определить толщину области пространственного заряда и дифференциаль-

ную емкость диода Шоттки n GaAs / Cu площадью S 1.5 10 2 см2 и кон-

центрацией донорной примеси Na 2.4 1016 см 3 при напряжении на пере-

ходе V 0.1 B (антизапорное напряжение).

9. Определить величину дифференциального сопротивления германиевого p-n

перехода при напряжении на нем V0 0.1 В , имеющего площадь S 10 2см2 ,

если обратный ток обусловлен диффузионным механизмом поставки неоснов-

ных носителей заряда. Считать уровни легирования p- и n-областей одинаковыми и равными 2.4 1016 см 3 .

68

10. Определить величину дифференциального сопротивления кремниевого p-n

перехода при напряжении на нем V 0.1 В , имеющего площадь S 10 3

см2

,

0

 

 

если обратный ток обусловлен диффузионным механизмом поставки неоснов-

ных носителей заряда. Считать уровни легирования p- и n-областей одинаковыми и равными 2.4 1015 см 3 .

11. Определить величину дифференциального сопротивления арсенид-

галлиевого p-n перехода при напряжении на нем

V0 0.2 В , имеющего пло-

щадь S 10 1см2 , если обратный ток обусловлен

диффузионным механизмом

поставки неосновных носителей заряда. Считать уровни легирования p- и n-

областей одинаковыми и равными 4.4 1014см 3 .

12. Определить величину емкости арсенид-галлиевого p-n перехода при на-

пряжении на нем V0 0.1 В , имеющего площадь S 10 1см2 . Считать уров-

ни легирования p- и n-областей одинаковыми и равными 2.4 1014 см 3 .

13. Определить величину емкости германиевого p-n перехода при напряжении

на нем V0 0.1 В , имеющего площадь S 10 1см2 . Считать уровни легирова-

ния p- и n-областей одинаковыми и равными 2.4 1015 см 3 .

14. Определить величину емкости кремниевого p-n перехода при напряжении

на нем V0 0.2 В , имеющего площадь S 10 1см2 . Считать уровни легиро-

вания p- и n-областей одинаковыми и равными 2.4 1015см 3 .

15. Определить время перезарядки кремниевого p-n перехода при напряжении

на нем V

 

0.1 В , имеющего площадь S 10 2

см2

и плотность обратного

0

 

 

 

тока j0

10 7 А / см2. Считать уровни легирования p- и n-областей одинако-

выми и равными 2.4 1016 см 3 .

69

16. Определить время перезарядки арсенид-галлиевого p-n перехода при на-

пряжении на нем V 0.1 В , имеющего площадь S 10 2

см2

и плотность об-

0

 

 

ратного тока j0 10 8 А / см2. Считать уровни легирования p- и n-областей одинаковыми и равными 4.8 1014см 3 .

17. Определить работу выхода электрона из металла металлического электрода

диода Шоттки на основе кремния, если известно, что дифференциальная ем-

кость диода при напряжении V 0.2 B составляет C 587 пФ , его площадь

S 2.5 10 2 2 , а уровень легирования полупроводника донорной примесью равен Nd 3.8 1014 см 3 .

18. Определить работу выхода электрона из металла металлического электрода

диода Шоттки на основе германия, если известно, что дифференциальное со-

противление диода при напряжении V 0.1 B (антизапорное напряжение) со-

ставляет Rd 7.8 102 Ом , его площадь S 2.5 10 2 2 , а уровень легиро-

вания полупроводника донорной примесью равен Nd 3.8 1014 см 3 .

19. Определить концентрации легирующих примесей в германиевом p n пе-

реходе площадью S 7.7 10 4см2 , если известно, что уровни легирования n и p областей одинаковы, а его дифференциальное сопротивление при от-

пирающем напряжении на нем V 0.15 В составляет 4.8 102 Ом .

20. Определить величину обратного тока в кремниевом p n переходе площа-

дью S 7.5 10 4см2 , если известно, что его полоса пропускания составляет

f

2 105Гц при отсутствии напряжения на нем, уровни легирования n и

p

областей одинаковы, а высота барьера составляет 0.66 В .

70