Твердотельная электроника.-1
.pdfЭта область значительно меньше указанных выше областей расположения примесных уровней.
Концентрация свободных дырок p0 в валентной зоне полупроводника равна разности концентраций ионизованных акцепторов и концентрации доноров:
|
|
|
p0 |
Na f Ea |
|
Nd , |
|
|
|
|
|
|
|
|
(5.17) |
|||||||||
где функция заполнения электронами акцепторного уровня есть |
||||||||||||||||||||||||
|
|
|
f Ea |
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
. |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
Ea |
|
F |
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
1 |
|
exp |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Из выражения (5.17) найдем концентрацию акцепторной примеси: |
||||||||||||||||||||||||
|
|
Na p0 |
Nd |
1 |
exp |
|
Ea |
|
|
F |
. |
|
(5.18) |
|||||||||||
|
|
|
|
|
kT |
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
Здесь положение уровня Ферми F относительно потолка валентной зоны оп- |
||||||||||||||||||||||||
ределяется уже известным образом (см. (5.14)): |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
F E |
|
|
|
3 kT |
|
|
mp |
|
|
kT |
|
|
n |
|
|||||||||
|
V |
|
Ei ( эВ ) |
|
|
|
|
|
ln |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ln |
i |
,( эВ ) . |
|
|
q |
|
|
4 q |
|
m |
|
|
|
|
|
|
q |
|
p0 |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Перепишем выражение (5.18) в следующем виде, увязав положение акцептор-
ного уровня с потолком валентной зоны:
Na |
p0 |
Nd |
1 exp |
Ea |
F |
|
|||
kT |
, |
||||||||
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
||||
p0 |
Nd |
1 |
exp |
Ea EV |
|
F EV |
|
||
|
|
kT |
|||||||
|
|
|
|
|
|
или в таком виде:
31
Na |
p0 Nd |
1 exp |
|
Ea EV |
F EV |
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
exp |
Ea |
|
EV |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
. |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
p0 |
Nd |
1 |
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
exp |
|
F |
|
EV |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Окончательно: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
exp |
|
Ea |
EV |
|
|
|
q |
|
|
|
|||||||
Na |
p0 |
Nd |
1 |
|
|
|
|
|
|
|
q |
|
|
|
kT |
. |
(5.19) |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
exp |
|
F |
EV |
|
|
|
q |
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
q |
|
|
kT |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Теперь подставим численные значения в данное выражение:
Ea |
EV |
|
|
q |
|
|
0.12 |
102 |
4.63 , |
||||
|
q |
kT |
2.59 |
||||||||||
|
|
|
|
|
|||||||||
|
F |
EV |
|
Ei |
|
EV |
|
|
ni |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ln |
|
. |
||
|
|
kT |
|
|
|
kT |
|
p0 |
Далее, подставив эти значения в выражение (5.19), получим:
Na |
p0 |
Nd 1 |
|
|
|
|
|
exp 4.63 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
ni |
exp |
|
Ei |
|
|
EV |
|
|
q |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
p0 |
|
|
|
|
q |
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
p0 |
Nd |
1 |
|
|
|
|
exp 4.63 |
|
|
|
|
|
|
p0 |
Nd |
|
1 |
|
exp 4.63 |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
ni |
0.56 |
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
ni |
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
exp |
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
p0 |
exp 21.6 |
|||||||||
|
|
|
|
p0 |
2.59 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
p0 |
Nd |
1 |
exp 4.63 |
21.6 |
|
|
|
|
p0 Nd |
1 |
|
p0 exp 17.0 |
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
ni |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ni |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
p0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
2.4 |
28.0 1016 1 |
|
2.8 1017 |
exp |
17 |
|
3.0 1017 1 2 107 exp 17 . |
|||||||||||||||||||||||||
|
|
1.4 1010 |
|
32
Вычислив exp 17 |
1 |
10 |
5 , найдем |
||
|
|
||||
228 |
|||||
|
|
|
|||
Na 3.0 1017 1 |
2 107 / 228 105 3.0 1017 1 0.88 5.6 1017 см 3 . |
Таким образом, концентрация компенсирующей примеси с заданным энерге-
тическим положением должна составлять 5.6 1017см 3 .
5.3. ВАРИАНТЫ ЗАДАНИЙ ПО ВЫЧИСЛЕНИЮ
ПАРАМЕТРОВ ЗОННОГО СПЕКТРА ПОЛУПРОВОДНИКА
1. Определить положение уровня Ферми относительно потолка валентной зо-
ны в кремниевом полупроводнике p - типа и концентрацию неосновных носи-
телей, если известно, что концентрация акцепторной примеси в нем равна
Na 1016 см-3.
2. Определить положение уровня Ферми относительно потолка валентной зо-
ны в кремниевом полупроводнике n - типа и концентрацию неосновных носи-
телей, если известно, что концентрация донорной примеси в нем равна
Nd 1016 см-3.
3. Определить положение уровня Ферми относительно середины запрещенной зоны в германиевом полупроводнике p - типа и концентрацию неосновных но-
сителей, если известно, что концентрация акцепторной примеси в нем равна
Na 1017 см-3.
4. Определить положение уровня Ферми относительно потолка середины за-
прещенной зоны в германиевом полупроводнике n - типа и концентрацию не-
основных носителей, если известно, что концентрация донорной примеси в нем
равна Nd 1017 см-3.
33
5. Определить положение уровня Ферми относительно потолка валентной зо-
ны в в полупроводниковом образце GaAs n - типа и концентрацию неосновных носителей, если известно, что концентрация донорной примеси в нем равна
Nd 1015 см-3.
6. Определить положение уровня Ферми относительно потолка валентной зо-
ны в полупроводниковом образце GaAs p - типа и концентрацию неосновных носителей, если известно, что концентрация акцепторной примеси в нем равна
Na 1015 см-3.
7. Определить положение акцепторного уровня Ea (в электроно-вольтах) от-
носительно потолка валентной зоны EV в кремниевом полупроводниковом об-
разце p типа, если известно, что концентрация свободных дырок в нем равна |
|
p0 |
6.6 1014 см 3 , а концентрация акцепторной примеси Na 9.0 1014 |
см |
3 . |
8. |
Определить положение донорного уровня Ed (в электроно-вольтах) относи- |
тельно потолка валентной зоны EV в германиевом полупроводниковом образ-
це n |
типа, если известно, что концентрация свободных электронов в нем рав- |
|
на |
n0 |
5.6 1014 см 3 , а концентрация донорной примеси Nd 8.8 1014 |
см |
3 . |
|
9. Определить положение донорного уровня Ed (в электроно-вольтах) относи-
тельно потолка валентной зоны EV в арсенид-галлиевом полупроводниковом
образце n |
типа, если известно, что концентрация свободных электронов в нем |
равна n0 |
1.6 1012 см 3 , а концентрация донорной примеси Nd 3.2 1012 |
см 3 . |
|
10. Определить положение акцепторного уровня Ea (в электроно-вольтах) от-
носительно потолка валентной зоны EV в арсенид-галлиевом полупроводни-
34
ковом образце p |
типа, если известно, что концентрация свободных дырок в |
|
нем |
равна p0 |
2.6 1012 см 3 , а концентрация акцепторной примеси |
Na |
4.5 1012 см |
3 . |
11. Определить положение донорного уровня Ed (в электроно-вольтах) отно-
сительно потолка валентной зоны EV в германиевом полупроводниковом об-
разце n типа, если известно, что концентрация свободных дырок в нем равна p0 4.6 1013 см 3 , а концентрация донорной примеси Nd 7.0 1013 см 3 .
12. |
Определить положение акцепторного уровня Ea (в электроно-вольтах) от- |
||
носительно потолка валентной зоны EV в арсенид-галлиевом полупроводни- |
|||
ковом образце p |
типа, если известно, что концентрация свободных дырок в |
||
нем равна p0 |
3.6 1012 см 3 , а |
концентрация акцепторной примеси |
|
Na |
9.6 1012 см |
3 . |
|
13. |
Определить положение донорного уровня Ed (в электроно-вольтах) отно- |
||
сительно потолка валентной зоны EV |
в германиевом полупроводниковом об- |
разце n типа, если известно, что концентрация свободных дырок в нем равна p0 2.6 1013 см 3 , а концентрация донорной примеси Nd 7.7 1013 см 3 .
14. Какой должна быть концентрация компенсирующей акцепторной примеси,
вводимой в образец арсенида галлия |
n |
типа |
с концентрацией электронов |
||||
n0 |
2.4 |
1016 см |
3 для |
получения |
p |
типа |
с концентрацией дырок |
p0 |
2.8 |
1017 см |
3 , если |
энергетический уровень вводимой акцепторной при- |
меси Ea удален от потолка валентной зоны на расстояние Ea EV 0,12 эВ?
15. Какой должна быть концентрация компенсирующей акцепторной примеси,
вводимой в образец |
германия n |
типа с |
концентрацией электронов |
n0 2.4 1016 см 3 для |
получения |
p типа |
с концентрацией дырок |
35
p0 2.8 1017 см 3 , если энергетический уровень вводимой акцепторной при-
меси Ea удален от потолка валентной зоны на расстояние Ea EV 0,12 эВ?
16. Какой должна быть концентрация компенсирующей донорной примеси,
вводимой в |
образец |
кремния |
p |
типа |
с концентрацией дырок |
||
p0 |
2.4 |
1016 см |
3 для |
получения |
n |
типа |
с концентрацией электронов |
n0 |
2.8 |
1017 см |
3 , если энергетический уровень вводимой донорной примеси |
Ed удален от потолка валентной зоны на расстояние Ed EV 1,05 эВ ?
17. Какой должна быть концентрация компенсирующей донорной примеси,
вводимой в |
образец |
германия |
p типа |
с концентрацией дырок |
|
p0 |
2.2 1015 см |
3 для |
получения n |
типа |
с концентрацией электронов |
n0 |
2.8 1015 см |
3 , если энергетический уровень вводимой донорной примеси |
Ed удален от потолка валентной зоны на расстояние Ed EV 0,56 эВ ?
18. Какой должна быть концентрация компенсирующей донорной примеси,
вводимой в образец арсенида галлия |
p типа с концентрацией дырок |
||
p0 |
2.4 1012 см |
3 для получения n |
типа с концентрацией электронов |
n0 |
2.8 1013 см |
3 , если энергетический уровень вводимой донорной примеси |
Ed удален от потолка валентной зоны на расстояние Ed EV 1,35 эВ ?
19. Какой должна быть концентрация компенсирующей донорной примеси,
вводимой в |
образец |
кремния |
p |
типа |
с концентрацией дырок |
|
p0 |
1.4 1017 см |
3 для |
получения |
n |
типа |
с концентрацией электронов |
n0 |
2.8 1017 см |
3 , если энергетический уровень вводимой донорной примеси |
||||
Ed |
удален от потолка валентной зоны на расстояние Ed EV 1,0 эВ? |
36
20. Какой должна быть концентрация компенсирующей донорной примеси,
вводимой в |
образец |
германия |
p |
типа |
с концентрацией дырок |
||
p0 |
2.7 |
1014 см |
3 для |
получения |
n |
типа |
с концентрацией электронов |
n0 |
4.8 |
1014 см |
3 , если энергетический уровень вводимой донорной примеси |
||||
Ed |
удален от потолка валентной зоны на расстояние Ed EV 0,60 эВ ? |
37
6.«КИНЕТИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ В ПОЛУПОВОДНИКАХ »
6.1.КРАТКОЕ ИЗЛОЖЕНИЕ ТЕОРИИ
Общие положения. К кинетическим явлениям в полупроводниках относят
явления, связанные с переносом (движением) свободных носителей заряда под действием как внешних сил (электрического или магнитного поля, например),
так и градиента температуры или концентрации. Движение носителей заряда в объеме полупроводникового кристалла должно подчиняться некоторым общим требованиям: если в результате устанавливается некоторое новое стационарное состояние полупроводника, то уровень Ферми должен быть одинаков во всех точках полупроводника, в которых установилось состояние равновесия.
Электропроводность. При помещении полупроводника p - или n типа в
электрическое поле величиною |
0 |
в зонах разрешенных значений энергии воз- |
|
|
никает направленное движение электронов и дырок: электроны, находясь в зо-
не проводимости, перемещаются навстречу полю, а дырки в валентной зоне движутся по полю. Поэтому полный ток в полупроводнике равен сумме этих токов:
j jn jp .
Каждый из этих токов можно рассчитать исходя из следующих соображений.
Если концентрация электронов равна n0 и они перемещаются навстречу полю со средней скоростью n , то переносимый ими заряд за время t через единич-
ную площадку, перпендикулярную направлению их скорости, будет равен:
Qn t ,
где q 1.6 10 19 Kл - заряд отдельного электрона. Следовательно, протекаю-
щий электронный ток будет иметь плотность
jn |
dQn |
qn0υn . |
|
dt |
|||
|
|
38
Этот ток должен подчиняться закону Ома
|
|
|
j |
n |
ζ ε |
qn |
υn |
ε |
qμ |
n ε |
, |
(6.1) |
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
0 |
0 ε |
0 |
n |
0 0 |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
||
где обозначено: μ |
n |
υn |
- подвижность электронов в полупроводнике. В соот- |
||||||||||
ε0 |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ветствии с законами механики скорость электрона должна линейно возрастать как с ростом величины электрического поля, так и времени его воздействия. В
действительности же из-за множественных столкновений скорость движения свободных частиц в кристалле с ростом приложенного электрического поля быстро насыщается. Поэтому этот параметр оказывается практически посто-
янной величиной для данного полупроводникового материала.
Подвижность свободных носителей заряда связана с коэффициентами их
диффузии Dn , Dp соотношениями:
D |
kT |
μ , |
D |
kT |
μ |
p |
. |
|
|
||||||
n |
q |
n |
p |
q |
|
||
|
|
|
|
|
Из выражения (6.1) можно найти электропроводность полупроводника, создан-
ную свободными электронами, воспользовавшись законом Ома ( jn ζnε0 ):
ζn qμnn0 .
Аналогичным образом находится дырочная составляющая электропроводности
кристалла, в которой фигурируют подвижность дырок p и их концентрация в
валентной зоне p0 . Поэтому полная электропроводность полупроводника рав-
на сумме электронной и дырочной электропроводностей:
ζ qμnn0 qμpp0 . |
(6.2) |
Теперь обратимся к объяснению возникновения тока проводимости в полу-
проводниках при приложении к нему электрического поля. Пусть имеется по-
лупроводник n -типа, донорная примесь которого полностью ионизована. В ре-
зультате в зоне проводимости находятся свободные электроны с концентраци-
39
ей n0 , равной концентрации введенной донорной примеси Nd . В валентной зоне также имеются свободные носители заряда – дырки, но их концентрация меньше концентрации свободных электронов и равна
|
n2 |
|
|
p0 |
i |
. |
|
Nd |
|||
|
|
Пусть теперь к этому полупроводнику приложили электрическое поле, причем его положительный полюс находится на левом торце полупроводникового об-
разца, а отрицательный – на правом. Как описано в учебном пособии к данной дисциплине (см. Давыдов В.Н. Твердотельная электроника. Учебное пособие.
ТМЦ ДО, 2005, п.2.6), наложение электрического поля приводит к наклону энергетической диаграммы полупроводника на угол, определяемый величиной поля. Энергетическая диаграмма полупроводника в поле показана на рис.3.
Здесь En , Ep - направления отсчитывания энергий электронов и дырок, x -
координата в объеме полупроводника в направлении действия электрического поля, vn, v p - скорости дрейфа электронов и дырок, jn, jp - дрейфовые то-
ки, создаваемые движением электронов и дырок соответственно.
Диффузионный ток. Электрический ток в твердых телах может возникнуть не толь-
ко под действием электрического поля.
Направленное движение электронов и
(или) дырок может возникнуть при неодно-
родном их распределении в пространстве.
В результате из мест с высокой концентра-
цией свободные носители устремятся в
места, где их концентрация меньше. Воз-
Рис.3
никающий при этом ток называется диффу-
зионным, т.к. причина возникновения движения – диффузия носителей заряда.
Величина диффузионного тока пропорциональна градиенту концентрации сво-
40