Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Твердотельная электроника.-1

.pdf
Скачиваний:
102
Добавлен:
05.02.2023
Размер:
2.64 Mб
Скачать

Эта область значительно меньше указанных выше областей расположения примесных уровней.

Концентрация свободных дырок p0 в валентной зоне полупроводника равна разности концентраций ионизованных акцепторов и концентрации доноров:

 

 

 

p0

Na f Ea

 

Nd ,

 

 

 

 

 

 

 

 

(5.17)

где функция заполнения электронами акцепторного уровня есть

 

 

 

f Ea

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ea

 

F

 

 

 

 

 

 

1

 

exp

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Из выражения (5.17) найдем концентрацию акцепторной примеси:

 

 

Na p0

Nd

1

exp

 

Ea

 

 

F

.

 

(5.18)

 

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Здесь положение уровня Ферми F относительно потолка валентной зоны оп-

ределяется уже известным образом (см. (5.14)):

 

 

 

 

 

 

 

 

 

F E

 

 

 

3 kT

 

 

mp

 

 

kT

 

 

n

 

 

V

 

Ei ( эВ )

 

 

 

 

 

ln

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ln

i

,( эВ ) .

 

q

 

 

4 q

 

m

 

 

 

 

 

 

q

 

p0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Перепишем выражение (5.18) в следующем виде, увязав положение акцептор-

ного уровня с потолком валентной зоны:

Na

p0

Nd

1 exp

Ea

F

 

kT

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p0

Nd

1

exp

Ea EV

 

F EV

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

или в таком виде:

31

Na

p0 Nd

1 exp

 

Ea EV

F EV

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

exp

Ea

 

EV

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p0

Nd

1

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

exp

 

F

 

EV

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Окончательно:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

exp

 

Ea

EV

 

 

 

q

 

 

 

Na

p0

Nd

1

 

 

 

 

 

 

 

q

 

 

 

kT

.

(5.19)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

exp

 

F

EV

 

 

 

q

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

q

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Теперь подставим численные значения в данное выражение:

Ea

EV

 

 

q

 

 

0.12

102

4.63 ,

 

q

kT

2.59

 

 

 

 

 

 

F

EV

 

Ei

 

EV

 

 

ni

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ln

 

.

 

 

kT

 

 

 

kT

 

p0

Далее, подставив эти значения в выражение (5.19), получим:

Na

p0

Nd 1

 

 

 

 

 

exp 4.63

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ni

exp

 

Ei

 

 

EV

 

 

q

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p0

 

 

 

 

q

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p0

Nd

1

 

 

 

 

exp 4.63

 

 

 

 

 

 

p0

Nd

 

1

 

exp 4.63

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ni

0.56

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

ni

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

exp

 

 

 

 

10

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p0

exp 21.6

 

 

 

 

p0

2.59

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p0

Nd

1

exp 4.63

21.6

 

 

 

 

p0 Nd

1

 

p0 exp 17.0

 

 

 

 

 

 

 

ni

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ni

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2.4

28.0 1016 1

 

2.8 1017

exp

17

 

3.0 1017 1 2 107 exp 17 .

 

 

1.4 1010

 

32

Вычислив exp 17

1

10

5 , найдем

 

 

228

 

 

 

Na 3.0 1017 1

2 107 / 228 105 3.0 1017 1 0.88 5.6 1017 см 3 .

Таким образом, концентрация компенсирующей примеси с заданным энерге-

тическим положением должна составлять 5.6 1017см 3 .

5.3. ВАРИАНТЫ ЗАДАНИЙ ПО ВЫЧИСЛЕНИЮ

ПАРАМЕТРОВ ЗОННОГО СПЕКТРА ПОЛУПРОВОДНИКА

1. Определить положение уровня Ферми относительно потолка валентной зо-

ны в кремниевом полупроводнике p - типа и концентрацию неосновных носи-

телей, если известно, что концентрация акцепторной примеси в нем равна

Na 1016 см-3.

2. Определить положение уровня Ферми относительно потолка валентной зо-

ны в кремниевом полупроводнике n - типа и концентрацию неосновных носи-

телей, если известно, что концентрация донорной примеси в нем равна

Nd 1016 см-3.

3. Определить положение уровня Ферми относительно середины запрещенной зоны в германиевом полупроводнике p - типа и концентрацию неосновных но-

сителей, если известно, что концентрация акцепторной примеси в нем равна

Na 1017 см-3.

4. Определить положение уровня Ферми относительно потолка середины за-

прещенной зоны в германиевом полупроводнике n - типа и концентрацию не-

основных носителей, если известно, что концентрация донорной примеси в нем

равна Nd 1017 см-3.

33

5. Определить положение уровня Ферми относительно потолка валентной зо-

ны в в полупроводниковом образце GaAs n - типа и концентрацию неосновных носителей, если известно, что концентрация донорной примеси в нем равна

Nd 1015 см-3.

6. Определить положение уровня Ферми относительно потолка валентной зо-

ны в полупроводниковом образце GaAs p - типа и концентрацию неосновных носителей, если известно, что концентрация акцепторной примеси в нем равна

Na 1015 см-3.

7. Определить положение акцепторного уровня Ea (в электроно-вольтах) от-

носительно потолка валентной зоны EV в кремниевом полупроводниковом об-

разце p типа, если известно, что концентрация свободных дырок в нем равна

p0

6.6 1014 см 3 , а концентрация акцепторной примеси Na 9.0 1014

см

3 .

8.

Определить положение донорного уровня Ed (в электроно-вольтах) относи-

тельно потолка валентной зоны EV в германиевом полупроводниковом образ-

це n

типа, если известно, что концентрация свободных электронов в нем рав-

на

n0

5.6 1014 см 3 , а концентрация донорной примеси Nd 8.8 1014

см

3 .

 

9. Определить положение донорного уровня Ed (в электроно-вольтах) относи-

тельно потолка валентной зоны EV в арсенид-галлиевом полупроводниковом

образце n

типа, если известно, что концентрация свободных электронов в нем

равна n0

1.6 1012 см 3 , а концентрация донорной примеси Nd 3.2 1012

см 3 .

 

10. Определить положение акцепторного уровня Ea (в электроно-вольтах) от-

носительно потолка валентной зоны EV в арсенид-галлиевом полупроводни-

34

ковом образце p

типа, если известно, что концентрация свободных дырок в

нем

равна p0

2.6 1012 см 3 , а концентрация акцепторной примеси

Na

4.5 1012 см

3 .

11. Определить положение донорного уровня Ed (в электроно-вольтах) отно-

сительно потолка валентной зоны EV в германиевом полупроводниковом об-

разце n типа, если известно, что концентрация свободных дырок в нем равна p0 4.6 1013 см 3 , а концентрация донорной примеси Nd 7.0 1013 см 3 .

12.

Определить положение акцепторного уровня Ea (в электроно-вольтах) от-

носительно потолка валентной зоны EV в арсенид-галлиевом полупроводни-

ковом образце p

типа, если известно, что концентрация свободных дырок в

нем равна p0

3.6 1012 см 3 , а

концентрация акцепторной примеси

Na

9.6 1012 см

3 .

 

13.

Определить положение донорного уровня Ed (в электроно-вольтах) отно-

сительно потолка валентной зоны EV

в германиевом полупроводниковом об-

разце n типа, если известно, что концентрация свободных дырок в нем равна p0 2.6 1013 см 3 , а концентрация донорной примеси Nd 7.7 1013 см 3 .

14. Какой должна быть концентрация компенсирующей акцепторной примеси,

вводимой в образец арсенида галлия

n

типа

с концентрацией электронов

n0

2.4

1016 см

3 для

получения

p

типа

с концентрацией дырок

p0

2.8

1017 см

3 , если

энергетический уровень вводимой акцепторной при-

меси Ea удален от потолка валентной зоны на расстояние Ea EV 0,12 эВ?

15. Какой должна быть концентрация компенсирующей акцепторной примеси,

вводимой в образец

германия n

типа с

концентрацией электронов

n0 2.4 1016 см 3 для

получения

p типа

с концентрацией дырок

35

p0 2.8 1017 см 3 , если энергетический уровень вводимой акцепторной при-

меси Ea удален от потолка валентной зоны на расстояние Ea EV 0,12 эВ?

16. Какой должна быть концентрация компенсирующей донорной примеси,

вводимой в

образец

кремния

p

типа

с концентрацией дырок

p0

2.4

1016 см

3 для

получения

n

типа

с концентрацией электронов

n0

2.8

1017 см

3 , если энергетический уровень вводимой донорной примеси

Ed удален от потолка валентной зоны на расстояние Ed EV 1,05 эВ ?

17. Какой должна быть концентрация компенсирующей донорной примеси,

вводимой в

образец

германия

p типа

с концентрацией дырок

p0

2.2 1015 см

3 для

получения n

типа

с концентрацией электронов

n0

2.8 1015 см

3 , если энергетический уровень вводимой донорной примеси

Ed удален от потолка валентной зоны на расстояние Ed EV 0,56 эВ ?

18. Какой должна быть концентрация компенсирующей донорной примеси,

вводимой в образец арсенида галлия

p типа с концентрацией дырок

p0

2.4 1012 см

3 для получения n

типа с концентрацией электронов

n0

2.8 1013 см

3 , если энергетический уровень вводимой донорной примеси

Ed удален от потолка валентной зоны на расстояние Ed EV 1,35 эВ ?

19. Какой должна быть концентрация компенсирующей донорной примеси,

вводимой в

образец

кремния

p

типа

с концентрацией дырок

p0

1.4 1017 см

3 для

получения

n

типа

с концентрацией электронов

n0

2.8 1017 см

3 , если энергетический уровень вводимой донорной примеси

Ed

удален от потолка валентной зоны на расстояние Ed EV 1,0 эВ?

36

20. Какой должна быть концентрация компенсирующей донорной примеси,

вводимой в

образец

германия

p

типа

с концентрацией дырок

p0

2.7

1014 см

3 для

получения

n

типа

с концентрацией электронов

n0

4.8

1014 см

3 , если энергетический уровень вводимой донорной примеси

Ed

удален от потолка валентной зоны на расстояние Ed EV 0,60 эВ ?

37

qn0υn

6.«КИНЕТИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ В ПОЛУПОВОДНИКАХ »

6.1.КРАТКОЕ ИЗЛОЖЕНИЕ ТЕОРИИ

Общие положения. К кинетическим явлениям в полупроводниках относят

явления, связанные с переносом (движением) свободных носителей заряда под действием как внешних сил (электрического или магнитного поля, например),

так и градиента температуры или концентрации. Движение носителей заряда в объеме полупроводникового кристалла должно подчиняться некоторым общим требованиям: если в результате устанавливается некоторое новое стационарное состояние полупроводника, то уровень Ферми должен быть одинаков во всех точках полупроводника, в которых установилось состояние равновесия.

Электропроводность. При помещении полупроводника p - или n типа в

электрическое поле величиною

0

в зонах разрешенных значений энергии воз-

 

 

никает направленное движение электронов и дырок: электроны, находясь в зо-

не проводимости, перемещаются навстречу полю, а дырки в валентной зоне движутся по полю. Поэтому полный ток в полупроводнике равен сумме этих токов:

j jn jp .

Каждый из этих токов можно рассчитать исходя из следующих соображений.

Если концентрация электронов равна n0 и они перемещаются навстречу полю со средней скоростью n , то переносимый ими заряд за время t через единич-

ную площадку, перпендикулярную направлению их скорости, будет равен:

Qn t ,

где q 1.6 10 19 - заряд отдельного электрона. Следовательно, протекаю-

щий электронный ток будет иметь плотность

jn

dQn

qn0υn .

dt

 

 

38

Этот ток должен подчиняться закону Ома

 

 

 

j

n

ζ ε

qn

υn

ε

qμ

n ε

,

(6.1)

 

 

 

 

 

 

 

 

0

0 ε

0

n

0 0

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

 

 

где обозначено: μ

n

υn

- подвижность электронов в полупроводнике. В соот-

ε0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ветствии с законами механики скорость электрона должна линейно возрастать как с ростом величины электрического поля, так и времени его воздействия. В

действительности же из-за множественных столкновений скорость движения свободных частиц в кристалле с ростом приложенного электрического поля быстро насыщается. Поэтому этот параметр оказывается практически посто-

янной величиной для данного полупроводникового материала.

Подвижность свободных носителей заряда связана с коэффициентами их

диффузии Dn , Dp соотношениями:

D

kT

μ ,

D

kT

μ

p

.

 

 

n

q

n

p

q

 

 

 

 

 

 

Из выражения (6.1) можно найти электропроводность полупроводника, создан-

ную свободными электронами, воспользовавшись законом Ома ( jn ζnε0 ):

ζn qμnn0 .

Аналогичным образом находится дырочная составляющая электропроводности

кристалла, в которой фигурируют подвижность дырок p и их концентрация в

валентной зоне p0 . Поэтому полная электропроводность полупроводника рав-

на сумме электронной и дырочной электропроводностей:

ζ qμnn0 qμpp0 .

(6.2)

Теперь обратимся к объяснению возникновения тока проводимости в полу-

проводниках при приложении к нему электрического поля. Пусть имеется по-

лупроводник n -типа, донорная примесь которого полностью ионизована. В ре-

зультате в зоне проводимости находятся свободные электроны с концентраци-

39

ей n0 , равной концентрации введенной донорной примеси Nd . В валентной зоне также имеются свободные носители заряда – дырки, но их концентрация меньше концентрации свободных электронов и равна

 

n2

 

p0

i

.

Nd

 

 

Пусть теперь к этому полупроводнику приложили электрическое поле, причем его положительный полюс находится на левом торце полупроводникового об-

разца, а отрицательный – на правом. Как описано в учебном пособии к данной дисциплине (см. Давыдов В.Н. Твердотельная электроника. Учебное пособие.

ТМЦ ДО, 2005, п.2.6), наложение электрического поля приводит к наклону энергетической диаграммы полупроводника на угол, определяемый величиной поля. Энергетическая диаграмма полупроводника в поле показана на рис.3.

Здесь En , Ep - направления отсчитывания энергий электронов и дырок, x -

координата в объеме полупроводника в направлении действия электрического поля, vn, v p - скорости дрейфа электронов и дырок, jn, jp - дрейфовые то-

ки, создаваемые движением электронов и дырок соответственно.

Диффузионный ток. Электрический ток в твердых телах может возникнуть не толь-

ко под действием электрического поля.

Направленное движение электронов и

(или) дырок может возникнуть при неодно-

родном их распределении в пространстве.

В результате из мест с высокой концентра-

цией свободные носители устремятся в

места, где их концентрация меньше. Воз-

Рис.3

никающий при этом ток называется диффу-

зионным, т.к. причина возникновения движения – диффузия носителей заряда.

Величина диффузионного тока пропорциональна градиенту концентрации сво-

40