Процессы переноса в магнитном поле.

Процесс

Протекание процесса

Примечание

1. Столкновение электронов с атомами, ионами, молекулами

Возбуждение:

e+A→A^*+e

A^*→A+hυ

-стабилизация с излучением фотона

A^*→R_a+R_b

-диссоциация на радикалы

A^*→A⁺+e

-образование иона и электрона (автоионизация)

Прилипание:

e+A→(A^–)^*

(A^–)^*→A^–+hυ

-радиационное прилипание

(A^–)^*→R_a+R_b

-диссоциативное прилипание

(A^–)^*→A+e

-автоионизация

Ионизация:

e+A→A⁺+2e

e+A^*→A⁺+2e

Однократная ионизация

-из основного (невозбужденного) состояния с образованием однократного иона

Двукратная ионизация

-из возбужденного состояния с образованием многозарядного иона

Диссоциация:

e+AB→e+A+B

e+AB→R_a+R_b

-образование атомов

e+AB→e+AB^*

AB^*→R_a+R_b

-двухступенчатый процесс с образованием радикалов

Рекомбинация:

e+A⁺→A^*

e+AB⁺→A^*B

e+AB⁺→AB

A^*→A+h

-фоторекомбинация

-диссоциативная рекомбинация (при малой энергии элек-трона)

(при большой энергии электрона)

2. столкновение атомов, молекул и ионов

Возбуждение:

A+B→A+B^*

При столкновении атомов

Ионизация: A+B→A+B⁺+e

При столкновении атомов

A^*+B→AB⁺+e

-ассоциативная ионизация

Рекомбинация:

R_a+R_b→AR^*

A⁺+B^-→AB

AR^*→AR+hυ

-фоторекомбинация

-простая рекомбинация

Перезарядка:

A⁺+B→A+B⁺

A⁺+B^–→A+B

-образование нового иона

-взаимная нейтрализация

Отлипание:

A^–+B→A+B+e

A^–+B→AB+e

-ассоциативное отлипание

Химические реакции:

A+B+C→AB+C

A+B+C→A+BC

A+BC→AB+C

R→П→ A_nR

Эти реакции могут протекать в газовой фазе (гомогенные) и на поверхности (гетерогенные)

Распыление:

A⁺+B_n→B⁺+A_n

e+B_n→B^–+B_n

-ионное распыление

-электронное распыление