- •1. Эмиссионные процессы: Вторичная ионно-электронная эмиссия. Поверхностная ионизация
- •Как ведет себя γк в зависимости от энергии падающих ионов?
- •В чем отличия γк для диэлектриков и полупроводников от металлов?
- •Что такое поверхностная ионизация?
- •Уравнение Саха-Ленгмюра.
- •Что такое степень покрытия?
- •Образование и гибель заряженных частиц
- •Как можно измерить диффузию?
- •5.7 При рассмотрении несамостоятельного тока без ионизационного усиления каки делаются допущения?
- •5.8 Какие частные случаи целесообразно рассмотреть при анализе несамостоятельного тока в разрядном промежутке? Почему?
- •5.9 Как можно посчитать максимальную концентрацию частиц в объеме создаваемую внешним ионизатором?
- •5.10 В каком случае газовый промежуток можно характеризовать удельным сопротивлением и проводимостью?
- •8. Положительный столб Газового разряда.
- •9. Дуга.
- •7. Самостоятельные разряды: Тлеющий разряд. Теория катодного слоя
- •8. Положительный столб газового разряда
- •9. Дуга.
- •10. Коронный разряд.
1. Эмиссионные процессы: Вторичная ионно-электронная эмиссия. Поверхностная ионизация
На какие виды делится вторичная ионно-электронная эмиссия, чем они отличаются?
ВИЭЭ различают двух видов:
Потенциальная γП, которая происходит под действием поля ионов, подошедших к поверхности тела, и не зависит от энергии ионов.
Кинетическая γК, обусловленная передачей ионами части своей кинетической энергии, т.е. неупругими столкновениями
Условие для потенциальной эмиссии
работа выхода еφ в 2 раза меньше, чем потенциал ионизации I:
Как действует на коэффициент ВИЭЭ загрязнения поверхности?
ПЭ очень зависит от наличия грязи на поверхности, при этом получается растущая зависимость от энергии, что неверно!!! (не уверен в том, что этого достаточно, но я больше ничего не нашел на этот счет).
Существует ли энергетический порог у различных видов ВЭИИ? Почему?
Существует. За порогом коэффициент кинетического выбивания γк растёт, выходит на плато и далее уменьшается.
Что такое оже-процесс?
Потенциальная эмиссия связана с передачей электронам мишени энергии, выделяющейся при переходе бомбардирующего иона в основное состояние атома. Этот переход осуществляется обычно путём, так называемой, оженейтрализации. Если к поверхности металла приближается ион, незанятый энергетический уровень которого лежит ниже уровня Ферми (схему процесса можно видеть на представленном рисунке), то на этот уровень перейдёт один из электронов проводимости 1.
В результате этого ион нейтрализуется, высвобождающаяся энергия передаётся др. электрону 2 металла, который получает возможность покинуть металл.
a – Оже-нейтрализация; б – Оже-дезактивация;
Как ведет себя γк в зависимости от энергии падающих ионов?
При увеличении энергии налетающих ионов, γк возрастает до насыщения, потом наблюдается спад.
В чем отличия γк для диэлектриков и полупроводников от металлов?
Значения γк для диэлектриков почти на порядок выше, чем для металлических мишеней, чистых или загрязненных
Пороговые значения Eп диэлектриков почти на порядок ниже (~ 150 эВ), чем для металлов
Для молекулярных ионов коэффициент γк представляет собой аддитивную величину, т.е складывается из γк ионов их составляющих
При энергии ионов несколько кэВ, γк достигает значений 4-5.
Аддитивность γi = γп + γк может не иметь места при облучении ионами диэлектриков и плёнок сложного состава. Разогревание материала интенсивным ионным пучком, зарядка им поверхности плёнок и т.п. могут приводить к появлению термоэлектронной и полевой электронной эмиссий.
Что такое поверхностная ионизация?
термоэлектронная, фотоэлектронная и автоэлектронная эмиссии, вторичная электрон-электронная и ионно-электронные эмиссии - можно назвать условно одним термином: поверхностная ионизация, т.е. образование (можно даже сказать излучение) заряженных частиц на поверхности твердого тела. Еще один процесс, который нужно отнести к поверхностной ионизации и который в основном воспринимается под этим термином – это термическая Десорбция (испарение) положительных или отрицательных ионов с поверхностей твёрдых тел.