Подготовка оборудования

Оборудования подготавливаются наладчиками, после чего они записывают в журнал о его готовности и расписываются. Оператору лишь стоит залить растворы в ванны, нужно проверить наличие записи о готовности оборудования, расписаться и только после этого можно приступать к работе.

Технологический процесс Отмывка пластин перед напылением Al(металл-1)

1. Налить в ванну раствор ПАР-5 до метки.

2. Нагреть раствор до температуры 755С.

3. Загрузить пластины в кассету из тары методом опрокидывания. Записать в сопроводительном листе количество поступивших пластин, дату, фамилию и время начала операции.

4. Погрузить с помощью захвата кассеты с пластинами в пар-5

5. Выдержать операционные кассеты с пластинами в растворе 101мин.

6. Перенести кассеты с пластинами в стоп-ванну.

7. Перенести кассеты с пластинами в ванны финишной отмывки и промыть до удельного сопротивления не менее 15 Мом•см.

8. Перенести кассеты с пластинами к установке отмывки и сушки, не вынося за пределы обеспыленной зоны.

Примечание. Сливать раствор после обработки в нем не более 200 пластин.

9. Провести освежение пластин в травителе №3, проконтролировать качество освежения по скатываемости травителя с пластин.

10. повторить пункт 6

11. повторить пункт 7

12. повторить пункт 8

13. Проверить под микроскопом толщину пленки(по цвету конденсата) и запариваемость.

14. Если пластины запариваются, то значит они освежились нормально, если не запариваются нужно произвезти доосвежение пластин(в тр.№3) и повторить операции 6, 7, 8, 13.

15. Записать в сопроводительный лист количество годных пластин, толщину пленки(если надо) и время конца операции.

16. Передать готовые пластины далее по маршруту.

Отмывка пластин перед напылением Al(металл-2)

1. Загрузить пластины в кассету из тары методом опрокидывания. Записать в сопроводительном листе количество поступивших пластин, дату, фамилию и время начала операции.

2. Погрузить с помощью захвата кассеты с пластинами в ванну с холодной серной кислотой на 5 мин.

3. Перенести кассеты с пластинами в стоп-ванну.

4. Перенести кассеты с пластинами в ванны финишной отмывки и промыть до удельного сопротивления не менее 15 Мом•см.

5. Перенести кассеты с пластинами к установке отмывки и сушки, не вынося за пределы обеспыленной зоны.

Примечание. Сливать раствор после обработки в нем не более 200 пластин.

6. Погрузить кассеты с пластинами в травитель №27 на 14 мин.

7. повторить пункт 3

8. повторить пункт 4

9. повторить пункт 5

10. Проверить под микроскопом внешний вид пластин, чтобы не было подтравливаний контактных площадок (в случае этого контактные площадки потемнеют).

11. Записать в сопроводительный лист количество годных пластин, время освежения в травителе(если надо) и время конца операции.

12. Передать готовые пластины далее по маршруту.

Отмывка пластин перед напылением серебра или золота.

1. Загрузить пластины в кассету из тары методом опрокидывания. Записать в сопроводительном листе количество поступивших пластин, дату, фамилию и время начала операции.

2. Погрузить с помощью захвата кассеты с пластинами в ванну с травителем 1:3:1 на 5 секунд.

3. Отмывка в воде в каждом каскаде ванны

4. Перенести кассеты с пластинами в ванны финишной отмывки и промыть до удельного сопротивления не менее 15 Мом•см.

5. Перенести кассеты с пластинами к установке отмывки и сушки, не вынося за пределы обеспыленной зоны.

Примечание. Сливать раствор после обработки в нем не более 200 пластин.

6. Снятие ленты-спутника. Перед этим нужно обязательно надеть напальчники и протереть их спиртом!

7. Снятие фоторезиста, если он нанесен. Для этого нужно погрузить кассету с пластинами в диметилформиамид, сначало в холодный на 3 мин., потом в горячий на 5-7 мин. затем опять в холодный на 3 мин.

8. повторить пункт 3

9. повторить пункт 4

10. повторить пункт 5

11. Проверить внеший вид коллекторной стороны пластин и под микроскопом полностью ли снят фоторезист.

12. Записать в сопроводительный лист количество годных пластин и время конца операции.

13. Передать готовые пластины далее по маршруту.

Отмывка пластин перед напылением тантала

Производится в травителе №26 до 30 сек(смотреть по реакции), а дальше промывка в воде, сушка ,как и в предыдущих операциях.

Отмывка пластин перед ионным легированием

Производится так же, как перед напылением серебра или золота.

Отмывка пластин перед отжигом

Производится так же, как перед напылением серебра или золота, только освежается в травителе №3(до скатываемости коллекторной стороны п/п пластины)

Отмывка пластин перед напылением тантала

Производится в травителе №26 до 30 сек(смотреть по реакции), а дальше промывка в воде, сушка ,как и в предыдущих операциях.

Контроль качества обработки пластин.

Проконтролировать невооруженным глазом рабочую поверхность пластины под осветителем, удерживая ее захватом на непланарную сторону и поворачивая под разным углом зрения, 100% пл-н.

Поверхность пластин должна быть без пятен , подтеков, разводов, матовости. При наличии на пластинах допустимых деффектов фотолитографии, имеющих вид пятен, полос, матовости при контроле под осветителем должна быть запись на соответствующей фотолитографии о наличии таких дефектов. При отсутствии записи партию вернуть на ф/л.

Допускаются:

• царапины, суммарной длиной не более 0,6 диаметра пластины в количестве не более пяти.

• краевые сколы длиной не более 1 мм в количестве не более двух в местах, не выделенных жирной линией(рисунок)

• мелкая сыпь в диффузионных областях

• после проведения операции «освежение» перед напылением металлизации(алюминий) в травителе №3, контролировать полноту удаления пленки окисла методом конденсации пара согласно Я50.046.333 ТИ «Контроль полноты удаления пленки мнетодом конденсации пара»

Контроль полноты удаления пленки методом конденсации пара

• Налейте воду в кварцевый увлажнитель. Объем воды должен быть в процессы контроля в пределах от 100 до 300 мл.

• Откройте вентиль подачи осушенного и очищенного сжатого воздуха.

• Продуйте систему сжатым воздухом в течение 5-10 минут для чего трехходовый кран увлажнителя поставьте в положение «воздух-пластина».

• Переставьте кран в положение «воздух-пар-пластина».

• Включите в сеть систему «электроплитка – контактный термометр».

• Контроль производите при температуре пара 50-85С

• При достижении заданной температуры отрегулируйте струйку пара на постоянный поток с помощью индикатора расхода. Расход воздуха по индикатору расхода ротаметрическому регулируется в пределах 40-80л/час.

• Включите освещение микроскопа. Возьмите пинцетом пластину и положите на предметный столик микроскопа рабочей стороной вверх.

• Направте пипетку капельницы со струей увлажненного паром воздуха на рабочую поверхность пластины.

• Проследите в микроскоп за конденсацией пара в 3-5 точках в центре и по краям пластин. В окнах должно наблюдатьсяобразование нерастекающих капель воды, если пленка окисла вытравлена полностью, и растекающейся водной радужной пленки, если окисел остался.

Произведится доосвежение пластин или передается далее по маршруту.

Проверка пластин перед напылением металлов допускается:

• не более 10-ти светящихся точек в поле зрения микроскопа, относящихся к загрязнениям, не исчезающих в светлом поле микроскопа;

• наличие мелкой равномерной сыпи;

• дефекты фотолитографии (островки окисла, дырки в окисле) не более одного бракованного поля из пяти просмотренных;

• локальные области с неравномерным окислом менее 50 структур по площади.

• мелкая равномерная сыпь в местах легирования бором и на скрайберных дорожках.

Вид обработки. Загрязнения на пластине, не более _ светящихся точек, штук в поле зрения микроскопа:

• Перед напылением нихрома, молибдена - 7

• Перед напылением алюминия - 8

Контроль чистоты поверхности кремниевых пластин

1. Проконтролировать визуально рабочую поверхность пластины, поворачивая ее под разными углами зрения. Поверхность пластин должна быть чистой, без грязевых пятен, полос, разводов и подтеков.

2. Проверить качество обработки пластин под микроскопом в 5-ти точках в темном и светлом полях при увеличении не менее 280*.

Виды брака

Основным видом брака является несоответствующее время выдержки в кислотах пластин, в результате чего может произойти недотравка или перетравка слоя окисла, что приведет к нарушению структуры пластины. Кроме брака случается и бой пластин, царапины, отпечатки пальцев при неосторожном обращении с ними.

Межоперационные сроки хранения полупроводниковых пластин

Электронно-вакуумная гигиена

Техника безопасности

К самостоятельной работе на данной операции допускаются лица, достигшие восемнадцатилетнего возраста, прошедшие медицинский осмотр и не имеющие противопоказаний по результатам осмотра, прошедшие специально курсовое обучение с проверкой знаний и имеющие удостоверение на право работы с химическими веществами, прошедшие инструктаж по охране труда и пожарной безопасности на рабочем месте, имеющие первую квалификационную группу по технике безопасности при работе с радиоэлектронным оборудованием.

При выполнении данных операций могут возникнуть опасные и вредные производственные факторы:

• повышенное значение напряжения электрической цепи, замыкание которой может произойти через тело человека;

• взрывоопасность перекиси водорода;

• химические ожоги глаз, незащищенных участков тела ;

• отравление парами химических веществ;

• острые кромки,заусеницы и шероховатость на поверхностях заготовок, инструментов и оборудования;

• подвижные части производственного оборудования;

• возгорание спирта.

Работающие с химическими веществами должны знать:

• физические и химические свойства применяемых веществ, особенности их воздействия на организм человека, совместимость хранения о другими химическими веществами;

• меры первой помощи при отравлениях, ожогах и других несчастных случаях ;

• возможные опасные моменты при проведении работ и способы их устранения ;

• противопожарные инструктажи, первичные средства пожаротушения и правила пользования ими ;

• правила пользования средствами индивидуальной защиты.

• Знание правил безопасности труда проверяется мастером один раз в три месяца о записью в журнале регистрации инструктажа на рабочем месте.

• ДЛЯ предотвращения поражения электрическим током необходимо периодически в течение смены и перед началом работы проверять наличие защитного заземления, целостность заземляющих проводникови плотность контакта их присоединения, исправность вилок включения ш розеток, целостность изоляции электропроводки.

• Во избежание отравления и химических ожогов все работы с фтористоводородной кислотой проводить при наличии эффективной местной вытяжной вентиляции, опущенных шторках с использованием необходимых . средств индивидуальной защиты (фартук ГОСТ 12.4.029-76, резиновые перчатки ГОСТ 20010-93, очки защитные открытыеГОСТ 12.4.013-85).

• При переливании кислоты необходимо наклонять бутыль так, чтобы не было воздушной пробки в горловине бутыли, и не образовывалось хлопков и разбрызгивания, не класть бутыли на край ванны, а всегда поддерживать правой рукой горловину бутыли, левойеё дно. Переливание кислоты проводить на винипластовых поддонах. Запрещается брать бутыли с кислотой одной рукой запробку и выталкивать о решетки или переносить на другое место.

• Химические вещества должны храниться в специально оборудованных местах с эффективно действующей вытяжной вентиляцией. На дверцах должны быть таблички с указанием наименования веществ и норм единовременного хранения, согласованных с пожарной частью, утвержденных главным инженером, их совместимость при хранении. Дверцы шкафа должны закрываться на замок. Химическая посуда должна иметь четкие надписи химических веществ. Надписи в виде химических формул не допускаются.

• На рабочем месте должны быть двухпроцентный и пятипроцентный растворы питьевой сода для оказания помощи при попадании кислоты на кожу и глаза.

• Рабочее место должно быть оборудовано гидрантом и фонтанчиком для смыва химических веществ с кожи и промывания глаз непосредственно после поражения.

• Хранить спирт на рабочем месте в пенале или флаконе с надписью СПИРТ, ОГНЕОПАСНО в количестве, не превышающем норму единовременного хранения. В случае возгорания спирта набросить на место возгорания хошму, при проливе спирта вытереть его влажной салфеткой, прополоскать бязь водой, вытереть насухо.

• Для предупреждения .травмирования необходимо соблюдать порядок на рабочем месте и соблюдать осторожность при работе с оснасткой. Запрещается работать с оснасткой, имеющей трещины и зазубрины.

• Смазать руки косметическим кремом любым перед началом работы и по окончании работы, после мытья рук.

• Для предотвращения опасности травмирования рук движущимися частями центрифуги загрузку и выгрузку кассет проводить при полной остановке вращения центрифуги. Центрифуга должна быть оборудована электроблокировкой.

• Перед началом работы проверить срабатывание систем блокировки, отключающей центрифугу при открывании крышки.

• При работе на установке фильтрации растворов в процессе выемки шланга с обратным клапаном лицо должно быть защищено закрытой дверкой шкафа.

• При обнаружении неисправностей в работе оборудования, работу прекратить, выключить оборудование, сообщить мастеру. К работе приступить после устранения неисправностей и с разрешения мастера.

• В случае получения даже незначительной травмы сообщить мастеру, получить доврачебную помощь, при необходимости обратиться в медпункт.

• При выполнении операции применять технологическую одежду, предназначенную для данного вида работ.

Требование экологической безопасности

Атмосфера:

При проведении данной операции возможно выделение в атмосферу вредных веществ, в количествах, не превышающих предельно-допустимую концентрацию (ПДК):

• Кислота фтористоводородная – класс опасности 2, ПДК – 0,2 мг/м³;

• Кислота соляная – класс опасности 2, ПДК – 0,3 мг/м³;

• Кислота серная - класс опасности 2, ПДК – 0,2 мг/м³;

• Аммиак - класс опасности 4, ПДК – 0,2 мг/м³;

• Спирт этиловый - класс опасности 4, ПДК – 5,0 мг/м³;

Для очистки вентиляционных выбросов от вредных веществ, перечисленных раннее, следует применять турбуленто-контактные адсерберы ТКА-6, обслуживание которых проводить согласно инструкции по эксплуатации. Эффективность очистки достигает 90%

Работу на данной операции начинать только убедившись в нормальной работе очистного оборудования, в противном случае к работе не приступать и сообщить б этом мастеру или начальнику участка.

Гидросфера:

На данной операции сточные воды загрязняются аммиаком, соляной кислотой, серной кислотой и плавиковой кислотой.

Промывные воды и химические растворы, образующиеся при химобработке пластин, сливать в кислотнощелочной, а фторсодержащие – во фтористый сливы для обезвреживания на станции нейтрализации до допустимых ПДК перед сбросом в городскую канализацию

Отходы:

Твердыми отходами на данной операции являются протирочная хлопчатобумажная ткань, отработанные и промытые водой фильтры, напальчники и перчатки. Данные отходы являются малотоксичными и согласно санитарным правилам, подлежат сбору в урну с последующим вывозом на промышленную площадку.

24