- •Исследование диэлектрических тонкопленочных материалов
- •1. Теоретические сведения
- •1.1. Пробой твердых диэлектриков
- •1.2. Причины, приводящие к возникновению пробоев
- •1.3. Диэлектрические свойства пленок окиси кремния
- •2. Моделирование процесса пробоя в тонкопленочном материале
- •3. Построение гистограмм пробивного напряжения
- •4. Порядок выполнения работы
- •5. Содержание отчета
- •6. Вопросы для самопроверки
3. Построение гистограмм пробивного напряжения
Для построения гистограммы весь диапазон напряжений U на нагрузочном сопротивлении делится на нечетное число поддиапазонов. Чем больше измерений, тем больше число поддиапазонов. Но математическая статистика рекомендует число поддиапазонов ограничивать 5, 7 реже девятью. Поскольку партия конденсаторов не велика и содержит всего 25 штук, то число поддиапазонов лучше ограничивать пятью.
Из результатов измерений напряжения находят Umax и Umin. Диапазон напряжений U= Umax - Umin. Определяется величина поддиапазона U/5. По оси абсцисс откладываются точки: Umin; Umin+U/5; Umin+2U/5; …; Umax. По оси ординат откладывается количество конденсаторов, имеющих напряжение, заключенное в каждом поддиапазоне. Количество конденсаторов лучше подсчитывать в процентах. Например, если напряжение, заключенное в пределах от Umin+U/5, имеют 3 конденсатора, то по оси ординат откладывается число 3/(N – nk) 100%, где N – число конденсаторов в партии (для нашего случая N=25), nk – число короткозамкнутых конденсаторов (U=0).
4. Порядок выполнения работы
Изменение напряжения на конденсаторах моделируется с помощью ЭВМ. На экране монитора высвечиваются напряжения пробоя. Эти данные следует или распечатать, или переписать с экрана. Каждый запуск ЭВМ приводит к другим результатам.
1. Оформить таблицу значений пробивного напряжения, включающую:
номер партии, характеристики партии (толщину пленочного материала, площадь рабочей поверхности);
номер измерений;
значение пробивного напряжения.
2. Построить гистограммы пробивного напряжения для каждой партии
конденсаторов.
3. Рассчитать для каждой партии конденсаторов:
выход годных, т.е. отношение числа конденсаторов не короткозамкнутых к полному количеству конденсаторов,
среднее арифметическое значение напряжения пробоя для всех конденсаторов исключая короткозамкнутые,
рекомендуемое рабочее напряжение конденсаторов Uраб. с надежностью 95%.
Uраб=U(95)/k ,
где U(95) - максимальное напряжение, которое выдержали не менее 95% конденсаторов в партии, k - коэффициент запаса, равный 2.
5. Содержание отчета
В отчете сформулировать цель работы, описать объект исследования и его модель. Представить данные по пп. 1-3 порядка выполнения работы.
6. Вопросы для самопроверки
Какую роль играет коэффициент запаса при вынесении решения о рабочем напряжении?
Как влияет толщина диэлектрического пленочного материала на пробивное напряжение конденсатора?
Поясните влияние площади рабочей поверхности конденсатора на пробивное напряжение.
За счет чего происходит пробой диэлектрических тонкопленочных материалов?